一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法

    公开(公告)号:CN111076898A

    公开(公告)日:2020-04-28

    申请号:CN201911215298.7

    申请日:2019-12-02

    IPC分类号: G01M11/02 G01M11/00

    摘要: 本发明公开了一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法,所述方法包括如下步骤:(1)给出CGH补偿器;(2)在中心偏测量仪上将CGH补偿器的光轴调整到与中心偏测量仪的转台同轴;(3)保持CGH补偿器在中心偏测量仪转台上的位置不变,用激光跟踪仪测量中心偏测量仪的转轴,并测量CGH补偿器光轴和设置于CGH补偿器边角的个第一跟踪仪靶球的相对位置关系;(4)搭建CGH补偿器测量非球面反射镜面形的测试光路;(5)激光跟踪仪架设在测试光路中,测试CGH补偿器上的4个第一跟踪仪靶球位置,利用激光跟踪仪的坐标转换复现CGH补偿器的光轴,在此测试光路中即等效于非球面反射镜的光轴。本发明使得测量精度更高。

    一种离子束加工过程中光学镜面温度控制方法及测控系统

    公开(公告)号:CN115480598A

    公开(公告)日:2022-12-16

    申请号:CN202210977493.9

    申请日:2022-08-15

    IPC分类号: G05D23/22 G06F30/20

    摘要: 一种离子束加工过程中光学镜面温度控制方法及测控系统,属于高精度非球面光学制造领域。其中,此控制方法包括基于点热源在物体内的能量沉积理论,建立面热源能量沉积模型;根据面热源能量沉积模型,依次对光学零件镜面能量沉积过程进行静态分析及动态分析,优化离子源工艺参数;通过对光学加工过程的离散化设计或对循环的加工路径稀疏化处理,降低温度累积。通过应用此控制方法,可以实现离子束对温度敏感的高精度光学零件、组件级光学产品的高效、高精度加工。

    一种通用型气动自定心重力卸载装置

    公开(公告)号:CN115597831A

    公开(公告)日:2023-01-13

    申请号:CN202211057283.4

    申请日:2022-08-31

    IPC分类号: G01M11/02 G01M11/04

    摘要: 本发明提供一种通用型气动自定心重力卸载装置,包括底板、衬板、气缸、支撑柱、导向柱、位移传感器、升降电机和供气控制柜,底板支撑衬板,气缸、支撑柱、导向柱、位移传感器、升降电机安装到底板上;气缸经气路归集后与气控系统相连,用来提供卸载支撑力;三个导向柱在底板边缘相隔120°均匀分布,以此限定衬板位置;位移传感器和升降电机在底板上均相隔120°均匀分布,且升降电机位置与反射镜嵌套的位置一致;支撑柱在底板上,用来支撑衬板,衬板支撑反射镜,衬板加工有对应气缸、导向柱、位移传感器和升降电机位置的通孔;本发明满足4m口径内的反射镜光轴竖直检测需求,卸载力精确可控,反射镜在本装置上定心速度快,精度高,提高了检测效率。

    一种离子束加工过程中光学镜面温度控制方法及测控系统

    公开(公告)号:CN115480598B

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202210977493.9

    申请日:2022-08-15

    IPC分类号: G05D23/22 G06F30/20

    摘要: 一种离子束加工过程中光学镜面温度控制方法及测控系统,属于高精度非球面光学制造领域。其中,此控制方法包括基于点热源在物体内的能量沉积理论,建立面热源能量沉积模型;根据面热源能量沉积模型,依次对光学零件镜面能量沉积过程进行静态分析及动态分析,优化离子源工艺参数;通过对光学加工过程的离散化设计或对循环的加工路径稀疏化处理,降低温度累积。通过应用此控制方法,可以实现离子束对温度敏感的高精度光学零件、组件级光学产品的高效、高精度加工。

    一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法

    公开(公告)号:CN111076898B

    公开(公告)日:2021-07-13

    申请号:CN201911215298.7

    申请日:2019-12-02

    IPC分类号: G01M11/02 G01M11/00

    摘要: 本发明公开了一种激光跟踪仪配合CGH测量非球面反射镜光轴的方法,所述方法包括如下步骤:(1)给出CGH补偿器;(2)在中心偏测量仪上将CGH补偿器的光轴调整到与中心偏测量仪的转台同轴;(3)保持CGH补偿器在中心偏测量仪转台上的位置不变,用激光跟踪仪测量中心偏测量仪的转轴,并测量CGH补偿器光轴和设置于CGH补偿器边角的个第一跟踪仪靶球的相对位置关系;(4)搭建CGH补偿器测量非球面反射镜面形的测试光路;(5)激光跟踪仪架设在测试光路中,测试CGH补偿器上的4个第一跟踪仪靶球位置,利用激光跟踪仪的坐标转换复现CGH补偿器的光轴,在此测试光路中即等效于非球面反射镜的光轴。本发明使得测量精度更高。