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公开(公告)号:CN100542827C
公开(公告)日:2009-09-23
申请号:CN200610121986.3
申请日:2006-08-30
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: B41M5/24 , B44B7/00 , H01L21/00 , H01L21/683 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种激光诱导热成像(LITI)设备和使用该设备制造电子装置的方法。该LITI设备包括室腔、基底支撑件、接触框和激光源或振荡器。所述LITI设备将可转移层从膜供体装置转移到半成品电子装置的表面上。所述LITI设备利用磁力提供在可转移层和半成品电子装置的表面之间的紧密接触。通过在LITI设备的隔开的两个组件中形成的磁性材料产生磁力,可转移层和半成品电子装置的所述表面介于所述两个组件之间。磁体或磁性材料形成在LITI系统的两个以下组件中:1)半成品装置和膜供体装置;2)半成品装置和接触框;3)基底支撑件和膜供体装置;或者4)基底支撑件和接触框。
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公开(公告)号:CN100539007C
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200610163937.6
申请日:2006-08-30
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B41J2/325 , H01L51/0013 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种激光诱发热成像设备及激光诱发热成像方法。激光诱发热成像设备具有处于附着框架和基底台内的电磁体,以便使供体膜紧紧附着于基底上。该激光诱发热成像设备包括处理腔室,该腔室包括供体膜和基底并用来实施将供体膜沉积到基底上的工序;具有第一电磁体的基底台,该基底台位于工序腔室内用来支撑基底;具有第二电磁体的附着框架,该附着框架位于基底台上方,供体膜和基底被设置于处理腔室内的基底台和附着框架之间;以及用于将激光输出提供给供体膜的激光振荡器。
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公开(公告)号:CN100539006C
公开(公告)日:2009-09-09
申请号:CN200610140373.4
申请日:2006-08-30
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明涉及一种激光诱导热成像设备以及使用该设备制造有机发光二极管的方法,其在真空中利用磁力层叠受主衬底和施主膜,且用于在该受主衬底上形成像素阵列。衬底台包括磁体或磁物质。该受主衬底具有用于形成第一、第二和第三子像素的像素区,该施主膜具有将被转移到该像素区的有机发光层。激光振荡器照射激光到该施主膜。接触框架适于设置在该衬底台与该激光振荡器之间,且用于与该衬底台形成磁力。该接触框架包括激光穿过的开口。接触框架供给机构在该衬底台的方向上移动该接触框架。
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公开(公告)号:CN102237392A
公开(公告)日:2011-11-09
申请号:CN201110112500.0
申请日:2011-04-26
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L27/3246 , H01L27/3248 , H01L2251/558
Abstract: 本发明公开了一种有机发光显示设备。有机发光显示设备包括:多个薄膜晶体管(TFT);平坦化层,覆盖所述多个TFT;多个像素电极,形成在平坦化层上,每个像素电极利用穿过平坦化层的通孔连接到所述多个TFT中的对应的TFT,每个像素电极具有发光部分和非发光部分,每个通孔位于距离围绕通孔的每个发光部分最远的位置;像素限定层,形成在平坦化层上,以覆盖通孔和非发光部分中的每个;多个有机层,每个有机层包括发射层并设置在对应的发光部分中;对电极,设置在每个有机层上。
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公开(公告)号:CN100540326C
公开(公告)日:2009-09-16
申请号:CN200610146555.2
申请日:2006-11-15
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 本发明公开了一种激光诱导热成像(LITI)装置及使用该LITI装置制造电子器件的方法。LITI装置包括腔体、基底支撑件、晒版器件和激光源或振荡器。LITI装置将可转印层从膜供体器件转印到中间电子器件的表面上。LITI装置利用磁力来提供可转印层和中间器件表面之间的紧密接触。通过形成在LITI装置的彼此分隔的两个组件中的磁性材料产生磁力,可转印层和中间器件表面置于这两个组件之间。磁体或磁性材料形成在LITI装置的两个下面的组件中:1)中间器件和膜供体器件;2)中间器件和晒版器件;3)基底支撑件和膜供体器件;或4)基底支撑件和晒版器件。
