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公开(公告)号：CN103575703A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201210281822.2
申请日：2012-08-09
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种利用反射光谱测量单晶硅基太阳能电池表面增透膜的方法，包括通过建模模拟计算分别得出包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的总反射效率A与不包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的总反射效率B；基于所述总反射效率A和所述总反射效率B求出单晶硅基太阳能电池的相对反射比率Rcal；测量包含增透膜的单晶硅基太阳能电池相对于不包含增透膜的单晶硅基太阳能电池的反射比率R；将所述Rcal与所述R比较，模型中设定增透膜厚度及增透膜材料的光学常数或光学常数物理模型的系数为变量，通过数值回归的曲线拟合过程，计算得出膜厚与材料光学常数。本发明提高了反射率测量方法测量硅基太阳能样品薄膜特征的准确度，拓展了光谱反射仪的应用领域，使测量硬件结构更加简单，成本更低。
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公开(公告)号：CN102589692A
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN201110005913.9
申请日：2011-01-12
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明提出了一种光纤束分光的垂直入射宽带偏振光谱仪及光学测量系统。该垂直入射宽带光谱仪包括：光源、光纤束、光探测器、偏振单元，光纤束包括入射光纤子束、出射光纤子束；入射光纤子束具有第一端口组和第二端口组，出射光纤子束具有第三端口组和第四端口组，入射光纤子束的第二端口组和出射光纤子束的第三端口组在同一横截面上。该光谱仪通过采用光纤束分光和增加偏振元件，提高了光谱仪光通量效率，增强了其对偏振光的控制能力。
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公开(公告)号：CN102455511B
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：CN201010524334.0
申请日：2010-10-28
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明属于光学测量技术领域，更具体的涉及利用一个利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置，所述成像系统包括成像聚光单元、图像探测器以及第一可移动反射镜，其中，第一光束射向样品，第二光束经所述第一可移动反射镜入射到样品，从样品表面反射的光由所述成像聚光单元成像到所述图像探测器，所述第一可移动反射镜位于系统光路中或光路外，使得第一光束与第二光束重合或分离，通过调整第一可移动反射镜，实现测量点识别及定位、样品表面测量点与探测光束光斑位置校准以及测量。本发明完全不影响探测光路光通量、色差、像差和偏振等自身特征，可做到无重影成像，而且结构简单、成本低。
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公开(公告)号：CN102297721A
公开(公告)日：2011-12-28
申请号：CN201110133214.2
申请日：2011-05-23
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
CPC分类号： G01N21/211 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01N21/21
摘要： 本发明提供了一种易于调节聚焦的、可实现无色差的、可保持偏振特性的且结构简单的斜入射宽带光谱仪。该斜入射宽带光谱仪包含至少一个偏振器、至少一个曲面反射元件和至少两个平面反射元件。该斜入射宽带光谱仪利用平面反射元件改变光束传播方向，并且可补偿因反射聚光单元引起的偏振变化，使得光束经偏振器后的偏振特性在斜入射并会聚于样品表面时保持不变。本发明的斜入射宽带光谱仪能够高精确度地测量样品材料的光学常数、薄膜厚度和/或用于分析周期性结构的样品的临界尺度(CD)或三维形貌。
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公开(公告)号：CN102269622A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201010270454.2
申请日：2010-09-02
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
CPC分类号： G01N21/211 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01N21/21
摘要： 本发明提供一种垂直入射光谱仪。该垂直入射光谱仪包括光源、分光元件、聚光单元、第一平面反射元件和探测单元，其中：分光元件设置于聚光单元和探测单元之间的光路中，用于使来自光源的光束在入射至聚光单元之前部分地通过，以及接收从样品上反射的、且依次经过第一平面反射元件和聚光单元的光束并将该光束反射至探测单元；聚光单元用于通过分光元件接收来自光源的光束并使该光束变成会聚光束；第一平面反射元件用于接收会聚光束并将会聚光束反射后垂直地聚焦到样品上；以及探测单元用于探测从样品上反射的且依次经过第一平面反射元件、聚光单元和分光元件的光束。该垂直入射宽带光谱仪结构简单，不仅易于调节聚焦，还可实现无色差，且可保持探测光束偏振状态。
