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公开(公告)号：CN107827077B
公开(公告)日：2024-06-21
申请号：CN201710888312.4
申请日：2017-09-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种涉及微机电系统领域的压阻式MEMS温度传感器。该传感器主要采用双层膜结构和惠斯通电桥技术。采用压阻式悬臂梁结构，将惠斯通电桥的四个电阻布置在四个悬臂梁的相同位置，通过引线将四个电阻连接成惠斯通电桥。能够放在狭窄的空间内直接进行点位置的温度测量。
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公开(公告)号：CN109406004B
公开(公告)日：2020-09-08
申请号：CN201811089437.1
申请日：2018-09-18
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种开关柜温升分析方法，所述方法包括，测量开关柜中的发热点，获取测量数据；对发热点的测量数据进行拟合计算；通过拟合计算，得出发热点的温升系数。该分析方法对高压开关柜具有普适性，用户和/或研究人员能够根据本发明分析方法快捷、有效的获取高压开关柜中各个发热点温升系数，进一步提高了对高压开关柜的可控性。
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公开(公告)号：CN109556759A
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201811355452.6
申请日：2018-11-14
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
IPC分类号： G01K13/00
摘要： 本发明公开了一种探究开关柜温升规律的实验方法，所述方法包括：首先，选择监测点；其次，对所述监测点进行负荷电流影响测试、环境温度影响测试、通风设备影响测试、回路电阻影响测试；然后，基于所述测试，获取监测点温升数据以及变化趋势的检测结果；最后，基于温升数据与检测结果，分析、得出温升规律。所述方法根据各个影响因素的温升实验数据比较分析得出开关柜的温升分布规律，所述温升分布规律既给研究人员提供了开关柜研究依据，也增强了对开关柜温升问题的有效控制。
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公开(公告)号：CN109406004A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811089437.1
申请日：2018-09-18
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种开关柜温升分析方法，所述方法包括，测量开关柜中的发热点，获取测量数据；对发热点的测量数据进行拟合计算；通过拟合计算，得出发热点的温升系数。该分析方法对高压开关柜具有普适性，用户和/或研究人员能够根据本发明分析方法快捷、有效的获取高压开关柜中各个发热点温升系数，进一步提高了对高压开关柜的可控性。
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公开(公告)号：CN107727266A
公开(公告)日：2018-02-23
申请号：CN201710889400.6
申请日：2017-09-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
IPC分类号： G01K7/16
CPC分类号： G01K7/16
摘要： 本发明提供了一种MEMS温度传感器及其开关柜测温系统，所述温度传感器包括前端结构、后端电路、无线信号转换电路和供能电路，所述前端结构采用悬臂梁结构，一悬臂梁的一端固定，另一端悬空；并且所述悬臂梁为铝层和SOI器件层硅层的双层结构；所述后端电路包括CMOS开关电容放大器，所述CMOS开关电容放大器将所述前端结构生成的电信号进行放大；所述无线信号转换电路接收后端电路的所述电信号，并通过天线发送；所述供能电路用于通过无线方式对所述MEMS温度传感器供电。MEMS温度传感器实现了微小化、测温精度高、可靠性高，并且有效稳定地实现对开关柜温度的测量。
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公开(公告)号：CN109399554B
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN201811428835.1
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种硅微桥压阻式MEMS温度传感器及其制作方法，所述传感器采用硅微桥双层膜结构，且制作在SOI器件上，下层为SOI器件的顶层硅，所述顶层硅上通过离子注入工艺形成压敏电阻；上层为通过溅射工艺形成的金属铝层；所述硅微桥下方悬空，且不与所述SOI器件的衬底硅相连接。该传感器结构相对稳定，且灵敏度高，硅微桥为可动结构，发生热膨胀时，压敏电阻值发生变化，通过电路的连接可以检测出电阻值的变化，基于电阻值的变化与温度变化呈现的数值关系，从而实现温度的测量。
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公开(公告)号：CN109556759B
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201811355452.6
申请日：2018-11-14
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
IPC分类号： G01K13/00
摘要： 本发明公开了一种探究开关柜温升规律的实验方法，所述方法包括：首先，选择监测点；其次，对所述监测点进行负荷电流影响测试、环境温度影响测试、通风设备影响测试、回路电阻影响测试；然后，基于所述测试，获取监测点温升数据以及变化趋势的检测结果；最后，基于温升数据与检测结果，分析、得出温升规律。所述方法根据各个影响因素的温升实验数据比较分析得出开关柜的温升分布规律，所述温升分布规律既给研究人员提供了开关柜研究依据，也增强了对开关柜温升问题的有效控制。
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公开(公告)号：CN109405990A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811428808.4
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种温度检测系统，所述系统包括传感模块、通信模块、数据模块、以及展示模块；其中，所述传感模块包括温度传感器以及与其连接的边缘计算模块，用于实现温度测量；所述通信模块，用于将所述传感模块的温度测量数据无线传输至所述数据模块；所述数据模块，用于接收温度测量数据；所述展示模块，用于所述温度测量数据的显示与处理。该温度检测系统实现了温度数据的精确测量，且采用无效传输，结构简单，易于布置，使得该系统的通用性更强。
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公开(公告)号：CN109399554A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811428835.1
申请日：2018-11-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
摘要： 本发明公开了一种硅微桥压阻式MEMS温度传感器及其制作方法，所述传感器采用硅微桥双层膜结构，且制作在SOI器件上，下层为SOI器件的顶层硅，所述顶层硅上通过离子注入工艺形成压敏电阻；上层为通过溅射工艺形成的金属铝层；所述硅微桥下方悬空，且不与所述SOI器件的衬底硅相连接。该传感器结构相对稳定，且灵敏度高，硅微桥为可动结构，发生热膨胀时，压敏电阻值发生变化，通过电路的连接可以检测出电阻值的变化，基于电阻值的变化与温度变化呈现的数值关系，从而实现温度的测量。
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公开(公告)号：CN107827077A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201710888312.4
申请日：2017-09-27
申请人： 广东电网有限责任公司惠州供电局 , 清华大学
CPC分类号： B81B3/0032 , B81B7/02 , B81B2201/0278 , B81B2203/0118 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C2201/0166
摘要： 本发明公开了一种涉及微机电系统领域的压阻式MEMS温度传感器。该传感器主要采用双层膜结构和惠斯通电桥技术。采用压阻式悬臂梁结构，将惠斯通电桥的四个电阻布置在四个悬臂梁的相同位置，通过引线将四个电阻连接成惠斯通电桥。能够放在狭窄的空间内直接进行点位置的温度测量。
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