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公开(公告)号：CN103038855B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201180037664.X
申请日：2011-10-25
Applicant: 株式会社PARAM
Inventor： 安田洋
IPC: H01J37/143 , H01J37/141 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC classification number: H01J3/24 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J3/20 , H01J37/143 , H01J37/3007 , H01J37/3174 , H01J37/3177 , H01J2237/002 , H01J2237/1405
Abstract: 本发明提供了一种用于使用永久磁铁有效地绘制微细图案的装置。所述装置具有：外筒（201），其由以Z轴作为中心轴的圆筒形铁磁体构成；圆筒形永久磁铁（202），其位于所述外筒的内部并且沿Z轴方向磁化；校正线圈（204），其位于所述圆筒形永久磁铁的内部，并且与所述筒形永久磁铁有间隙，并且用于调整由所述筒形永久磁铁沿Z轴方向产生的磁场强度；以及冷却剂通路（203），其位于所述筒形永久磁铁与所述校正线圈之间的间隙中，用于允许冷却剂流过其中并且控制在所述筒形永久磁铁中的温度变化。
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公开(公告)号：CN101461026B
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200780020701.X
申请日：2007-04-26
Applicant: FEI公司
Inventor： J·A·H·W·G·珀素恩 , A·T·恩格伦 , S·利克特尼格 , P·H·J·范多伦
CPC classification number: H01J37/26 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J37/185 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/226 , H01J37/244 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J37/302 , H01J2237/1405 , H01J2237/162 , H01J2237/1825 , H01J2237/188 , H01J2237/2003 , H01J2237/2006
Abstract: 本发明涉及与包含真空室(11)的装置一起使用的滑动轴承，该滑动轴承包括：一侧与真空室接触的基板，该基板设有与所述真空室(11)连通的第一通孔(21)；第二板(30)，该第二板的一侧与基板20接触，该第二板设有第二通孔(31)；基板与第二板彼此面对的表面非常光滑以形成一个没有弹性的真空密封；基板(20)与第二板(30)能够在第一通孔与第二通孔没有重叠的第一相对位置及第一通孔与第二通孔重叠的第二相对位置之间滑动。其特征是：第二板(30)是柔性板，柔性板上在基板对面的表面用来密封杯体(50)，该杯体用于容纳标本(1)，基板上的第一通孔(21)具有一个面向柔性板(30)的带有可控制弯曲度的边缘，这个边缘弯曲度的形成使基板与柔性板之间的真空密封形成一个明确轮廓，及赫兹接触压力小于一个预定义的最大接触压力，选择所述预定义的最大接触压力可将粒子产生减至最低程度。
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公开(公告)号：CN103748654B
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201280040633.4
申请日：2012-06-25
Applicant: 科磊股份有限公司
Inventor： 克里斯多夫·西尔斯 , 迈赫兰·纳赛尔-古德西 , 哈什亚·沙德曼
IPC: H01J37/143
CPC classification number: H01J37/143 , H01F7/0278 , H01J37/28 , H01J2237/1405 , H01J2237/1534
Abstract: 本发明涉及一种用于带电粒子聚焦的永久磁性透镜阵列，其包含第一软磁性材料薄片，其中所述第一软磁性材料薄片包含布置成阵列图案的多个通气管锥体突出部，其中每一通气管锥体轴向对称且包含从所述第一软磁性材料薄片的第一表面通到软磁性材料的第二表面的开口及多个永久磁性元件，其中每一永久磁性元件轴向对称且与所述第一软磁性材料薄片的通气管锥体同心地布置，其中所述第一软磁性材料薄片的所述通气管锥体及所述多个永久磁性元件经配置以形成多个磁性透镜，其中每一磁性透镜具有磁场，所述磁场具有垂直于所述软磁性材料的所述第一表面定向的轴向分量。
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公开(公告)号：CN104094373B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201380008021.1
申请日：2013-02-15
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: H01J37/28 , H01J37/09 , H01J37/16 , H01J37/18 , H01J2237/0451 , H01J2237/06341 , H01J2237/10 , H01J2237/1405 , H01J2237/164 , H01J2237/2608 , H01J2237/2801
Abstract: 本发明提供能简单地装拆隔膜(101)且能将试样(6)配置于真空下和高压下的带电粒子线装置(111)。该带电粒子线装置(111)具有：对带电粒子源(110)和电子光学系统(1、2、7)进行保持的镜筒(3)；与镜筒(3)连结的第一框体(4)；向第一框体(4)的内侧凹陷的第二框体(100)；将镜筒(3)内的空间和第一框体(4)内的空间隔离且供带电粒子线透过的第一隔膜(10)；将第二框体(100)的凹部(100a)内的空间和第二框体(100)的凹部(100a)外的空间隔离且供带电粒子线透过的第二隔膜(101)；与收纳带电粒子源(110)的第三框体(22)连结的管(23)，第一隔膜(10)安装于管(23)，管(23)和第三框体(22)能沿光轴(30)的方向相对于镜筒(3)装拆。由第一框体(4)和第二框体(100)包围的空间(105)被减压，对配置于凹部(100a)中的试样(6)照射带电粒子线。
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公开(公告)号：CN102110570B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201010558538.6
申请日：2010-11-19
Applicant: 特温克里克技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/302
