-
公开(公告)号：CN1236418A
公开(公告)日：1999-11-24
申请号：CN98801149.2
申请日：1998-08-13
CPC分类号： G01F1/40 , G05D7/0186
摘要： 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔,节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2,该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中,将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状;并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4,该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。
-
公开(公告)号：CN1149342C
公开(公告)日：2004-05-12
申请号：CN98801149.2
申请日：1998-08-13
CPC分类号： G01F1/40 , G05D7/0186
摘要： 一种压力式流量控制装置中使用的节流孔，节流孔具备入口圆锥部1和与其相连接的节流平行部2，该节流平行部2为在压力式流量控制装置中使用的节流孔中，将穿设在主体构件D上的下孔6一方的开口端部切削而形成的喇叭吹口状；并且还具备圆锥扩径部3和与其相连接的平行扩径部4，该圆锥扩径部3与通过将上述下孔6另一方的开口端部扩径而形成的上述节流平行部2相连接。
-
公开(公告)号：CN100385162C
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200580002923.X
申请日：2005-01-13
IPC分类号： F16K51/00
CPC分类号： F16K51/02 , Y10T137/6606 , Y10T137/7043 , Y10T137/7062
摘要： 本发明提供一种在气体供给系和气体排放系中可在高温状态下使用并且因具有优异的绝热性能而能够大大提高小型化、紧凑化程度的真空绝热阀。在由具有阀本体和执行器的阀以及容纳该阀的真空绝热箱形成的真空绝热阀中，所述真空绝热箱(S)由在其侧面具有真空绝热配管接口(J)并且上面敞口的方形的下部真空箱壳(S5)、以及从上方呈气密状态嵌合在该下部真空箱壳(S5)上并且下面敞口的上部真空箱壳(S4)形成。
-
公开(公告)号：CN100376829C
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200480004466.3
申请日：2004-02-09
摘要： 本发明提供一种适用于半导体制造装置的真空排气系统用的隔膜阀，可以防止由气体的热分解所产生的生成物的堆积附着所带来的部件的腐蚀、或由生成物而带来堵塞或泄漏的发生，进而，可以实现真空排气系统的设备的小型化、随之可降低成本，而且，可以相应地进行用于缩短真空排气时间的真空排气系统的配管的小口径化。具体来说，真空排气系统用的隔膜阀(1)具有阀体(2)、隔膜(3)和驱动机构(4)，所述阀体(2)具有流入通路(6)、流出通路(7)和形成于其间的阀座(8)，所述隔膜(3)设于阀体(2)上并可接触或离开阀座(8)，所述驱动机构(4)设于阀体(2)上并可使隔膜(3)与阀座(8)接触或离开阀座(8)，在上述阀体(2)和隔膜(3)的流体接触部分(25)上涂覆规定厚度的合成树脂覆膜(5)。
-
公开(公告)号：CN1175198C
公开(公告)日：2004-11-10
申请号：CN00809795.X
申请日：2000-06-05
IPC分类号： F16K47/08
摘要： 提供一种节流孔内设阀，不仅能够降低制造成本，而且能够提高节流孔的加工精度并在进行阀的组装时能够防止节流孔变形，从而能够获得优良的流量控制特性。发明的节流孔内设阀具备形成有气体流入通路和气体流出通路的耐热材料制造的阀本体，形成有气体流出通路及阀座的合成树脂制造的阀座体，耐热材料制造的节流孔盘，以及使阀座体的气体流出通路缩径的节流孔，并设有气体流入通路和阀座体插装孔的耐热材料制造的内盘插在阀本体阀室内，通过对该内盘的外周缘从上方进行推压，而使得插装于阀座体插装孔内的阀座体和容纳于阀座体的凹部内的节流孔盘呈气密状态固定在阀本体上。
-
公开(公告)号：CN100357642C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200480004084.0
申请日：2004-02-09
CPC分类号： F16K7/14 , F16K27/003 , F16K51/02
