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公开(公告)号：CN114812392A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210435046.0
申请日：2022-04-24
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种激光六自由度运动误差同步测量系统，是由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，固定单元安装在固定平面上，移动测量单元安装在线性位移平台上，以激光器为光源，以四象限光电探测器和二维位置探测器为检测器件，实现线性位移平台的俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、竖直直线度及位移的同时测量，通过设置光束角度漂移检测模块有效消除光束角度漂移对俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、垂直直线度误差和位移测量精度的影响；本发明结构简单、成本低，可同时实现线性位移平台六自由度运动误差的在线测量。
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公开(公告)号：CN105627949B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201610128452.7
申请日：2016-03-07
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种光学传感式三维高精度接触扫描测量探头，其特征是测头单元是在圆环座的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片的各悬臂端固定连接对应位置上的“V”型悬臂簧片的顶端，“V”型悬臂簧片的两个底端固定连接在圆环座上，形成十字悬浮片在圆环座中的悬浮结构；在十字悬浮片的上表面、处在十字悬浮片的中央固定设置楔形块，在楔形块的顶面粘结有NPBS，在楔形块的底面镀有反射层，在十字悬浮片的下表面、处在十字悬浮片的中央固定连接带有测球的探针；测量单元是以激光器发射准直光投射至NPBS，利用四象限探测器检测获得Z轴、Y轴和X轴向的位移量。本发明能获得较高的测量精度，其灵敏度高、测力小，装调方便。
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公开(公告)号：CN114705137B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202210435445.7
申请日：2022-04-24
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B11/26
摘要： 本发明公开了一种二维共平面工作台六自由度实时测量系统，针对二维工作台设置测量单元；二维工作台中二维移动台以面面接触安装在固定基座上，在固定基座上以平面间的相互滑动实现XOY面的二维运动，形成二维共平面工作台；测量单元包括X向测量单元和Y向测量单元，由各自单元的CCD测量模块和位移测量模块构成；测量系统基于CCD测量模块中CCD传感器检测获得的图像实现对二维工作台的直线度运动误差和角度误差的实时测量，基于激光干涉仪对X向和Y向的运动位移进行实时测量，由此实现二维共平面工作台六自由度实时测量系统。本发明能够满足在高精度坐标测量机和机床中的应用；其共平面设计的XY二维工作台能有效减小堆叠式二维工作台运动耦合造成的机构误差。
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公开(公告)号：CN104457613B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201410834005.4
申请日：2014-12-26
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种三维微纳米接触触发式探头，其特征是在一固定圆环的中央设置十字悬浮片，在十字悬浮片的各悬臂的臂端连接有悬臂簧片，各悬臂簧片的另一端与固定圆环相连接，形成十字悬浮片在固定圆环中的悬浮结构；在十字悬浮片一侧的中央位置处设置测量中央平面反射镜，另一侧安装带有红宝石测球的探针；激光器发射出的准直光投射在测量中央平面反射镜上，并经测量中央平面反射镜反射后形成反射光，反射光经过透镜聚焦在四象限探测器上，以四象限探测器测量中央平面反射镜的位移和二维角度。本发明能够获得高精度、高灵敏度和小测力的探测效果，同时具有高稳定性、低成本且装调方便的优势。
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公开(公告)号：CN105627949A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610128452.7
申请日：2016-03-07
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B11/24
CPC分类号： G01B11/24
摘要： 本发明公开了一种光学传感式三维高精度接触扫描测量探头，其特征是测头单元是在圆环座的中央设置十字悬浮片，十字悬浮片的各悬臂端固定连接对应位置上的“V”型悬臂簧片的顶端，“V”型悬臂簧片的两个底端固定连接在圆环座上，形成十字悬浮片在圆环座中的悬浮结构；在十字悬浮片的上表面、处在十字悬浮片的中央固定设置楔形块，在楔形块的顶面粘结有NPBS，在楔形块的底面镀有反射层，在十字悬浮片的下表面、处在十字悬浮片的中央固定连接带有测球的探针；测量单元是以激光器发射准直光投射至NPBS，利用四象限探测器检测获得Z轴、Y轴和X轴向的位移量。本发明能获得较高的测量精度，其灵敏度高、测力小，装调方便。
