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公开(公告)号：CN118881557A
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN202411298076.7
申请日：2024-09-18
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明涉及真空泵测试技术领域，具体涉及一种罗茨真空泵的转子温度的调控系统及其调控方法，包括泵本体、转子组件、温度测量系统、加热系统、冷却系统和电控系统。温度测量系统包括无线测温片，无线测温片测量转子组件的温度，并将温度的信号发送至电控系统内。加热系统设置于泵本体的进气口。转子组件的转子轴的内腔与冷却冷却系统相连通。冷却系统与电控系统电连接。通过增加了冷却系统，且冷却系统与空心结构的转子轴连通，进而能够更多的带走的热量。同时还设置加热系统，对进入泵本体内的介质进行加热处理，且加热系统和冷却系统均与电控系统相连，通过电控系统能够对转子组件进行温度的处理，达到精确控制罗茨泵腔体内部温度的效果。
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公开(公告)号：CN118623330A
公开(公告)日：2024-09-10
申请号：CN202411062123.8
申请日：2024-08-05
Applicant: 东北大学 , 中科仪(南通)半导体设备有限责任公司
Abstract: 本发明涉及一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，包括四条废气管路、燃烧器、气帘环、反应腔、多孔陶瓷砖室和上盖；所述气帘环设置在所述反应腔的内部，所述气帘环的环边连接在所述反应腔的上端口；所述气帘环内部设置有多孔陶瓷砖室；所述燃烧器连接在所述上盖上端面中部，燃烧口贯穿至所述上盖下端面；所述上盖上端面圆周连接四条所述废气管路，四条所述废气管路的下端都以倾斜切向的状态连接所述上盖；所述上盖连接在所述气帘环上。本发明的目的在于克服现有的缺陷而提供的一种应用于半导体尾气处理设备的燃烧腔结构，提高燃烧效率进而提高废气处理效率。
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公开(公告)号：CN118291944A
公开(公告)日：2024-07-05
申请号：CN202410586161.7
申请日：2024-05-13
Applicant: 东北大学
IPC: C23C14/54 , C23C14/24 , G06F30/27 , G06F30/25 , G06N3/006 , G06F111/10 , G06F119/08 , G06F119/14
Abstract: 本发明公开了一种基于数值模拟的膜厚调控方法，该膜厚调控方法包括：为蒸发镀膜建立CAD模型；为CAD模型设定边界条件；在CAD模型中设置监测位置的膜厚目标值；为CAD模型的蒸发参数设置初值；根据边界条件和蒸发参数初值模拟计算指定监测位置的膜厚值；调整蒸发参数使指定监测位置的膜厚值接近目标值。本发明还公开一种蒸镀装置，可根据上述膜厚调控方法得到的蒸发参数，快速实现蒸发参数的调节，实现优化蒸发参数下的膜厚均匀分布，节约人力调控成本和时间，解决膜厚分布不均问题。
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公开(公告)号：CN116504991A
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN202310526166.6
申请日：2023-05-10
Applicant: 东北大学
IPC: H01M4/66 , H01M4/13 , H01M10/0525
Abstract: 本发明公开了一种整体导电的复合集流体薄膜，包括聚合物支撑层和位于聚合物支撑层两侧的导电镀层，聚合物支撑层上分布有多个通孔。通孔被导电镀层材料填充，使两侧的导电镀层连通，导电镀层材料在通孔中的填充密度为99.8％以上。通孔包括开口位于聚合物支撑层上表面的上口大下口小的第一表面和与第一表面的小开口首尾衔接的第三表面，以及与第一、三表面相对于聚合物支撑层的中面对称的第二、四表面，第三、四表面的小开口衔接构成通孔的喉部。在被导电镀层材料填充之前，通孔内壁具有从通孔的喉部向聚合物支撑层表面方向逐渐增强的阶梯疏水特性。该复合集流体薄膜具有的电导率为2×107‑5.7×107S/m，导电镀层与聚合物支撑层之间的剥离强度为650‑1150N/m。
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公开(公告)号：CN116082023A
公开(公告)日：2023-05-09
申请号：CN202310009016.8
申请日：2023-01-04
Applicant: 东北大学
IPC: C04B35/04 , C04B35/622 , C04B38/06
Abstract: 本发明提供了一种协同利用菱镁矿尾矿和镁砂废料制备多孔氧化镁基高温陶瓷的方法，属于含氧化镁废料协同高效利用及高性能多孔氧化镁基高温陶瓷制备技术领域。所述多孔氧化镁基高温陶瓷的制备步骤包括：将菱镁矿尾矿、镁砂废料和造孔剂混合，球磨，再将球磨所得混合料压制成型，烧结，即制得多孔氧化镁基高温陶瓷。通过本发明所述制备方法制得的多孔MgO基陶瓷烧结性能好，力学性能和抗热震性佳。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114607599B