CPC classification number: G21K1/093 , H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/3171 , H01J2237/1405 , H01J2237/1534 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明涉及用于改变带状离子束的方法及设备。利用一对相对的铁磁条上的多个线圈结构来改变带状离子束。该线圈结构包括连续绕组，其具有每单位长度匝数沿条的长度的预定变化模式。在示例中，一个线圈结构可沿条具有均匀的每单位长度匝数，由此对线圈结构供电可形成跨着条之间的缝隙延伸的、具有四极强度分布的磁场分量。第二线圈结构可具有变化来产生六极磁场强度分布的每单位长度匝数。还可提供额外的线圈结构以产生八极及十极磁场分布。可对线圈供电以产生与条平行的磁场，该磁场沿条的长度发生变化，从而使带状束扭转或变平。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101512717B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200780033271.5
申请日：2007-10-09
Applicant: 电子线技术院株式会社
Inventor： 金浩燮
IPC: H01J37/14
CPC classification number: H01J37/145 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/12 , H01J37/143 , H01J37/3174 , H01J2237/1205 , H01J2237/1405 , H01J2237/26 , H01J2237/3175
Abstract: 在此公开了使用磁透镜层的电子柱。该电子柱包括使用永磁体聚集电子束的磁透镜层。所述磁透镜层包括支撑板、穿过支撑板形成的孔、以及沿孔排列并布置在支撑板上或插入支撑板中的永磁体。
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公开(公告)号：CN102110570A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010558538.6
申请日：2010-11-19
Applicant: 特温克里克技术公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/302
CPC classification number: G21K1/093 , H01J37/12 , H01J37/153 , H01J37/3171 , H01J2237/1405 , H01J2237/1534 , H01J2237/30477
Abstract: 本发明涉及用于改变带状离子束的方法及设备。利用一对相对的铁磁条上的多个线圈结构来改变带状离子束。该线圈结构包括连续绕组，其具有每单位长度匝数沿条的长度的预定变化模式。在示例中，一个线圈结构可沿条具有均匀的每单位长度匝数，由此对线圈结构供电可形成跨着条之间的缝隙延伸的、具有四极强度分布的磁场分量。第二线圈结构可具有变化来产生六极磁场强度分布的每单位长度匝数。还可提供额外的线圈结构以产生八极及十极磁场分布。可对线圈供电以产生与条平行的磁场，该磁场沿条的长度发生变化，从而使带状束扭转或变平。
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公开(公告)号：CN102103966A
公开(公告)日：2011-06-22
申请号：CN201010528286.2
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/145
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 本发明涉及一种粒子光学组件。一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN101379584A
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200680044609.2
申请日：2006-11-28
Applicant: 卡尔蔡司SMT股份有限公司 , 以色列实用材料有限公司
IPC: H01J37/141 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/20 , H01J37/21 , H01J37/24 , H01J37/28 , H01J2237/002 , H01J2237/04922 , H01J2237/04926 , H01J2237/12 , H01J2237/1215 , H01J2237/14 , H01J2237/1405 , H01J2237/141 , H01J2237/1415 , H01J2237/2817
Abstract: 一种物镜排布结构(100)包括：第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)，每一个极靴都大致旋转对称。第一极靴(123)、第二极靴(125)以及第三极靴(163)设置在物面(101)的同一侧。第一极靴的一端部(124)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第一间隙，并且第三极靴的一端部(164)与第二极靴(125)的一端部(126)分开以形成第二间隙。第一励磁线圈(129)在第一间隙中生成聚焦磁场，而第二励磁线圈(167)在第二间隙中生成补偿磁场。第一电源(141)和第二电源(169)分别向第一励磁线圈(129)和第二励磁线圈(167)提供电流。在第二极靴(125)中生成的磁通量(142)与在第二极靴(125)中生成的磁通量(166)按同一方向取向。
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公开(公告)号：CN107818904A
公开(公告)日：2018-03-20
申请号：CN201710789226.8
申请日：2017-09-05
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 麻畑达也
CPC classification number: H01J37/026 , H01J37/141 , H01J37/292 , H01J37/3056 , H01J2237/1405 , H05H3/00 , H01J37/28 , G01N1/28 , H01J37/261
Abstract: 提供复合射束装置，其在利用集束离子束对试样进行截面加工之后利用其他射束对截面进行精加工时，能够抑制来自电子束镜筒的电场或磁场的泄漏所造成的影响或充电所造成的影响的。复合射束装置(100)具有：电子束镜筒(10)，其用于对试样(200)照射电子束(10A)；集束离子束镜筒(20)，其用于对试样照射集束离子束(20A)而形成截面；以及中性粒子束镜筒(30)，其加速电压设定得比集束离子束镜筒低，用于对试样照射中性粒子束(30A)而对截面进行精加工，电子束镜筒、集束离子束镜筒以及中性粒子束镜筒配置为各自的各照射束在照射点P上交叉。
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