摘要： 本发明提供一种阀，这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应，并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说，将铝钝态用于在真空排气系统中使用的阀等配管零件，来抑制因烘焙时的温度升高而引起的气体分解，从而提供与真空排气系统的小口径化相适应的零件，特别是使得不会因气体分解产生的生成物的堆积而发生腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。
-
公开(公告)号：CN1307381C
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN02828573.5
申请日：2002-03-18
CPC分类号： F16J15/02 , F16J15/062 , F16J15/104 , F16L19/00 , F16L19/0212 , F16L19/0218 , F16L25/0018 , F16L27/082 , F16L27/0828 , Y10S277/925 , Y10S285/917
摘要： 一种流体接头，在各接头部件(1、2)的抵接端面上，设有围绕流体通路(1a、2a)且在底面具有环状突起(5、6)的环状凹部(3、4)。垫圈(10)由外径小于环状凹部(3、4)的直径且位于两接头部件(1、2)的突起(5、6)之间的密封部(11)、和具有能嵌合到环状凹部(3、4)中的外径且位于密封部(11)的外侧的导向部(12)构成。在适当拧紧时使两接头部件(1、2)的抵接端面相互抵接。在密封部(11)的外周设有环状槽(14)，密封部(11)和导向部(12)通过嵌合于该环状槽(14)中的弹性挡环(13)相连接。
-
公开(公告)号：CN1748102A
公开(公告)日：2006-03-15
申请号：CN200480004084.0
申请日：2004-02-09
CPC分类号： F16K7/14 , F16K27/003 , F16K51/02
摘要： 本发明提供一种阀，这种阀能够与旨在实现真空排气系统的设备的小型化并由此降低成本和缩短真空排气时间的真空排气系统配管的小口径化相适应，并能够防止由气体分解产生的离解生成物的堆积所导致的内部的腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。具体地说，将铝钝态用于在真空排气系统中使用的阀等配管零件，来抑制因烘焙时的温度升高而引起的气体分解，从而提供与真空排气系统的小口径化相适应的零件，特别是使得不会因气体分解产生的生成物的堆积而发生腐蚀、堵塞、阀座泄漏等。
-
公开(公告)号：CN1623057A
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：CN02828573.5
申请日：2002-03-18
CPC分类号： F16J15/02 , F16J15/062 , F16J15/104 , F16L19/00 , F16L19/0212 , F16L19/0218 , F16L25/0018 , F16L27/082 , F16L27/0828 , Y10S277/925 , Y10S285/917
摘要： 一种流体接头，在各接头部件(1、2)的抵接端面上，设有围绕流体通路(1a、2a)且在底面具有环状突起(5、6)的环状凹部(3、4)。垫圈(10)由外径小于环状凹部(3、4)的直径且位于两接头部件(1、2)的突起(5、6)之间的密封部(11)、和具有能嵌合到环状凹部(3、4)中的外径且位于密封部(11)的外侧的导向部(12)构成。在适当拧紧时使两接头部件(1、2)的抵接端面相互抵接。在密封部(11)的外周设有环状槽(14)，密封部(11)和导向部(12)通过嵌合于该环状槽(14)中的卡环(13)相连接。
-
公开(公告)号：CN1127004C
公开(公告)日：2003-11-05
申请号：CN99800002.7
申请日：1999-01-11
申请人： 株式会社富士金 , 大见忠弘 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 一种供如半导体制造设备中气体供给系统用的流体供给设备，它使得有可能在开始供给流体或流体转换时高精度控制流体流速而不产生流体的瞬时过冲现象。本发明的流体供给设备包括：压力流量控制器，用来调节流体的流率；流体转换阀，用来打开和关闭压力流量控制器次级侧的流体通道；以及流体供给控制单元，用来控制压力流量控制器和流体转换阀的操作；压力流量控制器包括：注流孔5；设置在注流孔5上游侧的控制阀1；设置在控制阀1和注流孔5之间的压力检测器3；以及计算控制单元6，它把流率信号Qc和流率指定信号Qs之间的差值作为控制信号Qy输入到控制阀1的驱动器2，流率信号Qc是利用流率Qc＝KP1(K＝常数)、根据由压力检测器3检测到的压力P1计算的；其中，通过借助打开和关闭控制阀1来调节注流孔上游侧的压力P1而控制注流孔5下游侧的流率。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
144 条记录 (耗时 0.064 秒)
