用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119151995B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202411614473.0

    申请日:2024-11-13

    Inventor: 金宪伟 许涛 焦扬

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括:采集扫描电子显微镜的样品仓内未放置样品台对应的参考帧图像和放置样品台对应的图像数据流;对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分,以提取放置样品台的初始掩码;基于所述初始掩码和所述图像数据流中的历史帧图像信息,使用碰撞监测模型提取当前帧中放置样品台的目标掩码;以及根据所述目标掩码和所述目标极靴之间的距离进行扫描电子显微镜中的碰撞监测。利用本申请的方案,可以确定准确的运动目标,提高碰撞检测的精度。

    扫描电子显微镜中生成图像集的方法、设备及存储介质

    公开(公告)号:CN118982484B

    公开(公告)日:2025-05-16

    申请号:CN202411436992.2

    申请日:2024-10-15

    Inventor: 聂莉 许涛

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种扫描电子显微镜中生成图像集的方法、设备及存储介质。所述方法包括:使用扫描电子显微镜按照目标拍图条件采集待测样品的多幅电镜图像,以构成初始图像集;计算所述初始图像集中每幅电镜图像的至少一个参考指标;基于所述参考指标筛选所述初始图像集中的异常图像;对筛选异常图像后的图像集中的电镜图像进行灰度直方图匹配,获得目标图像集;以及计算所述目标图像集的平均图,以生成最终图像集。利用本申请的方案,可以获得近似真实的高质量无噪声图像集,提高深度学习在SEM图像去噪领域的可用性。

    用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119151995A

    公开(公告)日:2024-12-17

    申请号:CN202411614473.0

    申请日:2024-11-13

    Inventor: 金宪伟 许涛 焦扬

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种用于扫描电子显微镜中碰撞监测的方法、设备和存储介质。所述方法包括:采集扫描电子显微镜的样品仓内未放置样品台对应的参考帧图像和放置样品台对应的图像数据流;对所述参考帧图像和所述图像数据流中的初始帧图像进行帧间差分,以提取放置样品台的初始掩码;基于所述初始掩码和所述图像数据流中的历史帧图像信息,使用碰撞监测模型提取当前帧中放置样品台的目标掩码;以及根据所述目标掩码和所述目标极靴之间的距离进行扫描电子显微镜中的碰撞监测。利用本申请的方案,可以确定准确的运动目标,提高碰撞检测的精度。

    扫描电子显微镜中生成图像集的方法、设备及存储介质

    公开(公告)号:CN118982484A

    公开(公告)日:2024-11-19

    申请号:CN202411436992.2

    申请日:2024-10-15

    Inventor: 聂莉 许涛

    Abstract: 本申请涉及扫描电子显微镜技术领域,公开了一种扫描电子显微镜中生成图像集的方法、设备及存储介质。所述方法包括:使用扫描电子显微镜按照目标拍图条件采集待测样品的多幅电镜图像,以构成初始图像集;计算所述初始图像集中每幅电镜图像的至少一个参考指标;基于所述参考指标筛选所述初始图像集中的异常图像;对筛选异常图像后的图像集中的电镜图像进行灰度直方图匹配,获得目标图像集;以及计算所述目标图像集的平均图,以生成最终图像集。利用本申请的方案,可以获得近似真实的高质量无噪声图像集,提高深度学习在SEM图像去噪领域的可用性。

    用于对扫描电镜图像进行调节的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119130817B

    公开(公告)日:2025-02-28

    申请号:CN202411623208.9

    申请日:2024-11-14

    Inventor: 焦扬 许涛

    Abstract: 本申请涉及图像处理技术领域,公开了一种用于对扫描电镜图像进行调节的方法、设备和存储介质。该方法包括:在扫描电镜的上焦平面和下焦平面进行图像采集,以获得第一图像和第二图像;对第一图像和第二图像进行傅里叶变换,以获得第一频域图像和第二频域图像;对第一频域图像和第二频域图像中的高频分量的占比进行分析,以获得第一高频占比和第二高频占比;根据第一高频占比和第二高频占比确定调节类型、调节方向和调节步长;以及基于调节类型、调节方向和调节步长实现对扫描电镜图像的调节。利用本申请的方案,可以自动给出扫描电镜图像的调节策略,能够减少对操作者的经验和技巧的依赖,能够提高调节精度。

