含氟铈系研磨材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN1300278C

    公开(公告)日:2007-02-14

    申请号:CN200410068551.8

    申请日:2004-08-26

    Abstract: 本发明的铈系研磨材料含有氟,全稀土类氧化物换算质量(TREO)与研磨材料质量的质量比在90wt%以上,Th和U的合计含量与该TREO的质量比((Th+U)/TREO)在0.05wt%以下,布莱恩法平均粒径(DB)为1.5μm~2.5μm。为了确保必要的研磨速度,对进行了以布莱恩法平均粒径(DB)为基准的粒径设定的铈系研磨材料进行研磨材料粒子的粒度分布的控制。因此,铈系研磨材料制造时如果采用布莱恩法平均粒径(DB)作为粒度设定基准,则可获得钍和铀等的含有率有所减少、且具备高研磨速度的铈系研磨材料。

    铈系研磨材料及其原料
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101104791A

    公开(公告)日:2008-01-16

    申请号:CN200710142719.9

    申请日:2004-03-29

    CPC classification number: C09K3/1463 C01F17/0012 C01F17/0043 C09K3/1409

    Abstract: 本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈(CeO2)、氧化镧(La2O3)及氧化钕(Nd2O3),并含有氟元素(F),其总稀土类氧化物换算重量(TREO)为90wt%以上,同时,TREO中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为50wt%~65wt%,并且TREO中氧化钕所占重量比(Nd2O3/TREO)为10wt%~16wt%。使用这样的铈系研磨材料能迅速得到研磨损伤发生较少的研磨面。

    含氟铈系研磨材料及其制造方法

    公开(公告)号:CN1597829A

    公开(公告)日:2005-03-23

    申请号:CN200410068551.8

    申请日:2004-08-26

    Abstract: 本发明的铈系研磨材料含有氟,全稀土类氧化物换算质量(TREO)与研磨材料质量的质量比在90wt%以上,Th和U的合计含量与该TREO的质量比((Th+U)/TREO)在0.05wt%以下,布莱恩法平均粒径(DB)为1.5μm~2.5μm。为了确保必要的研磨速度,对进行了以布莱恩法平均粒径(DB)为基准的粒径设定的铈系研磨材料进行研磨材料粒子的粒度分布的控制。因此,铈系研磨材料制造时如果采用布莱恩法平均粒径(DB)作为粒度设定基准,则可获得钍和铀等的含有率有所减少、且具备高研磨速度的铈系研磨材料。

    铈系研磨材料及其原料
    5.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101104791B

    公开(公告)日:2010-06-16

    申请号:CN200710142719.9

    申请日:2004-03-29

    CPC classification number: C09K3/1463 C01F17/0012 C01F17/0043 C09K3/1409

    Abstract: 本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈(CeO2)、氧化镧(La2O3)及氧化钕(Nd2O3),并含有氟元素(F),其总稀土类氧化物换算重量(TREO)为90wt%以上,同时,TREO中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为50wt%~65wt%,并且TREO中氧化钕所占重量比(Nd2O3/TREO)为10wt%~16wt%。使用这样的铈系研磨材料能迅速得到研磨损伤发生较少的研磨面。

    铈系研磨材料及其原料
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1701110A

    公开(公告)日:2005-11-23

    申请号:CN200480001221.5

    申请日:2004-03-29

    CPC classification number: C09K3/1463 C01F17/0012 C01F17/0043 C09K3/1409

    Abstract: 本发明提供具有发生损伤更少等优良研磨特性、研磨速度更高的铈系研磨材料。该铈系研磨材料作为稀土类氧化物至少含有氧化铈(CeO2)、氧化镧(La2O3)及氧化钕(Nd2O3),并含有氟元素(F),其总稀土类氧化物换算重量(TREO)为90wt%以上,同时,TREO中氧化铈所占重量比(CeO2/TREO)为50wt%~65wt%,并且TREO中氧化钕所占重量比(Nd2O3/TREO)为10wt%~16wt%。使用这样的铈系研磨材料能迅速得到研磨损伤发生较少的研磨面。

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