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公开(公告)号：CN103048047B
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201110306405.4
申请日：2011-10-11
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
摘要： 本发明公开一种包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪，包括光源、分光元件、聚光单元、偏振器、相位补偿元件、第一曲面反射元件、第一平面反射元件和探测单元。本发明还公开一种光学测量系统，包括所述的垂直入射宽带偏振光谱仪。该垂直入射宽带偏振光谱仪利用至少一个平面反射元件改变会聚光束传播方向，实现探测光束垂直入射并会聚于样品表面，易于调节聚焦、可实现无色差、可保持偏振特性、且结构简单。而且，根据本发明提供的垂直入射光谱仪及光学测量系统，增加了相位补偿元件，通过椭圆偏振测量法可以准确测量出样品琼斯矩阵中rxx、ryy的相位差Δ，即Δ的正弦和余弦函数，增加了偏振光谱仪的测量精度。
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公开(公告)号：CN103162832A
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN201110427910.4
申请日：2011-12-19
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
CPC分类号： G01J3/447 , G01B11/02 , G01B2210/56 , G01J3/0208 , G01J3/0224 , G01J3/42 , G01N21/21 , G01N2021/213 , G02B27/14 , G02B27/40
摘要： 本发明提供的一种包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪包括光源、第一反射单元、第一聚光单元、第二聚光单元、偏振器、第一曲面反射镜、第一平面反射镜、第二反射单元和探测单元。本发明还提供一种光学测量系统。本发明提供的包含参考光束的垂直入射宽带偏振光谱仪实现了分光后的光束的完整结合，在提高光通效率的同时，还能保持光束的偏振状态，而且系统的复杂程度比现有技术低。
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公开(公告)号：CN102269859A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201010531837.0
申请日：2010-11-04
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
CPC分类号： G01N21/211 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01N21/21
摘要： 本发明涉及一种聚焦系统、聚焦方法和光学测量设备。该聚焦系统包括用于改变会聚光束传播方向，将光束会聚于样品表面的至少一个平面反射镜。使用本发明的聚焦系统不仅可以通过简单的操作调节聚焦，而且还可保持会聚光束的偏振状态，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。
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公开(公告)号：CN102269858A
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN201010209754.X
申请日：2010-06-25
申请人： 北京智朗芯光科技有限公司
CPC分类号： G01N21/211 , G01J3/02 , G01J3/0208 , G01J3/021 , G01J3/0224 , G01N21/21
摘要： 本发明涉及一种自动聚焦系统和自动聚焦方法。该自动聚焦系统包括：聚光单元；和可移动的至少一个平面反射镜，其特征在于，来自聚光单元的会聚光束被所述至少一个平面反射镜反射后入射到样品上。该自动聚焦系统不产生色差、易于调整、且结构简单。使用本发明的自动聚焦系统不仅可以通过简单的操作进行自动聚焦，而且可以控制探测光束的偏振变化，即，可以保持任意偏振光的偏振特性。
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公开(公告)号：CN102243357A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：CN201110195387.7
申请日：2011-07-12
申请人： 中国科学院微电子研究所 , 北京智朗芯光科技有限公司
IPC分类号： G02B7/00
摘要： 公开了一种可二维微调的微型电动平移台包括基板（1）、导轨组件（2）、滑板组件（3）、驱动组件（4）；所述基板（1）与所述导轨组件（2）固定连接；所述驱动组件（4）与所述导轨组件（2）固定连接；所述滑板组件（3）串接于所述导轨组件（2）构成移动副；所述驱动组件（4）与所述滑板组件（3）配合连接构成旋转副。本发明体积小巧，运动链简洁，控制方式简单，可实现对微小型光学器件的单一位置精确平移定位以及多工位平移功能，同时可以对该光学器件进行二维的角度的手动微调，可应用于光学检测设备中的平面镜、分光镜等光学器件的平移，方便产品集成开发。
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