一种制备高sp3碳碳键含量类金刚石薄膜的方法

    公开(公告)号:CN114703451A

    公开(公告)日:2022-07-05

    申请号:CN202210196004.6

    申请日:2022-03-01

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/06 C23C14/02 C23C14/35

    摘要: 本发明涉及一种制备类金刚石薄膜的方法,特别涉及一种制备高sp3碳碳键含量类金刚石薄膜的方法,包括如下步骤:步骤一、样品和磁铁的清洁处理;步骤二、通过磁控溅射制备氮掺杂类金刚石薄膜,将石墨靶材进行预溅射用于去除靶材表面杂质,预溅射时靶材和衬底之间的挡板保持关闭状态;预溅射的工艺条件为:溅射功率密度2W/cm2,溅射时间5分钟,溅射气体为高纯氩气,气体纯度为99.999%,氩气的流量为5~30sccm,溅射时的工艺真空度为0.5~5Pa;类金刚石薄膜沉积,此时靶材和衬底之间的挡板保持开启状态,类金刚石薄膜完成在衬底上的沉积过程;完成类金刚石薄膜沉积后,关闭磁控溅射的电源,关闭工艺气体流量阀,关闭靶材和衬底之间的挡板,关闭分子泵、真空泵。

    高介电常数栅极氧化物非晶IGZO薄膜晶体管的制备方法

    公开(公告)号:CN109411533A

    公开(公告)日:2019-03-01

    申请号:CN201811277366.8

    申请日:2018-10-30

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: H01L29/51 H01L21/34

    摘要: 本发明公开了一种高介电常数栅极氧化物非晶IGZO薄膜晶体管的制备方法,首先在单晶硅衬底上利用磁控溅射技术制备一层高介电特性的状态的钛酸锶薄膜作为栅极氧化物,然后再在绝缘锡酸钡薄膜上制备一层半导体特性的非晶态IGZO薄膜,最后再使用磁控溅射技术制备ITO透明导电电极以作为晶体管的源极和漏极,硅衬底作为栅极。通过采用高介电常数的钛酸锶薄膜作为栅极氧化物绝缘层,有效降低采用传统氧化硅带来的晶体管漏电流过热问题,从而提高晶体管的稳定性和寿命。

    一种海面用漂浮光伏组件

    公开(公告)号:CN107769680A

    公开(公告)日:2018-03-06

    申请号:CN201710926269.6

    申请日:2017-10-06

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: H02S20/00 H02S10/40 B63B35/44

    摘要: 一种海面用漂浮光伏组件,它涉及光伏组件技术领域;支撑块的一端通过连接板与固定块固定连接;所述的支撑块和固定块的上表面为斜面结构,固定块的一端固定有左卡块,支撑块的一端设置有滑轨,滑轨上滑动连接有右卡块;所述的左卡块和右卡块内侧设置有卡槽;所述的支撑块的端部固定有第一连接环,第一连接环上设置有连接孔;所述的固定块的端部设置有第二连接环,第二连接环上设置有螺丝;所述的连接板两侧设置有第三连接环。本发明所述的一种海面用漂浮光伏组件,安装简单快捷,施工工期短,没有金属件,不易生锈、腐蚀,使用寿命长,不易损坏,方便后期管理和维护,本发明具有结构简单、设置合理、制作成本低等优点。

    一种光伏电站用安防无人机检测设备及其方法

    公开(公告)号:CN107733360A

    公开(公告)日:2018-02-23

    申请号:CN201710926534.0

    申请日:2017-10-07

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: H02S50/00

    CPC分类号: H02S50/00

    摘要: 一种光伏电站用安防无人机检测设备及其方法,本发明涉及光伏电站技术领域;它包含检测设备支架和无人机构成;检测设备支架由纵向立杆和顶部固定架构成,顶部固定架通过纵向立杆架设在光伏电站的四周上方,顶部固定架内设有轨道,轨道内活动设有电动滚轮,电动滚轮上连接有托盘;所述的无人机停设在托盘上;所述的无人机的两侧机翼外端下部均设有检测装置。能够有效对光伏电站的状况进行检测,同时降低无人机自身的运作系统工作的频率,有效延长无人机的使用寿命,实用性更强。

    一种纯相透明氧化亚铜薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN105839063A

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201610225636.5

    申请日:2016-04-12

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C23C14/35 C23C14/08 C23C14/02

