VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESTIMMUNG DER STRAHLGÜTE
摘要:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (7) zum Trennen eines Materials (50) eines Werkstücks (5), wobei mittels eines nicht-beugenden Bearbeitungslaserstrahls (22) Materialmodifikationen (6) entlang einer Trennlinie (60) in das transparente Material (50) des Werkstücks (5) eingebracht werden und das Material (50) des Werkstücks (5) dann entlang der dadurch entstehenden Materialmodifikationsfläche (62) mit einem Trennschritt getrennt wird, wobei der um eine Phasenkonizität maximal reduzierte, nicht-beugende Bearbeitungslaserstrahl (22) einen PV Wert von weniger als 10λ aufweist und wobei λ eine Wellenlänge des Bearbeitungslaserstrahls (22) ist.
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