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公开(公告)号：CN113176443A
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN202110498843.9
申请日：2021-05-08
摘要： 本发明公开一种基于柔性可穿戴摩擦纳米发电机的多参数集成传感系统，其包括并联连接的信号源电路、谐振信号生成电路和分压电路；信号源电路包括串联连接的电容、集成二极管的柔性开关和柔性摩擦纳米发电机，摩擦纳米发电机的正、负性摩擦材料及相应的电极材料都使用可编织柔性材料，且正和/或负性摩擦材料与对应的电极材料形成鞘芯结构，且所有材料编织成一块编织布，与第三方摩擦材料共同构成摩擦纳米发电机；柔性开关和二极管并联，再与电容及摩擦纳米发电机串联；谐振信号生成电路包括并联连接的电容式传感器以及电感；分压电路包括串联连接的固定负载以及电阻式传感器。本发明可实现自驱动抗干扰多参数集成传感，且适用范围大，稳定性好。
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公开(公告)号：CN113176443B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202110498843.9
申请日：2021-05-08
摘要： 本发明公开一种基于柔性可穿戴摩擦纳米发电机的多参数集成传感系统，其包括并联连接的信号源电路、谐振信号生成电路和分压电路；信号源电路包括串联连接的电容、集成二极管的柔性开关和柔性摩擦纳米发电机，摩擦纳米发电机的正、负性摩擦材料及相应的电极材料都使用可编织柔性材料，且正和/或负性摩擦材料与对应的电极材料形成鞘芯结构，且所有材料编织成一块编织布，与第三方摩擦材料共同构成摩擦纳米发电机；柔性开关和二极管并联，再与电容及摩擦纳米发电机串联；谐振信号生成电路包括并联连接的电容式传感器以及电感；分压电路包括串联连接的固定负载以及电阻式传感器。本发明可实现自驱动抗干扰多参数集成传感，且适用范围大，稳定性好。
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公开(公告)号：CN115498974A
公开(公告)日：2022-12-20
申请号：CN202211096224.8
申请日：2022-09-06
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
摘要： 本发明公开了采用应力控制获得空腔结构的薄膜体声波器件的制备方法，包括在衬底上形成自然氧化层，在自然氧化层上设定有效区域，在有效区域内分别形成压电种子层和牺牲层，压电种子层上形成第一电极，牺牲层的高度不低于压电种子层和第一电极的高度和，去除有效区域以外的自然氧化层以暴露衬底；在暴露的衬底，牺牲层和第一电极的表面上沉积具有内应力的压电薄膜，在压电薄膜上沉积第二电极，金属pad层与第一电极和第二电极相连，通过牺牲层释放孔去除有效区域内的牺牲层和自然氧化层形成空腔。该方法能够有效解决传统工艺中牺牲层移除困难的问题，制备方法简单、高效，本发明还公开了一种空腔薄膜体声波器件。
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公开(公告)号：CN114362704A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111442142.X
申请日：2021-11-30
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
摘要： 本发明公开了一种空腔薄膜体声波谐振器，包括第一衬底、键合层、不透明介质层、压电振荡堆和金属pad层；其中，第一衬底上形成键合层，键合层上形成不透明介质层，不透明介质层上形成压电振荡堆，不透明介质层与压电振荡堆之间具有空腔，金属pad层与压电振荡堆相连。该谐振器表面粗糙度较低，同时该薄膜各区域厚度能够被较为方便和准确的测量。本发明还公开了一种空腔薄膜体声波谐振器的制备方法，该制备方法节省制备工序，简单、高效。
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公开(公告)号：CN109163842A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201811063005.3
申请日：2018-09-12
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种温度自补偿、宽量程的柔性无线无源声表面波压强传感器，包括作为压电层的铌酸锂单晶压电薄膜；形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的至少一个声表面波传感单元，每个声表面波传感单元包括形成在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的单端谐振器、与所述单端谐振器电气连接的微带天线；覆盖在所述铌酸锂单晶压电薄膜上的密闭盖，所述密闭盖与所述铌酸锂单晶压电薄膜形成密闭腔体。该柔性无线无源声表面波压强传感器以铌酸锂单晶压电薄膜作为压电层，使得其具有宽量程，能够检测0～4MPa范围内的压强，还具有温度自补偿功能，有利于提高柔性无线无源声表面波压强传感器的精度。
