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公开(公告)号：CN118603622A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410713312.0
申请日：2024-06-04
Applicant: 清华大学天津电子信息研究院 , 惠然科技有限公司 , 中国航发四川燃气涡轮研究院
Abstract: 本发明公开了一种用于电镜的颗粒类样品的取样装置，包括钉台、钉台固定座、弹性组件和操作杆；钉台的上端面为钉台取样面，该钉台可拆卸组装在钉台固定座的顶部，弹性组件可拆卸组装在钉台固定座的底部与操作杆之间；取样时通过操作操作杆，经由弹性组件的弹性变形对钉台固定座施加压力，实现钉台取样面与待取颗粒类样品表面的有效接触，将颗粒类样品转移至钉台取样面上。该取样装置可方便对各可拆卸部件进行更换以适配不同取样环境条件；在无损不破坏真实工况的情况下，可实现直接取样，取样过程方便快捷，不需进行样品二次转移，可有效保留颗粒物粒径分布、密度分布等关键信息，最大限度保留原始样品信息。
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公开(公告)号：CN118067017B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202311735074.5
申请日：2023-12-15
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于检测半导体高度的方法、高度检测系统及相关产品。该方法应用于高度检测系统，具体包括：利用偏振分束镜对激光光束发射单元输出的检测光束进行分束，以形成不同偏振方向的偏振光束；分别沿着参考光路和样本光路传播并反射不同偏振方向的偏振光束，使其在偏振分束镜处合束成叠加光信号；利用第一光调制器将叠加光信号调制成调制光信号；利用光电探测器将调制光信号转换成携带相位差的电信号；利用锁相放大器解析电信号，以获得参考反射光束与样本反射光束的相位差；以及根据相位差计算半导体的高度信息。通过本申请实施例的方案，能够通过更易实现的系统设计，快速、准确地完成半导体高度信息的检测。
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公开(公告)号：CN118604024A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410713310.1
申请日：2024-06-04
Applicant: 惠然科技有限公司 , 中国航发四川燃气涡轮研究院 , 清华大学天津电子信息研究院
IPC: G01N23/20008 , G01N23/2204 , G01N23/00
Abstract: 本发明公开了一种用于电镜的手动送样装置，包括送样杆、样品托盘和底座；底座用于固定在电镜主腔室内，送样杆的前端由电镜预抽室上的通孔穿入至电镜预抽室内，并能够携带样品托盘在电镜预抽室内进行轴向移动，使样品托盘能够由电镜预抽室移动至电镜主腔室内的底座上；底座的上端面开有沿送样杆的轴向贯穿底座的定位凹槽，且定位凹槽的槽宽由靠近电镜预抽室至远离电镜预抽室的方向逐渐变小，样品托盘的下端面设有与定位凹槽配合的定位凸台。该手动送样装置可实现将样品从大气环境转移至电镜主腔室内的高真空环境时，无需对电镜主腔室频繁抽真空，具有结构简单、操作容易、送样效率高等优点，适用于多个样品频繁送样的应用场景。
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公开(公告)号：CN118067017A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311735074.5
申请日：2023-12-15
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种用于检测半导体高度的方法、高度检测系统及相关产品。该方法应用于高度检测系统，具体包括：利用偏振分束镜对激光光束发射单元输出的检测光束进行分束，以形成不同偏振方向的偏振光束；分别沿着参考光路和样本光路传播并反射不同偏振方向的偏振光束，使其在偏振分束镜处合束成叠加光信号；利用第一光调制器将叠加光信号调制成调制光信号；利用光电探测器将调制光信号转换成携带相位差的电信号；利用锁相放大器解析电信号，以获得参考反射光束与样本反射光束的相位差；以及根据相位差计算半导体的高度信息。通过本申请实施例的方案，能够通过更易实现的系统设计，快速、准确地完成半导体高度信息的检测。
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公开(公告)号：CN117799941A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311856894.X
申请日：2023-12-29
