公开(公告)号：CN112384862B

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN201980044987.8

申请日：2019-06-25

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： M.沃格特 ,  J.哈特杰斯

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/182 ,  G02B7/183

摘要： 本发明涉及一种微光刻的组件，特别是使用极EUV范围(EUV)中的光，所述微光刻的组件包括用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109)，所述光学单元的质量特别是等于4t至14t，优选地为5t至10t，更优选地为6t至8t。支撑结构(109)包括用于支撑光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4)，通过空气轴承单元能够生成抵消光学单元(106、107)的重量的支撑力。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)的数目至少等于四个，其中，经由联接装置(112)联接支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的至少两个以形成支撑单元对，使得联接装置(112)抵消与支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2)的支撑力的可指定比率的偏差。

公开(公告)号：CN112384862A

公开(公告)日：2021-02-19

申请号：CN201980044987.8

申请日：2019-06-25

申请人： 卡尔蔡司SMT有限责任公司

发明人： M.沃格特 ,  J.哈特杰斯

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B7/182 ,  G02B7/183

摘要： 本发明涉及一种微光刻的组件，特别是使用极EUV范围(EUV)中的光，所述微光刻的组件包括用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109)，所述光学单元的质量特别是等于4t至14t，优选地为5t至10t，更优选地为6t至8t。支撑结构(109)包括用于支撑光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4)，通过空气轴承单元能够生成抵消光学单元(106、107)的重量的支撑力。支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)的数目至少等于四个，其中，经由联接装置(112)联接支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4)中的至少两个以形成支撑单元对，使得联接装置(112)抵消与支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2)的支撑力的可指定比率的偏差。