适用于SF6净化设备的去除SF6气体中C3F8的方法及装置

    公开(公告)号:CN115920587A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211554657.3

    申请日:2022-12-06

    IPC分类号: B01D53/053 B01D53/047

    摘要: 本发明公开适用于SF6净化设备的去除SF6气体中C3F8的方法,包括以下步骤:步骤一:待净化的SF6气体降压后经过第一检测器,若C3F8含量低于预设值,则直接加压导出,若C3F8含量大于预设值,则进入吸附组件进行吸附;其中,对需要吸附的气体,进入吸附组件前,通过检测C3F8的含量来控制进入吸附组件的气体压力;步骤二:吸附后气体经过检测,若C3F8含量低于预设值,直接加压导出,若C3F8含量大于预设值,则通过循环管再次回到吸附组件前端再次吸附。还发明还提供采用该方法的装置。本发明的有益效果:仅对于C3F8含量高于预设值的才进行吸附净化;同时根据C3F8的含量来自动控制气体压力,节约电能的基础上,使吸附剂的吸附效果达到最佳、提高净化效率。