    一种用于控制成像设备的方法及装置

    公开(公告)号:CN119211704A

    公开(公告)日:2024-12-27

    申请号:CN202411636163.9

    申请日:2024-11-15

    Abstract: 本申请公开了一种用于控制成像设备的方法及装置,属于自动化控制技术领域。该方法包括:获取针对所述成像设备的操作指令,所述操作指令用于指示所述成像设备执行目标操作;通过第一转换模块,将所述操作指令转换为针对所述成像设备的操作信息,用于确定所述成像设备被指示执行的目标操作;通过第二转换模块,根据所述成像设备的操作文档,将所述操作信息转换为针对所述成像设备的控制程序,用于控制所述成像设备。根据本申请公开的方法,可以实现成像设备根据用户的操作指令自动地执行操作,从而节省用户学习和掌握复杂的设备操作方法的时间成本,提高用户的工作效率。

    带电粒子束系统中视场缝合的方法、电子设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119943633A

    公开(公告)日:2025-05-06

    申请号:CN202510425101.1

    申请日:2025-04-07

    Abstract: 本申请公开了一种带电粒子束系统中视场缝合的方法、电子设备和存储介质。所述方法包括:基于第一标定,构建不同工作距离下光学导航装置和磁偏转装置之间的第一关系模型;使用预处理模型对第一图像进行分辨率处理,以匹配磁偏转装置拍摄的第二图像;根据第一关系模型、匹配后的第一图像和第二图像形成光学导航装置至磁偏转装置的第一视场切换点;基于第二标定,构建磁偏转装置和电偏转装置之间的第二关系模型;根据第二关系模型形成磁偏转装置至电偏转装置的第二视场切换点;基于第一视场切换点和第二视场切换点进行相应视场补偿。利用本申请的方案,可以实现在不同模式下图像分辨率的无感切换,提高带电粒子束系统的整体性能。

    自动调节扫描电镜图像的亮度和对比度的方法及相关产品

    公开(公告)号:CN117640853B

    公开(公告)日:2024-07-09

    申请号:CN202311617279.3

    申请日:2023-11-29

    Abstract: 本申请公开了一种自动调节扫描电镜图像的亮度和对比度的方法及相关产品。所述方法包括:将扫描电镜预先调节至预设状态,以获得预调亮度和预调对比度;获取所述扫描电镜在所述预调亮度和所述预调对比度下采集的目标电镜图像;基于所述目标电镜图像计算灰度直方图;根据所述目标电镜图像的灰度直方图计算与调节扫描电镜图像的亮度和对比度相关联的目标调节步长;以及根据所述目标调节步长对所述扫描电镜图像的所述预调亮度和所述预调对比度进行调节,以获得目标亮度和目标对比度。利用本申请的方案,可以快速调节扫描电镜图像的亮度和对比度,并提高扫描电镜采集的图像质量。

    用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119835545A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411806596.4

    申请日:2024-12-10

    Inventor: 焦扬 聂莉 许涛

    Abstract: 本申请公开了一种用于对扫描电镜进行聚焦的方法、电子设备和存储介质。该方法包括:沿预设方向逐次调节所述扫描电镜的聚焦值,并采集每次调节聚焦值形成的图像,以获得多张图像;采用预设全局梯度差异算法计算各图像的清晰度,以获得多个图像清晰度;以及基于所述逐次调节的聚焦值和所述多个图像清晰度,利用梯度下降法和/或遍历法在预设聚焦值区间内确定最佳聚焦值,以完成对所述扫描电镜的聚焦。利用本申请的方案,可以适应复杂噪声和多样化样品环境下的图像清晰度评估,具有较高的鲁棒性和精度。

    用于对扫描电镜图像进行调节的方法、设备和存储介质

    公开(公告)号:CN119130817A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411623208.9

    申请日:2024-11-14

    Inventor: 焦扬 许涛

    Abstract: 本申请涉及图像处理技术领域,公开了一种用于对扫描电镜图像进行调节的方法、设备和存储介质。该方法包括:在扫描电镜的上焦平面和下焦平面进行图像采集,以获得第一图像和第二图像;对第一图像和第二图像进行傅里叶变换,以获得第一频域图像和第二频域图像;对第一频域图像和第二频域图像中的高频分量的占比进行分析,以获得第一高频占比和第二高频占比;根据第一高频占比和第二高频占比确定调节类型、调节方向和调节步长;以及基于调节类型、调节方向和调节步长实现对扫描电镜图像的调节。利用本申请的方案,可以自动给出扫描电镜图像的调节策略,能够减少对操作者的经验和技巧的依赖,能够提高调节精度。

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