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公开(公告)号:CN101186160B
公开(公告)日:2011-07-06
申请号:CN200610138193.2
申请日:2006-11-16
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B41J2/447 , H01L51/0013 , H01L51/56
Abstract: 一种激光诱导热成像装置和激光诱导热成像方法,其能够利用磁力将供体薄膜均匀地粘合到受体基板上,以实现有效的激光诱导热成像方法;以及一种利用该激光诱导热成像方法来制造有机发光二极管的方法。所述激光诱导热成像装置包括室,其中设置有具有磁性物质的接触框架,以朝向包含磁体的受体基板挤压,所述受体基板设置于基板台上,所述供体薄膜设置于所述受体基板和所述接触框架之间;以及通过所述接触框架中的开口照射所述供体薄膜的激光振荡器。由此,所述激光诱导热成像装置提高了所述受体薄膜与所述基板之间的粘合力,从而生产出具有改进的寿命、产量和可靠性的有机发光二极管。
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公开(公告)号:CN1982076B
公开(公告)日:2011-05-18
申请号:CN200610148550.3
申请日:2006-11-16
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: B41M5/38207 , B41M2205/38 , H01L51/0013 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种激光诱导热成像方法以及采用该方法的有机发光二极管的制造方法,其中可以利用磁力有效地层压供体膜和受体基板。该激光诱导热成像方法包括:在处理室的基板台上设置受体基板,其中第一磁体形成在该受体基板的一个表面中;在该受体基板上设置包括第二磁体的供体膜;利用作用在该第一和第二磁体之间磁力来层压该供体膜和该受体基板;和通过在该供体膜上扫描激光将成像层的至少一个区域转移到该受体基板上。该激光诱导热成像方法改善了供体膜和受体基板之间的粘附力,从而改善了有机发光二极管的寿命、产量和可靠性。
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公开(公告)号:CN1941400B
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200610139384.0
申请日:2006-09-27
Applicant: 三星移动显示器株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , H01L27/3246 , H01L51/56
Abstract: 本发明公开了一种有机发光二极管及其制造方法。该有机发光二极管包括:像素限定层,位于基底上,该像素限定层具有在其中的开口并具有邻近于所述开口形成的至少一个阶梯部分;有机层,位于所述开口中,并至少部分地覆盖所述至少一个阶梯部分。
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公开(公告)号:CN100524892C
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200610143367.4
申请日:2006-11-06
Applicant: 三星移动显示器株式会社
Abstract: 一种用于成像施主薄膜的成像层到受体基板上的激光诱导热成像设备。该激光诱导热成像设备包括:基板台和施主薄膜,其中,该基板台包括磁铁,并且适于容放具有有机光发射装置的像素区的受体基板,该施主薄膜包括成像在该像素区上的有机光发射层;激光振荡器,其发射激光到该施主薄膜上;接触框架,其适应于设置在该基板台和该激光振荡器之间,并且包括对应于施主薄膜的成像部分的图案的开口部分和用于与该基板台形成磁力的永磁铁;和接触框架移动机构,其用于向该基板台移动该接触框架。
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公开(公告)号:CN101280411B
公开(公告)日:2011-06-29
申请号:CN200810089856.5
申请日:2008-04-03
Applicant: 三星移动显示器株式会社
IPC: C23C14/04
Abstract: 提供了一种用于平板显示器的薄膜沉积的掩模框架组件及使用该组件的沉积设备,包括设置有具有多个开口的图样部分的图样掩模;与图样掩模的下边缘部分连接以支撑图样掩模的第一框架;和沿水平或竖直方向与第一框架连接的第二框架。用于薄膜沉积的掩模框架组件安装到沉积设备,所述沉积设备用于沉积有机发光显示器的有机发射层,从而在基底上沉积薄膜的特定图样。此时,第二框架由质量小于形成第一框架的SUS或因瓦材料的质量的金属和合金之一形成,从而实现用于薄膜组件的轻质掩模框架组件。因此,可以易于搬运用于薄膜组件的轻质掩模框架组件,并减少设置在沉积设备中的运输设备的重量载荷,从而提高生产率。
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