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本发明公开一种空气敏感样品的转运装置，包括转运杆、转运腔、第一密封阀和第二密封阀；第一密封阀用于设置在目标腔体的侧壁上，第二密封阀固定在转运腔的前端，第一密封阀和第二密封阀可拆卸连接，转运杆的前端从转运腔的后端穿入到转运腔内，并能由转运腔内依次穿过第二密封阀和第一密封阀，进入到目标腔体内；转运杆包括第一推杆和第二推杆，第一推杆的前端固定有样品托，第一推杆的后端与第二推杆的前端可拆卸连接，且能通过操控第二推杆实现第一推杆和第二推杆连接或分离，样品托位于转运腔内，至少部分第一推杆位于转运腔内。该转运装置具有转运操作简单和转运效率高等优点，且能够有效降低样品在转运过程中空气暴露的风险。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117775694A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311856951.4
申请日：2023-12-29
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种样品转移装置，包括转运腔、转运杆、第一密封阀和第二密封阀；第一密封阀设置在转运腔的一端，转运腔的另一端用于与第一腔体固定连通，第二密封阀用于设置在第二腔体上，第一密封阀与第二密封阀可拆卸连接，转运杆设于第一腔体内，转运杆的前端能够携带样品，并由第一腔体内依次穿过转运腔内、第一密封阀和第二密封阀，进入到第二腔体内。该样品转移装置具有结构简单、易于操作和转运效率高等优点，适用于样品频繁转运的场景，能够有效降低样品在转运过程中空气暴露的风险。
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公开(公告)号：CN117728281A
公开(公告)日：2024-03-19
申请号：CN202311737297.5
申请日：2023-12-15
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本申请公开了一种激光诱发充电控制装置、方法及带电粒子束检测系统。该激光诱发充电控制装置包括：激光发射单元，其包括至少两组激光发射组件，用于产生不同波段的激光光束，其中每组激光发射组件包括激光发射器和离轴抛物面镜，激光发射器发出的激光光束经离轴抛物面镜进行准直并反射；激光耦合单元，用于接收每组激光发射组件中离轴抛物面镜所反射的激光光束，并将其耦合至同一光路；以及激光调控单元，用于接收光路上的耦合激光光束，并对耦合激光光束依次进行偏转、整形和聚焦反射，使其照射至待测半导体的表面。通过本申请实施例的方案，能够实现多波长耦合的激光光源，以适配更多种晶圆检测场景。
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公开(公告)号：CN117672789A
公开(公告)日：2024-03-08
申请号：CN202311619264.0
申请日：2023-11-29
Applicant: 惠然科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种样品托盘，包括：按钮部件，其用于被按压和按压后复位；燕尾槽卡扣部件，其侧部开设有第一孔，并与所述按钮部件相抵接，以便于所述按钮部件在被按压时推动所述燕尾槽卡扣部件向下运动，使所述燕尾槽卡扣部件便于滑入或者滑出与其相匹配的观样台底座的第一燕尾槽；以及弹性复位部件，其穿插于所述第一孔内，以用于所述按钮部件在被按压后复位时，所述弹性复位部件带动所述燕尾槽卡扣部件向上运动，使所述燕尾槽卡扣部件与其相匹配的观样台底座的第一燕尾槽卡紧。通过包括按钮部件、燕尾槽卡扣部件和弹性复位部件的结构设计，本发明的方案可以使样品托盘与观样台底座实现低摩擦且快速的固定，满足了实际应用中对样品托盘快速安装固定的复杂需求。
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公开(公告)号：CN117640853A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311617279.3
申请日：2023-11-29
Applicant: 惠然科技有限公司
IPC: H04N1/60
Abstract: 本申请公开了一种自动调节扫描电镜图像的亮度和对比度的方法及相关产品。所述方法包括：将扫描电镜预先调节至预设状态，以获得预调亮度和预调对比度；获取所述扫描电镜在所述预调亮度和所述预调对比度下采集的目标电镜图像；基于所述目标电镜图像计算灰度直方图；根据所述目标电镜图像的灰度直方图计算与调节扫描电镜图像的亮度和对比度相关联的目标调节步长；以及根据所述目标调节步长对所述扫描电镜图像的所述预调亮度和所述预调对比度进行调节，以获得目标亮度和目标对比度。利用本申请的方案，可以快速调节扫描电镜图像的亮度和对比度，并提高扫描电镜采集的图像质量。
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公开(公告)号：CN118471771A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410713305.0
申请日：2024-06-04
Applicant: 中国航发四川燃气涡轮研究院 , 惠然科技有限公司 , 清华大学天津电子信息研究院
Abstract: 本发明公开了一种电镜样品托、电子显微镜和提高样品成像质量的方法；其中，电镜样品托的上端面开有凹槽，凹槽的槽壁由槽底至槽口方向向凹槽的外侧倾斜，凹槽的槽底用于承载样品。该电镜样品托承载颗粒类不平样品在电镜反向减速模式下进行电镜拍摄时，能够使颗粒类样品拍摄形成的图像为正常高分辨率图像，且电镜样品托具有结构简单、成本低廉、操作方便等优点。
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