新型电磁控阴极电弧源
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1021062C

    公开(公告)日:1993-06-02

    申请号:CN90100946.6

    申请日:1990-02-27

    Abstract: 本发明是一种新型电磁控阴极电弧源,应用于真空镀膜、离子镀膜、离子渗金属领域的设备中,其特征在于控制电磁线圈的排布方式,在放电过程中不断改变线圈电流的方向和大小,在靶面产生的磁感应强度在10°-10-ZT范围变化,阴极电弧弧斑在靶面上由小环到大环周期变化。靶材烧蚀均匀,靶材利用率高。

    采用电磁控阴极电弧源的镀渗设备

    公开(公告)号:CN1054451A

    公开(公告)日:1991-09-11

    申请号:CN90100946.6

    申请日:1990-02-27

    Abstract: 本发明是采用电磁控阴极电弧源的镀渗设备,属于真空镀膜、离子镀膜、离子渗金属领域。其技术特征在于控制电磁线圈的排布方式,在放电过程中不断改变线圈电流的方向和大小。在靶面产生的轴向磁场分量和径向磁场分量在靶材径向不断变化,使场致发射式阴极电弧在靶面上均匀放电。阴极弧斑在靶面上由小圈到大圈周期变化,靶材烧蚀均匀,靶材利用率高、镀膜厚度均匀,渗金属件温度均匀,有效沉积速率高。适于镀渗细长工件、板材、厚涂层等。

    阴极电弧源离子渗金属技术及设备

    公开(公告)号:CN1015003B

    公开(公告)日:1991-12-04

    申请号:CN88100549

    申请日:1988-02-11

    Abstract: 本发明是一种利用低气压弧光等离子体对金属工件渗入特定元素,以优化工件表面性能的技术和设备。它采用阴极电弧蒸发器作为离子渗金属时的蒸发源、离化源和加热源,产生高密度的金属离子流,同时对工件施加高负偏压,以吸引金属离子流加速到达工件,将工件加热至高温,离子渗入其表面。如可获得钨、钼、镍、铬、钛、铝、锆、钽、铌等金属渗层以及它们与碳、氮、氧的化合物渗镀层,提高渗金属效率和质量。

    阴极电弧源离子渗金属技术及设备

    公开(公告)号:CN88100549A

    公开(公告)日:1988-08-03

    申请号:CN88100549

    申请日:1988-02-11

    Abstract: 本发明是一种利用低气压弧光等离子体对金属工件渗入特定元素,以优化工件表面性能的技术和设备。它采用阴极电弧蒸发器作为离子渗金属时的蒸发源、离化源和加热源,产生高密度的金属离子流,同时对工件施加高负偏压,以吸引金属离子流加速到达工件,将工件加热至高温,离子渗入其表面。如可获得钨、钼、镍、铬、钛、铝、锆、钽、铌等金属渗层以及它们与碳、氮、氧的化合物渗镀层,提高渗金属效率和质量。

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