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公开(公告)号：CN1056138A
公开(公告)日：1991-11-13
申请号：CN91102922.2
申请日：1991-04-27
Applicant: 日本钢管株式会社
IPC: C30B15/26
CPC classification number: G01B11/08 , Y10T117/1008
Abstract: 单晶硅直径的一种控制方法，在单晶硅边相对于坩埚转动边受提拉的单晶硅制造过程中，将光学装置测出的提拉单晶的直径测定值与要求直径值进行比较，以确定偏差，再对得出的偏差进行不完全微分PID处理或史密斯法处理，以计算提拉速度，再将提拉速度加到晶体提拉设备的电动机控制器上，从而通过控制提拉速度控制提拉单晶的参数。为完成上述单晶硅直径的一种控制方法的设备，包括输入装置、不完全微分PID计算装置和输出装置。
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