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公开(公告)号：CN114705137A
公开(公告)日：2022-07-05
申请号：CN202210435445.7
申请日：2022-04-24
申请人： 合肥工业大学
IPC分类号： G01B11/26
摘要： 本发明公开了一种二维共平面工作台六自由度实时测量系统，针对二维工作台设置测量单元；二维工作台中二维移动台以面面接触安装在固定基座上，在固定基座上以平面间的相互滑动实现XOY面的二维运动，形成二维共平面工作台；测量单元包括X向测量单元和Y向测量单元，由各自单元的CCD测量模块和位移测量模块构成；测量系统基于CCD测量模块中CCD传感器检测获得的图像实现对二维工作台的直线度运动误差和角度误差的实时测量，基于激光干涉仪对X向和Y向的运动位移进行实时测量，由此实现二维共平面工作台六自由度实时测量系统。本发明能够满足在高精度坐标测量机和机床中的应用；其共平面设计的XY二维工作台能有效减小堆叠式二维工作台运动耦合造成的机构误差。
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公开(公告)号：CN106767551A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201611034239.6
申请日：2016-11-18
申请人： 合肥工业大学
CPC分类号： G01B11/27 , B81C1/00182 , G01B11/2408 , G01B11/306
摘要： 本发明公布了一种微纳米测量设备用高精度高灵敏弹性簧片的制作方法，其特征在于：采用化学蚀刻的方法制作高灵敏弹性簧片，包括设计图案、菲林片打印、铍铜片表面处理、贴覆感光膜、加固感光膜、曝光、显影、腐蚀和脱膜九个步骤。本发明的制作方法与传统方法相比，成本较低、方法简单、易于实现、易于加工复杂图案的弹性簧片；且采用本发明方法加工出的弹性簧片的性能参数(如圆度、直线度、边缘粗糙度等参数)优于采用传统方法加工出的弹性簧片。
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公开(公告)号：CN114812392B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN202210435046.0
申请日：2022-04-24
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种激光六自由度运动误差同步测量系统，是由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，固定单元安装在固定平面上，移动测量单元安装在线性位移平台上，以激光器为光源，以四象限光电探测器和二维位置探测器为检测器件，实现线性位移平台的俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、竖直直线度及位移的同时测量，通过设置光束角度漂移检测模块有效消除光束角度漂移对俯仰角、偏摆角、滚转角、水平直线度、垂直直线度误差和位移测量精度的影响；本发明结构简单、成本低，可同时实现线性位移平台六自由度运动误差的在线测量。
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公开(公告)号：CN114812443A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210435029.7
申请日：2022-04-24
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种直线度和滚转角误差同时测量系统，由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，在固定单元中采用平行双光束法实现测量，利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度有效提高测量精度；在移动测量单元中采用刀刃边缘反射镜作为感测转换元件；当移动工作台存在垂直直线度误差和滚转角误差时，刀刃边缘反射镜的刀刃反射边缘切割测量光束，改变反射光束光强，并由光电探测器检测获得光强变化信息，依此实现垂直直线度和滚转角误差的高精度测量。
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公开(公告)号：CN114812443B
公开(公告)日：2024-08-02
申请号：CN202210435029.7
申请日：2022-04-24
申请人： 合肥工业大学
摘要： 本发明公开了一种直线度和滚转角误差同时测量系统，由固定单元和移动测量单元构成收发一体式结构，在固定单元中采用平行双光束法实现测量，利用由棱形棱镜和直角棱镜在斜面胶合构成的组合棱形棱镜保持平行光束的平行度有效提高测量精度；在移动测量单元中采用刀刃边缘反射镜作为感测转换元件；当移动工作台存在垂直直线度误差和滚转角误差时，刀刃边缘反射镜的刀刃反射边缘切割测量光束，改变反射光束光强，并由光电探测器检测获得光强变化信息，依此实现垂直直线度和滚转角误差的高精度测量。
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