公开(公告)号：CN118098919A

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN202410031549.0

申请日：2020-05-22

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 迈克尔·菲利普·罗伯茨 ,  布莱恩·威廉姆斯 ,  弗朗西斯科·J·华雷斯 ,  雷切尔·E·巴策尔 ,  拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  理查德·菲利普斯 ,  杨诺亚 ,  约瑟夫·L·沃马克 ,  李明 ,  钱俊 ,  洪图 ,  斯凯·穆勒诺

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  C23C16/54

摘要： 本文提供了用于独立调整流路传导性的方法及装置。一种多站处理装置可以包括：处理室；位于所述处理室中的多个处理站，其各自包括具有进气口的喷头；以及气体输送系统，其包括接合点和多个流路，其中每一流路：包括流量元件，包括温度控制单元，其与所述流量元件热连接，且其是能控制的以改变所述流量元件的温度，以及将处理站的一个对应进气口流体连接至所述接合点，使得所述多个处理站中的每一处理站通过不同流路流体连接至所述接合点。

公开(公告)号：CN114207767A

公开(公告)日：2022-03-18

申请号：CN202080055744.7

申请日：2020-05-22

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 迈克尔·菲利普·罗伯茨 ,  布莱恩·威廉姆斯 ,  弗朗西斯科·J·华雷斯 ,  雷切尔·E·巴策尔 ,  拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  理查德·菲利普斯 ,  杨·诺亚 ,  约瑟夫·L·沃马克 ,  李明 ,  钱俊 ,  洪图 ,  斯凯·穆勒诺

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  C23C16/54

摘要： 本文提供了用于独立调整流路传导性的方法及装置。一种多站处理装置可以包括：处理室；位于所述处理室中的多个处理站，其各自包括具有进气口的喷头；以及气体输送系统，其包括接合点和多个流路，其中每一流路：包括流量元件，包括温度控制单元，其与所述流量元件热连接，且其是能控制的以改变所述流量元件的温度，以及将处理站的一个对应进气口流体连接至所述接合点，使得所述多个处理站中的每一处理站通过不同流路流体连接至所述接合点。

公开(公告)号：CN114207767B

公开(公告)日：2024-01-30

申请号：CN202080055744.7

申请日：2020-05-22

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 迈克尔·菲利普·罗伯茨 ,  布莱恩·威廉姆斯 ,  弗朗西斯科·J·华雷斯 ,  雷切尔·E·巴策尔 ,  拉梅什·钱德拉塞卡拉 ,  理查德·菲利普斯 ,  杨诺亚 ,  约瑟夫·L·沃马克 ,  李明 ,  钱俊 ,  洪图 ,  斯凯·穆勒诺

IPC分类号： H01J37/32 ,  H01L21/67 ,  C23C16/455 ,  C23C16/54

摘要： 本文提供了用于独立调整流路传导性的方法及装置。一种多站处理装置可以包括：处理室；位于所述处理室中的多个处理站，其各自包括具有进气口的喷头；以及气体输送系统，其包括接合点和多个流路，其中每一流路：包括流量元件，包括温度控制单元，其与所述流量元件热连接，且其是能控制的以改变所述流量元件的温度，以及将处理站的一个对应进气口流体连接至所述接合点，使得所述多个处理站中的每一处理站通过不同流路流体连接至所述接合点。