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公开(公告)号:CN112384862B
公开(公告)日:2024-08-20
申请号:CN201980044987.8
申请日:2019-06-25
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要: 本发明涉及一种微光刻的组件,特别是使用极EUV范围(EUV)中的光,所述微光刻的组件包括用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109),所述光学单元的质量特别是等于4t至14t,优选地为5t至10t,更优选地为6t至8t。支撑结构(109)包括用于支撑光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4),通过空气轴承单元能够生成抵消光学单元(106、107)的重量的支撑力。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)的数目至少等于四个,其中,经由联接装置(112)联接支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的至少两个以形成支撑单元对,使得联接装置(112)抵消与支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2)的支撑力的可指定比率的偏差。
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公开(公告)号:CN112384862A
公开(公告)日:2021-02-19
申请号:CN201980044987.8
申请日:2019-06-25
申请人: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
摘要: 本发明涉及一种微光刻的组件,特别是使用极EUV范围(EUV)中的光,所述微光刻的组件包括用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109),所述光学单元的质量特别是等于4t至14t,优选地为5t至10t,更优选地为6t至8t。支撑结构(109)包括用于支撑光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4),通过空气轴承单元能够生成抵消光学单元(106、107)的重量的支撑力。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)的数目至少等于四个,其中,经由联接装置(112)联接支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的至少两个以形成支撑单元对,使得联接装置(112)抵消与支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2)的支撑力的可指定比率的偏差。
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