    摘要: 本发明公开了一种纯相透明氧化亚铜薄膜的制备方法,其步骤包括清洗衬底;制备含铜氧化亚铜薄膜;含铜氧化亚铜薄膜进行后处理获得纯相氧化亚铜薄膜。本发明先采用常规的直流反应磁控溅射技术,在特定的氩氧气氛下制备出含金属铜的氧化亚铜薄膜,然后再一定的气氛条件下进行退火后处理工艺,通过严格控制后处理的温度和时间得到纯相氧化亚铜薄膜。本发明的纯相透明氧化亚铜薄膜的制备方法通过直流反应磁控溅射和后处理工艺的结合,即实现氧化亚铜的高速沉积,又获得纯相氧化亚铜薄膜材料。

    一种可以增强发光性能的类金刚石薄膜的制备方法

    公开(公告)号:CN113981368B

    公开(公告)日:2023-09-22

    申请号:CN202111161403.0

    申请日:2021-09-30

    申请人: 常州工学院

    摘要: 本发明公开一种可以增强发光性能的类金刚石薄膜的制备方法,包括:(1)预处理:清洗硅片表面杂质;(2)碱刻蚀:利用碱性溶液对所述硅片进行腐蚀,在硅片的表面形成倒金字塔结构;(3)硅衬底上沉积氧化膜:在有倒金字塔结构的硅衬底上沉积氧化锶薄膜,并在真空条件下退火,去除硅表面的氧化硅层;(4)硅衬底上生长类金刚石薄膜:除去氧化硅后,在氧化锶薄膜上沉积多晶型类金刚石薄膜;沉积多晶型类金刚石薄膜的工艺是:以石墨作为靶材,通入氩气,利用磁控溅射方法沉积形成多晶型类金刚石薄膜。本发明的方法采用在硅衬底上沉积氧化锶去除硅表面氧化硅层的方法,减少了类金刚石薄膜中非晶态的比例,提高了类金刚石薄膜的结晶质量。

    一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法

    公开(公告)号:CN110272276A

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201910694790.0

    申请日:2019-07-30

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C04B35/457 C04B35/622

    摘要: 本发明公开了一种制备锡酸钡陶瓷靶材的方法,按照物质量比1∶1,将碳酸钡和氧化锡粉末球磨混合,其中碳酸钡和/或氧化锡的粒径为纳米级;将第一步碳酸钡和氧化锡混合粉末在800~900℃大气气氛中预烧结3~4h;将第二步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物球磨;将第三步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物粉末压片;将第四步碳酸钡和氧化锡预烧结混合物压片在900~1000℃大气气氛中保温烧结20~24h,自然冷却,得锡酸钡陶瓷靶材成品。一方面缩短了锡酸钡靶材固相反应烧结时间,另一方面降低了锡酸钡靶材的固相反应烧结温度,从而有效降低了锡酸钡靶材固相反应烧结过程中的能耗,符合节能环保要求。

    一种太阳能光伏组件材料

    公开(公告)号:CN108083640A

    公开(公告)日:2018-05-29

    申请号:CN201711199249.X

    申请日:2017-11-26

    申请人: 常州工学院

    IPC分类号: C03C6/04 C03C17/00

    摘要: 一种太阳能光伏组件材料,它涉及光伏新能源技术领域;它包含正面光伏玻璃和背面光伏玻璃;所述的正面光伏玻璃,包含玻璃本体和纳米薄膜;所述的玻璃本体的上表面涂覆有纳米薄膜;所述的玻璃本体由如下重量份数的原料组成:二氧化硅52~68份、贝壳粉1~5份、铝箔粉5~10份、三氧化二铁1~3份、三氧化二铝12~26份、氧化钙14~24份、氧化硼2~10份、铝酸镁2~6份、氧化钾4~8份、氧化锶3~11份、二氧化铈2~4份、稳定剂3~5份。本发明所述的一种太阳能光伏组件材料,增加透光率、减少阳光的反射、保持清洁、减少光衰、并提高发电率,防火、防爆、耐热性能强。

    一种光伏电站储能方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107579698A

    公开(公告)日:2018-01-12

    申请号:CN201710925279.8

    申请日:2017-10-03

    申请人: 常州工学院

    CPC分类号: Y02E10/563 Y02E10/566

    摘要: 一种光伏电站储能方法,它涉及光伏电站技术领域;它包含若干光伏组件、汇流箱、光伏控制器、蓄电池组、并网逆变器、电能表、电网、电池管理系统、监控主机;所述的若干光伏组件与汇流箱连接,汇流箱与光伏控制器连接,光伏控制器与铁锂电池组连接,蓄电池组依次与并网逆变器、电能表、电网连接;所述的光伏控制器、铁锂电池组、并网逆变器分别与电池管理系统连接,电池管理系统与监控主机连接。本发明所述的一种光伏电站储能方法,充分利用太阳能,结构简单,功率稳定,运营成本较低,运行稳定可靠,易于控制,使用安全,使用寿命长,经济效益和社会效益突出。