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    一种电子束蒸发镀镍的方法
    1.
    发明公开
    一种电子束蒸发镀镍的方法 无效

    公开(公告)号：CN109628893A

    公开(公告)日：2019-04-16

    申请号：CN201811615221.4

    申请日：2018-12-27

    申请人： 广州海鸥住宅工业股份有限公司

    发明人： 刘齐成

    IPC分类号： C23C14/30 ,  C23C14/16 ,  C23C14/02

    CPC分类号： C23C14/30 ,  C23C14/021 ,  C23C14/16

    摘要： 本发明提供了一种电子束蒸发镀镍的方法，包括，S1、清洗工件，将工件放在真空条件下；S2、利用电子束对镍靶材进行预融；S3、通过电子束扫描所述工件，对工件进行二次清洁并预热；S4、电子束轰击S2步骤中预融完成的镍靶材，对所述工件进行电子束蒸发镀镍，其中，所述电子束的功率为40‑70kW，通过将电子束蒸发镀镍的功率提高到40‑70kW，提高蒸镀速率，短时间内即可得到1μm以上的厚膜，在S3步骤中，通过对工件进行高能量密度的电子束扫描，使工件表面杂质蒸发去除，并对工件进行预热，增强膜层牢固性，该电子束扫描过程仅需1分钟，即可达到增加膜与工件结合力的效果，操作简便，效率高。

    一种基于偶氮苯类化合物的醋酸气体传感器及其制备方法和用途
    3.
    发明授权
    一种基于偶氮苯类化合物的醋酸气体传感器及其制备方法和用途 有权

    公开(公告)号：CN105572174B

    公开(公告)日：2018-07-06

    申请号：CN201610024206.7

    申请日：2016-01-14

    申请人： 苏州大学

    发明人： 路建美 ,  贺竞辉

    IPC分类号： G01N27/00

    CPC分类号： G01N27/125 ,  C23C14/021 ,  C23C14/12 ,  C23C14/24 ,  G01N33/0047

    摘要： 本发明公开了一种基于偶氮苯类化合物的醋酸气体传感器及其制备方法和用途。具体而言，本发明的醋酸气体传感器包括叉指电极和镀膜材料，该镀膜材料为如式I所示的偶氮苯类化合物，其通过真空镀膜技术镀于叉指电极上，并且其厚度为100~200nm。本发明的醋酸气体传感器制备便捷，操作简单，选择性高，对于醋酸的传感强度远高于其他含有羟基的分子；另外，本发明的醋酸气体传感器在室温下即可完成检测，对环境温度的依赖度较低。

    一种具有高导热、高散热性能氮化铝厚膜的制备方法
    5.
    发明公开
    一种具有高导热、高散热性能氮化铝厚膜的制备方法 无效

    公开(公告)号：CN108220878A

    公开(公告)日：2018-06-29

    申请号：CN201611128761.0

    申请日：2016-12-09

    申请人： 辽宁法库陶瓷工程技术研究中心

    发明人： 吴学坤 ,  许壮志 ,  薛健 ,  张明 ,  初小葵

    IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/02 ,  C23C14/32

    CPC分类号： C23C14/0617 ,  C23C14/0021 ,  C23C14/021 ,  C23C14/32

    摘要： 一种具有高导热、高散热性能氮化铝厚膜的制备方法，该方法选择纯铝作为阴极靶材，铝靶材的纯度为99.99％，反应气体采用纯氮气，氮气的纯度为99.999％，通过电离出来的铝离子与氮气反应形成A1N高导热膜。实现步骤：1)先将工件基体清洗干燥后放入样品室内，进行抽真空，为了获得高质量氮化铝涂层，真空度必须控制在9×10‑3Pa以下；2)通入高纯Ar气对基体进行溅射清洗；3)随后通氩气、启弧、加负偏压、通氮气，氮气压力为1～3×10‑1Pa，预轰击清洗在250v～650V负偏压下进行10～180min。本发明能在复杂样品表面沉积，成为工程技术领域最广泛应用的膜层制备方法之一。其方法简单，易操作且工艺实用，适合于工业化生产。制备的氮铝厚膜比例一致、含氧少，导热率高。

    一种用于光学镜片的镀膜前清洗设备
    8.
    发明公开
    一种用于光学镜片的镀膜前清洗设备 有权

    公开(公告)号：CN107385389A

    公开(公告)日：2017-11-24

    申请号：CN201710729262.5

    申请日：2017-08-23

    申请人： 苏州鑫河镜业有限公司

    发明人： 杨晓燕

    IPC分类号： C23C14/02

    CPC分类号： C23C14/021

    摘要： 本发明公开了一种用于光学镜片的镀膜前清洗设备，包括机身、除尘装置、淋洗装置，机身外部具有气源管道和清洗液池，所述除尘装置包括吹风口、第一输送带、吸风机，所述吹风口由气源管道供气，所述第一输送带上具有若干载镜夹；所述淋洗装置包括清洗斜面、清洗槽、第三输送机构，所述第一输送带末端与第二输送带相接，所述第二输送带后方具有清洗斜面，所述清洗斜面上具有沟道且沟道与清洗液池连接，清洗斜面在第二输送带的正后方位置具有清洗槽，清洗槽通过其自身的第三输送结构传送，所述清洗槽后方具有第四输送带。本发明的气洗和液洗结合的方式和清洗液层流层对镜片进行温和的清洗，使条件可控且不损伤镜片表面，达到高精度的镀膜要求。