-
公开(公告)号：CN102537748A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010621916.0
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: F21S4/00 , F21V19/00 , F21V7/00 , F21Y101/02
Abstract: 本发明公开了一种用于定向台的长条形光源，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。包括一个外罩(1)、一个光出口狭缝(2)、一组发光二极管(3)、一个光检测装置(5)和电源(4)、(6)。所述的一组发光二极管(3)置于外罩(1)的两侧，分两组，平行放置，数量由几个到十几个不等；所述的光出口狭缝(2)处于外罩(1)的一个面上；所述的光检测装置(5)处于外罩(1)的另一个侧面；所述的电源(4)、(6)处于发光二极管(3)的侧面。本发明可实现为单晶片离子注入的晶片定向台提供稳定可靠的平行光的器件要求，为晶片定向快速准确提供前提保证。
-
公开(公告)号：CN102534536B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201010621900.X
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种硅片台多轴运动装置，主要包括：硅片台自转机构(1)、硅片台倾斜机构(2)、竖直和摆动运动机构(3)和机架(4)。所述的硅片台自转机构(1)置于硅片台倾斜机构(2)上；所述的硅片台倾斜机构(2)置于竖直和摆动运动机构(3)上；所述的竖直和摆动运动机构(3)置于机架(4)上。其特征在于，硅片台自转机构(1)可以绕硅片台中心旋转；硅片台自转机构(1)可以垂直于硅片台面转动；硅片台倾斜机构(2)可以摆动旋转和竖直运动，从而实现硅片台的多角度运动扫描。
-
公开(公告)号：CN102561819A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201010621919.4
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种门联锁控制的方法，该装置包括离子注入机的十个门(12)以及对应的指示灯(15)、一个倍压筒盖(1)、一个气箱放电棒(3)、一个继电器线圈(4)、带灯的开门按钮(2)、带灯的锁门按钮(6)、放电棒电磁阀(10)。该方法就是每个门都关上且倍压筒盖闭合时，每个门以及倍压筒盖对应的指示灯亮。按下锁门按钮后，继电器线圈得电，它的触点动作，线圈自锁，所有门上锁的灯亮。只有按下开门按钮使线圈瞬间失电，触点动作。门未上锁灯亮，门上锁灯灭，可以开门。这就是门联锁的控制。
-
公开(公告)号：CN102956424A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201110241142.3
申请日：2011-08-22
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/304 , H01J37/317 , G01T1/29
Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的束流均匀性检测的装置。一种离子注入机可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种检测束流均匀性装置。该装置主要包括：束流收集面板(1)、齿条(2)、电机固定块(3)、齿轮(4)等。该装置特征在于，束流收集面板(1)采用蜂窝式排列束流收集框，每一个束流收集框均可以独立检测束流大小；该装置特征还在于可以检测离子束流在聚焦情况下的束斑剖面密度分布和扫描情况下的束均匀性分布，尤其可以检测宽带束流或扁状带束。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
-
公开(公告)号：CN102956421A
公开(公告)日：2013-03-06
申请号：CN201110241135.3
申请日：2011-08-22
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的离子源灯丝及其夹持装置。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种灯丝及灯丝夹持装置，以产生稳定的强电子。主要包括：灯丝(1)、灯丝联接杆(2)、石墨支撑板(3)、绝缘陶瓷座(4)、丝夹(5)和电源输入带(6)等。该装置特征在于，采用特别的灯丝(1)安装于灯丝联接杆(2)上，并采用特别的丝夹(5)联接灯丝联接杆(2)和电源输入带(6)；灯丝(1)的设计可以发射高强度电子，丝夹(5)可以牢固的固定灯丝联接杆(2)，并起到输送高压的作用。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102569117A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201010621903.3
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/66 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种离子注入束线法拉第，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。该结构包括：安装法兰(1)、绝缘安装板(2)、燃烧传感器(3)、杯测束底板(4)、拆装导杆孔(5)、杯框(6)、旋转轴(7)、气缸(8)。所述的旋转轴(7)通过与气缸(8)连接完成旋转动作，拆装导杆孔(5)处在安装法兰(1)上；所述的拆装导杆孔(5)主要作用是方便装置的拆装有保护装置在拆装过程中的不至损坏，绝缘安装版(2)安装在安装法兰(1)内侧与杯框相连；所述绝缘安装板(2)处于杯框(6)和安装法兰(1)之间，主要起绝缘作用且有一定的密封效果；所述的杯测束底板(4)安装在杯框(6)的左侧，其中心位置杯框(6)内安装燃烧传感器(3)；所述的燃烧传感器(3)用于检测杯测束底板(4)束流。
-
公开(公告)号：CN102534536A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010621900.X
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种硅片台多轴运动装置，主要包括：硅片台自转机构(1)、硅片台倾斜机构(2)、竖直和摆动运动机构(3)和机架(4)。所述的硅片台自转机构(1)置于硅片台倾斜机构(2)上；所述的硅片台倾斜机构(2)置于竖直和摆动运动机构(3)上；所述的竖直和摆动运动机构(3)置于机架(4)上。其特征在于，硅片台自转机构(1)可以绕硅片台中心旋转；硅片台自转机构(1)可以垂直于硅片台面转动；硅片台倾斜机构(2)可以摆动旋转和竖直运动，从而实现硅片台的多角度运动扫描。
-
公开(公告)号：CN102867770A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110186447.9
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种用于硅片注入工艺的硅片夹，主要包括：底片1、硅片2、转动块3、铆钉4、定位弹簧片5等。该装置特征在于，底片1直径大于硅片2，使用转动块3将硅片2固定在底片2的凹槽内，定位弹簧片5分别可以定位在两个不同的位置。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
-
公开(公告)号：CN102867719A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110186465.7
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的离子源绝缘装置。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种绝缘装置，以隔离高压电位和地电位。主要包括：离子源1、法兰联接杆2、源安装法兰3、引出绝缘环4、源法兰5、屏蔽筒6和真空室7等。该装置特征在于，采用特别的引出绝缘环4安装于源安装法兰3和源法兰5之间，且源安装法兰3和源法兰5间采用法兰联接杆2联接，可以很好的保护高压电位和地电位。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
-
公开(公告)号：CN102543806A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010621917.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种硅片顶架装置，主要包括：顶架(1)、顶架驱动丝杆(10))、顶架驱动螺母(8)、顶架驱动齿轮(13)、顶架驱动电机(14)、驱动电机编码器(17)等。所述的顶架(1)位于硅片下方；所述的顶架驱动电机(14)可驱动顶架驱动丝杆(10)将硅片顶起以脱离机械手和硅片台；所述的驱动编码器(17)可控制顶架驱动电机(14)轴转动角度，从而控制顶架(1)的行程；所述的接近开关(6)可实时反馈顶架(1)行程。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
10
records
(took 0.028 seconds)
