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公开(公告)号：CN102347193B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201010243066.5
申请日：2010-08-02
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317 , G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种大角度离子注入机快速调束的优化算法，束流优化算法使用部分：黄金搜索算法和扫描检测算法。本发明最大特点是大角度离子注入机在运行自动调束功能时，在极短的时间内能够调节出束流并能进行优化调束，工艺数据能实时处理，最终获取高品质束流。
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公开(公告)号：CN102867770A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110186447.9
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/683
Abstract: 本发明公开了一种用于硅片注入工艺的硅片夹，主要包括：底片1、硅片2、转动块3、铆钉4、定位弹簧片5等。该装置特征在于，底片1直径大于硅片2，使用转动块3将硅片2固定在底片2的凹槽内，定位弹簧片5分别可以定位在两个不同的位置。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
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公开(公告)号：CN102867719A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110186465.7
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/08 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种用于离子注入机的离子源绝缘装置。一种离子注入机用离子源，可以产生宽带束或扁状带束，为使其正常工作发明一种绝缘装置，以隔离高压电位和地电位。主要包括：离子源1、法兰联接杆2、源安装法兰3、引出绝缘环4、源法兰5、屏蔽筒6和真空室7等。该装置特征在于，采用特别的引出绝缘环4安装于源安装法兰3和源法兰5之间，且源安装法兰3和源法兰5间采用法兰联接杆2联接，可以很好的保护高压电位和地电位。说明书对装置工作原理进行了详细的说明，并给出了具体的实施方案。
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公开(公告)号：CN102866432A
公开(公告)日：2013-01-09
申请号：CN201110186455.3
申请日：2011-07-05
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
Abstract: 本发明公开了一种检测晶片的调节装置，该装置包括：2个调节螺钉1、1个固定螺钉2、1个激光器3、1个接收器4。其特征在于：激光器3的激光随着调节螺钉1的松动而变化方向，此装置要先调整调节螺钉1，两个调节螺钉1交换调节，直至激光器3的激光在无晶片的情况下，接收器4接收到激光。就表明调节螺钉1调整完毕，在拧紧固定螺钉2。固定螺钉2用来固定此调节装置。
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公开(公告)号：CN102543806A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201010621917.5
申请日：2010-12-27
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/677
Abstract: 本发明公开了一种硅片顶架装置，主要包括：顶架(1)、顶架驱动丝杆(10))、顶架驱动螺母(8)、顶架驱动齿轮(13)、顶架驱动电机(14)、驱动电机编码器(17)等。所述的顶架(1)位于硅片下方；所述的顶架驱动电机(14)可驱动顶架驱动丝杆(10)将硅片顶起以脱离机械手和硅片台；所述的驱动编码器(17)可控制顶架驱动电机(14)轴转动角度，从而控制顶架(1)的行程；所述的接近开关(6)可实时反馈顶架(1)行程。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102522302A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201010243467.0
申请日：2010-08-02
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/302 , H01J37/30
Abstract: 一种离子注入机的低能注入模式切换器制造方法包括：制成一个长行程绝缘单作用式气缸，低能电源一端与低能注入模式切换器相连，活塞与切换器另一端用钢丝连接，利用活塞控制电路导通或断开，从而达到切换低能注入模式的目的。
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公开(公告)号：CN102005362B
公开(公告)日：2012-05-30
申请号：CN200910090665.5
申请日：2009-09-03
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/66 , C23C14/48 , H01J37/317
Abstract: 本发明公开了一种离子束注入机上对双法拉第杯测量比值进行校正的系统和校正方法。该校正系统包括移动法拉第杯、剂量采样法拉第杯，闭环控制法拉第杯、剂量检测器、数控扫描发生器、电机运动控制器、控制计算机，各个组件之间的连接关系如摘要附图所示。比值校正方法包括：1、启动离子束沿水平方向均匀地扫描，将移动法拉第杯移到硅晶片的中心位置，对扫描离子束进行剂量采样，求算出中心位置处的注入剂量值，公式为：2、再用闭环控制法拉第杯采样扫描离子束的注入剂量，计算出该处的注入剂量值，公式为：3、计算出两法拉第杯剂量探测的比例值，公式为：本发明将两个法拉第杯对注入剂量的探测统一到同一标准，保证离子注入剂量检测的准确性。
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公开(公告)号：CN102446681A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010514130.9
申请日：2010-10-13
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: H01J37/09 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供一种用于离子注入机的分析光栏，包括：两个旋转水接头2，两对快插接头1，与旋转水接头2相连的两个同步带轮3，其中，通过法兰结构4，同步带轮3带动磁流体密封组件5以及和磁流体密封组件5相连接的石墨筒6转动，其中同步带轮3可以通过电机带动旋转，且旋转速度达到1700rpm以上，石墨筒6的高速旋转使粒子能够接触到更大面积的石墨，以加强散热效果，从而延长分析光栏的使用寿命。其中两个石墨筒6的旋转方向相反，避免了非注入粒子进入离子束中。
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公开(公告)号：CN102445670A
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN201010513644.2
申请日：2010-10-13
Applicant: 北京中科信电子装备有限公司
IPC: G01R33/07
Abstract: 本发明涉及了一种交流霍尔系统，用于检测磁场。该系统包括正弦波发生电路(1)、比较器(2)、隔离变压器(3)、负载电流采样电路(4)、霍尔片(5)、线性校正电路(6)、琴键开关切换电路(7)、隔离变压器(8)、采样放大电路(9)、绝对值放大电路(10)、输出放大电路(11)。本专利对霍尔器件的两个输入电极注入恒交流信号，霍尔片(5)对磁场的响应以交流的形式输出，隔离变压器(3)和隔离变压器(8)的设计能有效的隔离寄生直流电势，防止输出漂移。具有防干扰能力强，检测精度高以及调试方便等特点。
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