公开(公告)号：CN101461026B

公开(公告)日：2012-01-18

申请号：CN200780020701.X

申请日：2007-04-26

申请人： FEI公司

发明人： J·A·H·W·G·珀素恩 ,  A·T·恩格伦 ,  S·利克特尼格 ,  P·H·J·范多伦

IPC分类号： H01J37/28 ,  F16J15/50

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006

摘要： 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。

公开(公告)号：CN101461026A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780020701.X

申请日：2007-04-26

申请人： FEI公司

发明人： J·A·H·W·G·珀素恩 ,  A·T·恩格伦 ,  S·利克特尼格 ,  P·H·J·范多伦

IPC分类号： H01J37/28 ,  F16J15/50

CPC分类号： H01J37/26 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18 ,  H01J37/185 ,  H01J37/20 ,  H01J37/21 ,  H01J37/226 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J37/302 ,  H01J2237/1405 ,  H01J2237/162 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/188 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2006

摘要： 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。