公开(公告)号：CN1056138A

公开(公告)日：1991-11-13

申请号：CN91102922.2

申请日：1991-04-27

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 川岛章洁 ,  佐藤晨夫 ,  大川登志男

IPC: C30B15/26

CPC classification number: G01B11/08 ,  Y10T117/1008

Abstract: 单晶硅直径的一种控制方法，在单晶硅边相对于坩埚转动边受提拉的单晶硅制造过程中，将光学装置测出的提拉单晶的直径测定值与要求直径值进行比较，以确定偏差，再对得出的偏差进行不完全微分PID处理或史密斯法处理，以计算提拉速度，再将提拉速度加到晶体提拉设备的电动机控制器上，从而通过控制提拉速度控制提拉单晶的参数。为完成上述单晶硅直径的一种控制方法的设备，包括输入装置、不完全微分PID计算装置和输出装置。

公开(公告)号：CN1056165A

公开(公告)日：1991-11-13

申请号：CN91102921.4

申请日：1991-04-27

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 川岛章浩 ,  佐藤晨夫 ,  大川登志男

IPC: G01B11/08 ,  C30B15/26

CPC classification number: G01B11/105 ,  Y10T117/1004

Abstract: 本发明涉及一种测定单晶硅直径的方法和设备。在用CZ法提拉单晶的一规定转动周期的间隔内，用光学装置对熔融环的亮度分布进行取样，由此得出该提拉单晶的直径测定值，再用低通滤波器处理该直径测定值，以产生转换成时序直径数据的滤波器输出值，然后求出滤波器输出值的移动平均值，从而计算出直径值。本发明涉及的设备包括能完成上述测定方法的光学装置、一低通滤波器和计算装置。