铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN103408062B

    公开(公告)日:2016-02-03

    申请号:CN201310334546.6

    申请日:2013-08-02

    摘要: 一种铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法,制备步骤有:1、对高纯金属进行溶解成透明硝酸铝、硝酸锌及硝酸镓溶液;2、配料:将三种透明溶液按比例分装容器;3、化学沉淀:采用均相共沉淀法将三种透明溶液按比例和规定工序,制得铝镓共掺杂氧化锌纳米粉末;4、清洗:将混和沉淀物经去离子水冲洗并充分搅伴,直到无其他离子为止;5、煅烧:将纳米粉末放入高温炉进行煅烧,制得铝镓共掺杂氧化锌纳米粉末;6、造粒:将铝镓共掺杂纳米锌氧化物粉末加入粘合剂并干燥,制得铝镓共掺杂纳米氧化锌成型前粉未;7、成型:将铝镓共掺杂氧化锌成型前粉末压制成初胚;8、烧结:将初胚放入高温炉里,进行常压烧结或气压烧结。

    铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法

    公开(公告)号:CN103408062A

    公开(公告)日:2013-11-27

    申请号:CN201310334546.6

    申请日:2013-08-02

    摘要: 一种铝镓共掺氧化锌纳米粉末及其高密度高电导溅射镀膜靶材的制备方法,制备步骤有:1、对高纯金属进行溶解成透明硝酸铝、硝酸锌及硝酸镓溶液;2、配料:将三种透明溶液按比例分装容器;3、化学沉淀:采用均相共沉淀法将三种透明溶液按比例和规定工序,制得铝镓共掺杂氧化锌纳米粉末;4、清洗:将混和沉淀物经去离子水冲洗并充分搅伴,直到无其他离子为止;5、煅烧:将纳米粉末放入高温炉进行煅烧,制得铝镓共掺杂氧化锌纳米粉末;6、造粒:将铝镓共掺杂纳米锌氧化物粉末加入粘合剂并干燥,制得铝镓共掺杂纳米氧化锌成型前粉未;7、成型:将铝镓共掺杂氧化锌成型前粉末压制成初胚;8、烧结:将初胚放入高温炉里,进行常压烧结或气压烧结。