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公开(公告)号：CN118325004A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410031589.5
申请日：2024-01-09
申请人： DIC株式会社
摘要： 本发明提供含酚性羟基树脂、感光性树脂组合物、固化性组合物和抗蚀膜。提供对弱碱显影液具有优异的溶解性、并且具有与光敏剂的高亲和性、不使用甲醛的感光性树脂组合物。一种含酚性羟基树脂，其包含：由酚化合物衍生的结构单元(a)、由具有羧基的脂肪族醛化合物衍生的结构单元(b)、和由芳香族醛化合物衍生的结构单元(c)。
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公开(公告)号：CN113227181A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980086276.7
申请日：2019-11-26
申请人： DIC株式会社
摘要： 本发明的目的在于，提供具有高耐热性且可用于使用电子射线和极紫外线的光刻的抗蚀剂组合物。具体而言，使用包含酚醛清漆型酚醛树脂(C)的金属盐的抗蚀剂组合物，所述酚醛清漆型酚醛树脂(C)以下述式(1)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)作为必需的反应原料。(下述式(1)中，R1和R2各自独立地表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m和n各自独立地表示0～4的整数。存在多个R1时，多个R1任选彼此相同或不同。存在多个R2时，多个R2任选彼此相同或不同。R3表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。)
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公开(公告)号：CN118672058A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410022512.1
申请日：2024-01-08
申请人： DIC株式会社
摘要： 本发明提供感光性树脂组合物、抗蚀剂膜、抗蚀剂下层膜及抗蚀剂永久膜。本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其具有以往的正型感光性树脂组合物所没有的碱溶解性、感光剂亲和性、以及在制成抗蚀剂膜时的低温固化性及低体积收缩性。一种正型感光性树脂组合物，其含有下述成分(A)～(D)，(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)及由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比((a1)：(a2)：(a3))为1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)感光剂/(C)热交联剂/(D)有机溶剂。
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公开(公告)号：CN117075428A
公开(公告)日：2023-11-17
申请号：CN202310547262.9
申请日：2023-05-16
申请人： DIC株式会社
IPC分类号： G03F7/038
摘要： 本发明提供一种负型感光性树脂组合物。提供具有碱溶解性、能够抑制制膜不良的发生、能够低温固化且能够得到耐化学药品性优异的固化膜的固化性组合物。一种负型感光性树脂组合物，其含有下述成分(A)～(D)。(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)和由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比[(a1):(a2):(a3)]为1.0:0.4～0.8:0.3～0.6的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)选自含有烯属不饱和基团的聚酰亚胺、含有烯属不饱和基团的聚酰亚胺前体、含有烯属不饱和基团的聚苯并噁唑和含有烯属不饱和基团的聚苯并噁唑前体中的1种以上树脂/(C)感光剂/(D)溶剂。
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公开(公告)号：CN116438185A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202180072868.0
申请日：2021-10-07
申请人： DIC株式会社
IPC分类号： C07F7/00
摘要： 提供既呈现高灵敏度又能够形成微细图案的能够在辐射线光刻中加以利用的抗蚀材料。具体为一种金属络合物，其特征在于，以下述通式(1)所示的阴离子化合物(A)作为配体(R1和R2表示碳原子数1～9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m、n和p表示0～4的整数。R3表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。R4表示羟基、碳原子数1～9的脂肪族烃基、烷氧基或卤素原子。)。
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公开(公告)号：CN117487097A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202310957669.9
申请日：2023-08-01
申请人： DIC株式会社
IPC分类号： C08F292/00 , C09C1/56 , G03F7/004 , G03F7/027 , C08F212/08 , C08F220/14
摘要： 本发明提供表面修饰炭黑、炭黑分散体和黑色抗蚀剂组合物。提供具有优异的分散性和分散稳定性的炭黑。一种表面修饰炭黑，其在炭黑的一部分或全部表面存在含有双键的聚合反应性单体的聚合物，含有双键的聚合反应性单体的聚合物含有杯芳烃化合物。
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公开(公告)号：CN113227181B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN201980086276.7
申请日：2019-11-26
申请人： DIC株式会社
摘要： 本发明的目的在于，提供具有高耐热性且可用于使用电子射线和极紫外线的光刻的抗蚀剂组合物。具体而言，使用包含酚醛清漆型酚醛树脂(C)的金属盐的抗蚀剂组合物，所述酚醛清漆型酚醛树脂(C)以下述式(1)所示的芳香族化合物(A)和脂肪族醛(B)作为必需的反应原料。(下述式(1)中，R1和R2各自独立地表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、烷氧基、芳基、芳烷基或卤素原子。m和n各自独立地表示0～4的整数。存在多个R1时，多个R1任选彼此相同或不同。存在多个R2时，多个R2任选彼此相同或不同。R3表示氢原子、碳原子数1～9的脂肪族烃基、或者在烃基上具有1个以上选自烷氧基、卤素基团和羟基中的取代基的结构部位。)
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公开(公告)号：CN115480447A
公开(公告)日：2022-12-16
申请号：CN202210672203.X
申请日：2022-06-14
申请人： DIC株式会社
摘要： 本发明提供负型感光性树脂组合物，提供具有碱溶解性、可低温固化、可得到耐化学药品性优异的固化膜的固化性组合物。一种负型感光性树脂组合物，其含有下述的成分(A)～(E)。(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)、及由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比[(a1)：(a2)：(a3)]为1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)选自聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰亚胺前体及聚苯并噁唑前体中的1种以上的树脂/(C)光产酸剂/(D)交联剂/(E)溶剂。
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公开(公告)号：CN117687269A
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202311167780.4
申请日：2023-09-12
申请人： DIC株式会社
摘要： 一种负型感光性树脂组合物和干膜抗蚀剂。本发明的课题是提供一种负型感光性树脂组合物和曝光前的抗蚀层具有碱溶解性，制膜性和密合性优异，且曝光后的抗蚀剂固化物的耐化学药品性优异的干膜抗蚀剂。本发明的解决手段在于提供一种负型感光性树脂组合物，其含有下述成分(A)～(C)。(A)由间甲酚衍生的结构单元(a1)、由苯甲醛衍生的结构单元(a2)和由水杨醛衍生的结构单元(a3)的摩尔比[(a1)：(a2)：(a3)]为1.0：0.3～0.8：0.3～0.8的酚醛清漆型酚醛树脂/(B)自由基聚合性化合物/(C)光聚合引发剂。
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