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公开(公告)号：CN109163655A
公开(公告)日：2019-01-08
申请号：CN201811079322.4
申请日：2018-09-17
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种具有温度补偿的转轴应变检测方法及系统，涉及检测技术领域。检测方法其基于布置方向相正交的两个声表面波传感器，两个声表面波传感器的反射栅组内的反射栅与叉指电极间的间距均不相同；该应变检测方法包括：(1)发射问询射频信号；(2)接收响应射频信号，并基于反射栅组所表征的编码信息区分响应射频信号；(3)处基于响应射频信号，从查找表中获取与当前组合相位变化ΔΦc所对应的应变信息，表征转轴的当前应变状态；其中，ΔΦc＝ΔΦ1-L1/L2×ΔΦ2，ΔΦ1、ΔΦ2为对应反射栅组中任意两根反射栅所对应回波的相位变化之差，L1、L2为ΔΦ1、ΔΦ2所对应两根反射栅与同一声表面波传感器上叉指电极间的间距之差。该检测方法能有效地提高应变检测的精度，可广泛应用生产领域中。
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公开(公告)号：CN115001426B
公开(公告)日：2024-05-17
申请号：CN202210447543.2
申请日：2022-04-26
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
IPC分类号： H03H3/02
摘要： 本发明公开了一种基于多次键合工艺的薄膜体声波谐振器的制备方法，包括采用第一次晶圆键合方法制备第一压电薄膜结构，去除第一衬底，并在压电薄膜层表面沉积第二电极，在第二电极表面沉积牺牲层得到第二压电薄膜结构；对第二压电薄膜结构采用第二次晶圆键合方法得到第三压电薄膜结构；减薄第二衬底，在减薄的第二衬底上开窗口至保护层表面得到第一窗口，通过第二窗口在第一电极上沉积金属pad层，通过第三窗口在第二电极上沉积金属pad层，将腐蚀液加入第四窗口腐蚀牺牲层形成空腔，得到最终薄膜体声波谐振器。该方法能够避免制备过程中压电薄膜的崩裂，提升产品良率以及性能。
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公开(公告)号：CN112073025B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202011009064.X
申请日：2020-09-23
申请人： 浙江大学
摘要： 本发明公开了一种基于多孔硅的自支撑空气隙型体声波谐振器及其制备方法，包括上电极、压电层、下电极、自支撑硅材料层、空腔、硅衬底，所述自支撑硅材料层和空腔是利用多孔硅高温迁移形成的。通过高温退火使多孔硅发生高温迁移形成硅薄膜和空腔结构，无需长时间腐蚀牺牲层材料，可以有效地解决传统空气隙型结构存在的牺牲层困难、移除消耗时间长，结构层易破坏，器件成品率低等诸多问题。
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公开(公告)号：CN112051566B
公开(公告)日：2023-01-10
申请号：CN202010884864.X
申请日：2020-08-28
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01S13/50 , G01P15/097 , G01L1/25 , G01K11/26 , G01B17/04
摘要： 本发明公开了一种基于SAW无线无源传感系统的运动部件参数测量方法，所述SAW无线无源传感系统包括传感端的无线无源的SAW传感器及其第一收发天线，读取端的读卡器及第二收发天线，所述无线无源的SAW传感器固定安装在运动部件上，随运动部件一起运动；所述读卡器向传感端发射在预设频率范围内以固定步进行扫频的扫频信号；所述SAW传感器接扫频信号后，生成携带SAW特征的回波信号，并向读取端发射该回波信号；所述读卡器接收回波信号后，比较各扫频频率下的回波信号强度的波形，根据波形形状确定SAW传感器的待测参数值，以实现运动部件待测参数的测量。能够实现高速运动部件状态参数的检测，同时检测速度快，测量精度高。
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公开(公告)号：CN113556054B
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202110916660.4
申请日：2021-08-11
申请人： 浙江大学杭州国际科创中心
摘要： 本发明公开一种基于液态金属和固‑液摩擦界面的自驱动、免通道、可扩展传感器，其从下到上依次包括基体层、液体金属诱导层、液态金属层、可插拔基体支架；液体金属诱导层位于基体层上，用于润湿液态金属且用作液态金属的支撑层，并使液态金属沿着液体金属诱导层流动；液体金属诱导层由与液态金属接触角范围为0度到90度的材料制成；液态金属层位于液体金属诱导层上表面。可插拔基体支架布置在基体层上方，其底部插入基体层；可插拔基体支架面向液态金属层的表面上从上到下依次布置有导电金属层、负性摩擦材料层；负性摩擦材料与液态金属的接触角为90到180度，其应具有较强电负性，以使得传感器具有较高输出。本发明制备过程简单，应用灵活。
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