一种用于氮化物MOCVD外延生长模式的实时显微监测系统

    公开(公告)号:CN108254912B

    公开(公告)日:2020-03-27

    申请号:CN201810061974.9

    申请日:2018-01-23

    IPC分类号: G02B21/04 G02B21/36

    摘要: 本发明提供一种氮化物MOCVD外延生长过程中对外延薄膜的生长模式实时监测的微区显微成像系统。系统由观察窗口、成像镜组、CCD摄像机及图像采集卡、图像显示中心组成。其中观察窗口位于MOCVD反应腔中石墨载盘顶部,该观察窗口采用较厚的石英镜片,防止反应腔内温度传出损伤镜片。外延片的生长信息通过石英镜片构成的观察窗口,传递到折反射设计的成像镜组。成像镜组采用特殊的折反射设计方式控制了光线的纵向体积,减小了系统的像差,保证成像的清晰度并减小了成像系统的体积。该成像镜组的光学放大倍率为10×,将所测外延片的像被CCD摄像机接收时放大10倍,再通过图像采集卡传递到图像显示器中,最终在图像显示器中观察到优于1um的分辨率的图像。本发明设计的生长模式显微观察系统,分辨率大于1um,能够区分2D生长和3D生长模式,可观察外延片是否有螺型位错产生,实时观察MOCVD外延片在生长过程中的生长模式。

    一种用于涡轮叶片表面光线采集的装置

    公开(公告)号:CN107100680A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201710464605.X

    申请日:2017-06-19

    IPC分类号: F01D21/00

    摘要: 该发明公开了一种用于涡轮叶片表面光线采集的装置,属于属于机械结构领域,特别是含有制冷气体吹扫的机械装置。该装置包括:探头套管、镀膜反射镜、镜头摆扫控制轴、运动控制伺服电机;所述的探头套管前端开有探测口,所述的镀膜反射镜即工作于探头套管内部探测口对应位置处;所述探头套管包括内壁和外壁,内、外壁之间为气体冷却腔,气体冷却腔的进气口设置在探头套管的外层上,出气口设置在探头套管的通光孔处;额外的在探头套管上还设置有用于向探头套管通光腔体内通入冷气体的进气口,出气口为探头套管的通光孔;从而本发明具有工作稳定性高,工作时间长采集数据精度高的优点。

    一种用于航空发动机涡轮叶片温度监测的集成光路装置

    公开(公告)号:CN107271053B

    公开(公告)日:2019-07-19

    申请号:CN201710524151.0

    申请日:2017-06-30

    摘要: 本发明提供一种用于航空发动机涡轮叶片温度监测的集成光路装置,所述集成光路系统,用于测量涡轮叶片的表面温度,包含三波段测温光路、燃气光谱分析光路、数据采集处理系统和主控制器。被测叶片发出的红外辐射经过本光路系统后分成两部分:第一部分进入三波段测温光路后被光电探测器接收,并经过滤波电路、放大电路处理后由数据采集处理系统分析;第二部红外辐射进入燃气光谱分析光路,分析出燃气的吸收峰,并由切换控制器切换测温光路中滤光片轮的切换。本集发明可提供燃气光谱分析功能,并且根据分析燃气的吸收光谱,根据需要切换测温所用的波段,可避开燃气的吸收峰,减少测量误差,并可根据使用场合,切换滤光镜片,提供单波段、双波段、三波段测温的功能。

    一种用于涡轮叶片表面光线采集的装置

    公开(公告)号:CN107100680B

    公开(公告)日:2019-06-21

    申请号:CN201710464605.X

    申请日:2017-06-19

    IPC分类号: F01D21/00

    摘要: 该发明公开了一种用于涡轮叶片表面光线采集的装置,属于属于机械结构领域,特别是含有制冷气体吹扫的机械装置。该装置包括:探头套管、镀膜反射镜、镜头摆扫控制轴、运动控制伺服电机;所述的探头套管前端开有探测口,所述的镀膜反射镜即工作于探头套管内部探测口对应位置处;所述探头套管包括内壁和外壁,内、外壁之间为气体冷却腔,气体冷却腔的进气口设置在探头套管的外层上,出气口设置在探头套管的通光孔处;额外的在探头套管上还设置有用于向探头套管通光腔体内通入冷气体的进气口,出气口为探头套管的通光孔;从而本发明具有工作稳定性高,工作时间长采集数据精度高的优点。

    一种基于红外测温原理的钛起燃试验中温度测量系统

    公开(公告)号:CN106679820A

    公开(公告)日:2017-05-17

    申请号:CN201710003251.9

    申请日:2017-01-04

    摘要: 本发明提供了一种基于红外测温原理的钛起燃试验中温度测量系统,属于一种燃试验中温度测量系统。包括:钛点燃系统、红外测温系统、热电偶对照系统、数据处理系统;所述钛点燃系统包括:乙炔氧气焰点火器、固定钛片的支架、起保护和带有光学窗口的燃烧腔室;红外测温系统包括:光学系统、光纤、数据处理模块组成;热电偶标定系统是将热电偶固定在红外探测点的两侧,利用红外探测系统测得的信号和热电偶测得的温度进行比较。本发明所搭建的钛起火温度测量系统相比传统的测量系统,具有相应速度快、测量精度高、不破坏试件结构及对流场干扰小的特点,可方便完成涡轮叶片表面温度精确测量及实时监测。