微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法

    公开(公告)号:CN114264275B

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202111621883.4

    申请日:2021-12-28

    IPC分类号: G01B21/30

    摘要: 本发明公开了一种微纳光栅表面粗糙度的无损检测方法,包括如下步骤:用去离子水、无水乙醇和异丙醇对微纳光栅进行超声清洗,氮气吹干将三甲基氯硅烷滴到表面皿中,与微纳光栅一同置于真空干燥环境下,使三甲基氯硅烷充分钝化微纳光栅的表面;将固化剂加入聚二甲基硅氧烷中,混合均匀,消泡,得到PDMS混合物;将PDMS混合物倒在表面皿中,再将微纳光栅置于PDMS混合物表面,将附着PDMS混合物的微纳光栅置于真空干燥环境中脱气、固化,得到凝固仍带有微纳光栅的硅胶膜;将该硅胶膜与微纳光栅进行脱模,用硅胶模进行粗糙度测试。本发明可实现对微纳光栅表面难以测量的侧壁、槽底、深孔等复杂结构进行采集和复制,为复杂的微纳结构表面粗糙度测试提供了新思路。

    可见光-近红外宽光谱增透型光栅式光学元件及其制备方法和应用

    公开(公告)号:CN113219570B

    公开(公告)日:2022-04-12

    申请号:CN202110484128.X

    申请日:2021-04-30

    IPC分类号: G02B5/18

    摘要: 本发明是关于一种可见光‑近红外宽光谱增透型光栅式光学元件及其制备方法和应用,所述可见光‑近红外宽光谱增透型光栅式光学元件包括基底,所述基底具有接收和透过入射光的正面以及相对的背面,所述基底的正面设有亚微米量级的微结构周期阵列;所述微结构周期阵列包括底面直径不同的两种微纳结构单元。本发明所提供的可见光‑近红外宽光谱增透型光栅式光学元件,通过在光学元件表面构建复合型微纳结构阵列组合,以实现宽光谱的降低反射、增强透射的目的。本发明的光学元件可单独作为光学镜头、或光学窗口使用,也可与常规的光学镜头或光学窗口耦合使用,来提升相关仪器设备的综合性能。

    匀胶系统
    9.
    发明公开
    匀胶系统 审中-实审

    公开(公告)号:CN114721224A

    公开(公告)日:2022-07-08

    申请号:CN202210262041.2

    申请日:2022-03-17

    摘要: 本申请提供一种匀胶系统,涉及光刻工艺技术领域。其中,该匀胶系统包括:光源、投影卡具和底座;所述光源用于投射光线;所述投影卡具位于所述光源的下方;所述底座位于所述投影卡具的正下方,用于固定并以中心直线为轴线旋转所述基片;所述光源照射所述投影卡具后的投影映在所述底座的上表面,且所述投影的轮廓的形状和大小分别对应于所述基片,用于所述基片的定位;其中,所述中心直线穿过所述底座的中心并与所述底座的上表面垂直。本申请技术方案可以实现基片的无接触且快速对中操作,能够解决基片对中时需要使用夹具,容易划伤基片的技术问题。