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公开(公告)号:CN101355134B
公开(公告)日:2010-11-03
申请号:CN200810135194.0
申请日:2003-06-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , B41J2/14233 , B41J2/14282 , B41J2002/1425 , B41J2202/03 , G01C19/5607 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 本发明涉及压电元件、喷墨头、角速度传感器及其制法和喷墨式记录装置,压电元件具备第一电极层、压电体层和第二电极层,第一电极层由选自钴、镍、铁、锰及铜的至少一种金属与贵金属构成,压电体层由钙钛矿型氧化物构成,在第一电极层与压电体层间设有由优先取向于立方或正方晶系的(100)或(001)面的钙钛矿型氧化物构成的取向控制层,该控制层的第一电极层侧的部分为:(100)或(001)面取向的区域存在于位于第一电极层中取向控制层侧的表面部的所述至少一种金属上,且与层厚方向垂直的截面中的所述(100)或(001)面取向区域的面积从第一电极层侧向着压电体层侧变大,所述至少一种金属,在第一电极层以控制取向控制层的成长方向的方式形成图案。
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公开(公告)号:CN100337825C
公开(公告)日:2007-09-19
申请号:CN200380100424.5
申请日:2003-12-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , Y10S29/016 , Y10S29/019 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49401
Abstract: 首先,在硅基板(1)的一侧面上按第1电极层(4)、压电体层(5)、第2电极层(6)及振动层(7)的顺序沉积而成。接下来,在振动层(7)上沉积墨室间壁(8)和喷头板(11)。再下来,从第1电极层(4)的背面研削硅基板(1)到所规定的厚度为止,之后,进行干蚀刻除去残余的硅基板(13)。其后,制图第1电极层(4)形成复数个喷墨机构(2、2、…)。最后,分隔复数个喷墨机构(2、2、…)同时制作复数个喷墨头(3、3、…)。
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公开(公告)号:CN1692020A
公开(公告)日:2005-11-02
申请号:CN200380100424.5
申请日:2003-12-08
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1635 , B41J2/1643 , B41J2/1646 , Y10S29/016 , Y10S29/019 , Y10T29/42 , Y10T29/49155 , Y10T29/49401
Abstract: 首先,在硅基板(1)的一侧面上按第1电极层(4)、压电体层(5)、第2电极层(6)及振动层(7)的顺序沉积而成。接下来,在振动层(7)上沉积墨室间壁(8)和喷头板(11)。再下来,从第1电极层(4)的背面研削硅基板(1)到所规定的厚度为止,之后,进行干蚀刻除去残余的硅基板(13)。其后,制图第1电极层(4)形成复数个喷墨机构(2、2、…)。最后,分隔复数个喷墨机构(2、2、…)同时制作复数个喷墨头(3、3、…)。
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公开(公告)号:CN102741715B
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:CN200980100677.X
申请日:2009-05-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G02B5/1814 , G02B5/1857 , G02B5/1866
Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件及其制造方法。衍射光学元件具有:基体(1),其由含有第一树脂的第一光学材料构成,且在表面具有衍射光栅(2);光学调整层(3),其由含有第二树脂的第二光学材料构成,且以覆盖衍射光栅(2)的方式被设置在基体(1)上,其中,第一光学材料的折射率小于第二光学材料的折射率,第一光学材料的折射率的波长色散性大于第二光学材料的折射率的波长色散性,第一树脂及第二树脂的溶解度参数之差为0.8〔cal/cm3〕1/2以上且2.5〔cal/cm3〕1/2以下。
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公开(公告)号:CN103097926A
公开(公告)日:2013-05-08
申请号:CN201280002207.1
申请日:2012-07-11
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/18 , G02B5/0242 , G02B5/0278 , G02B5/1852 , G02B5/1876
Abstract: 本申请公开的衍射光学元件,具备:基体(102):由包含第一树脂的第一光学材料构成,具有包括设有衍射栅格(104)的第一区域(105)和位于第一区域的外侧的第二区域(106)的表面(102a);光学调整层(103),由包含第二树脂的第二光学材料构成,覆盖基体表面的第二区域(106)的至少一部分及第一区域而设置在基体上;以及接合界面部(109),包含相对于第二光学材料具有接合性的接合性材料,接合界面部在基体表面的第二区域(106)中,至少一部分位于光学调整层(103)的下方,并且至少存在于从表面到内部的区域中。
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公开(公告)号:CN102317817A
公开(公告)日:2012-01-11
申请号:CN201080000966.5
申请日:2010-02-22
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B27/4211 , G02B1/041 , G02B5/1814 , G02B5/1895 , G02C7/02 , G02C2202/20 , C08L69/00
Abstract: 本发明的衍射光学元件具有:基体,由含有第一树脂的第一光学材料构成,且在表面具有衍射光栅;光学调整层,由含有第二树脂的第二光学材料构成,按照覆盖衍射光栅的方式设置于基体上,第一树脂的溶解度参数和第二树脂的溶解度参数的差为0.8[cal/cm3]1/2以上,第一树脂和第二树脂分别具有苯环。
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公开(公告)号:CN1308146C
公开(公告)日:2007-04-04
申请号:CN03147943.X
申请日:2003-06-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B41J2/1646 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1637 , B41J2/1643 , B41J2/1645 , B41J2002/14266
Abstract: 本发明涉及如油墨喷出头(H)等那样,在喷出油墨等液体的液体喷出头中,当在压电元件(2)的液体室构件(油墨室构件1)一侧的表面上,用非电解镀层法形成液体室构件时,至少该表面一侧的一部分由含有用于辅助该镀层成长的核形成的材料的、核形成辅助材料含有层(2d)构成。在该核形成辅助材料含有层(2d)上,用非电解镀层法形成液体室构件。
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公开(公告)号:CN1468711A
公开(公告)日:2004-01-21
申请号:CN03147943.X
申请日:2003-06-26
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: B41J2/1646 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1637 , B41J2/1643 , B41J2/1645 , B41J2002/14266
Abstract: 本发明涉及如油墨喷出头(H)等那样,在喷出油墨等液体的液体喷出头中,当在压电元件(2)的液体室构件(油墨室构件1)一侧的表面上,用非电解镀层法形成液体室构件时,至少该表面一侧的一部分由含有用于辅助该镀层成长的核形成的材料的、核形成辅助材料含有层(2d)构成。在该核形成辅助材料含有层(2d)上,用非电解镀层法形成液体室构件。
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公开(公告)号:CN102841394B
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201210186888.3
申请日:2012-06-07
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G02B5/18
CPC classification number: G02B5/1866 , G02B5/1876 , G02B5/1895
Abstract: 本发明提供一种衍射光学元件,其包括由第1光学材料构成并在表面具有衍射光栅的基体、和由第2光学材料构成并以覆盖衍射光栅的方式设置在基体的光学调整层,通过衍射光栅的前端的包络面是曲面,光学调整层从包络面起在法线方向上具有均等的厚度。该衍射光学元件能抑制色相不均、因热冲击引起的裂纹发生。
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公开(公告)号:CN100477314C
公开(公告)日:2009-04-08
申请号:CN03149264.9
申请日:2003-06-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , B41J2/14233 , B41J2/14282 , B41J2002/1425 , B41J2202/03 , G01C19/5607 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 一种压电元件(20),在硅基板(1)上形成第一电极层,该第一电极层由从钴、镍、铁、锰及铜的组中选择的至少一种金属与贵金属的合金构成,在该第一电极层(2)上形成由菱面体晶系或正方晶系的钙钛矿型氧化物(PZT等)构成的压电体层(3),使该压电体层(3)优先取向于(001)面。
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