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202011447652.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种多级罗茨真空泵，包括罗茨泵腔、隔板、罗茨转子、第一封盖、第二封盖和转子轴，其中罗茨泵腔和隔板交错设置，每个罗茨泵腔中均设有罗茨转子，罗茨泵腔包括可拆装的泵腔上部和泵腔下部，且罗茨泵腔上侧设有进气槽、下侧设有排气槽，隔板包括可拆装的隔板上部和隔板下部，且隔板内设有气体通道，并且所述气体通道一端设有隔板排气口与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，另一端设有隔板进气口与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，第一封盖设有进气腔与相邻罗茨泵腔上的进气槽连通，第二封盖设有排气腔与相邻罗茨泵腔上的排气槽连通，罗茨转子包括多个可拆装的半转子。本发明方便灵活拆装调节且增大了进排气口面积。
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公开(公告)号：CN109737034B
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN201910109694.5
申请日：2019-02-11
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于干式真空泵系统领域，尤其涉及一种含有泵前冷凝器的干式真空系统。该系统包括真空泵单元和泵前冷凝单元，所述泵前冷凝单元包括泵前冷凝器，所述泵前冷凝器包括五个端口；泵前冷凝器的第一端口通过物料进管与真空物料入口连接，第二端口通过第一物料管与真空泵单元连接，第三端口与冷凝液排出管连接，第四端口和第五端口分别通过第三冷冻盐水出管和第三冷冻盐水进管与第三冷冻盐水出口和第三冷冻盐水入口连接。本发明提供一种含有泵前冷凝器的干式真空系统，该系统中在真空泵之前设置泵前冷凝器，作为可凝性气体的捕集单元，改善真空泵及管路容易产生积水现象。
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公开(公告)号：CN114607603A
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN202011445863.1
申请日：2020-12-09
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体地说是一种螺杆真空干泵转子及其设计方法，转子型线包括多个弧段且角端形成ef平直段，并且所述ef平直段与相邻转子之间形成平行间隙，转子设计方法包括如下步骤：步骤一、根据泵所需要的抽速建立螺杆转子端面型线；步骤二、将齿顶圆弧ad段与摆线ab段交点a处进行倒角处理，形成平直段ef；步骤三、将步骤二中获得的图形沿着螺旋线进行扫描拉伸获得阴阳转子配合结构；步骤四、对转子间隙剖面视图放大确认相邻螺杆转子齿面之间形成平行间隙结构；步骤五、调整平直段ef的长度，进而调整螺杆转子间隙。本发明将螺杆转子间的间隙改为平行状态，降低转子泄露，且间隙设计可调。
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公开(公告)号：CN109133976B
公开(公告)日：2020-10-16
申请号：CN201810984204.1
申请日：2018-08-28
Applicant: 东北大学
Abstract: 本发明属于多孔材料的制备领域，公开了一种多孔氧化铝制备方法。具体步骤包括：(1)先将硼酸粉和氧化铝粉按一定的配比进行配料、混料；(2)向原料中加入适量的水，进一步混匀并压制成球团；(3)将球团放到真空干燥箱中进行烘干；(4)将球团放入感应炉内进行高温冶炼；(5)冶炼结束之后，将产品空冷至室温。本发明的优点是：与传统多孔氧化铝制备方法相比，省去了大量的繁琐的工艺步骤，显著地降低了生产成本和能耗；生成的多孔氧化铝纯度较高，无其他杂质，因此具有更好的耐化学腐蚀性。
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公开(公告)号：CN111365240A
公开(公告)日：2020-07-03
申请号：CN201811600736.7
申请日：2018-12-26
Applicant: 东北大学 , 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
Abstract: 本发明涉及真空泵领域，具体说是一种真空泵内转子间隙可调的安装结构及间隙调整方法，转子设于转子座体内且套设于主轴上，固定端座体和活动端座体分设于转子座体两侧，主轴一端通过固定端轴承支撑安装于固定端座体上，另一端通过活动端轴承支撑安装于活动端座体上，固定端座体上设有限定所述固定端轴承的固定端轴套和轴承压盖，且所述轴承压盖与固定端座体螺纹连接，活动端座体上设有限定所述活动端轴承位置的内定位组件、轴端压盖和锁紧螺母，内定位组件包括螺纹连接的限位块和活动端定位轴套，活动端定位轴套上设有定位牙与转子固连。本发明通过螺纹连接实现转子两侧间隙调节，并可定量确定间隙调整距离，提高真空泵装配和工作性能的可靠性。
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