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公开(公告)号：CN118712115A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202410172197.0
申请日：2024-02-07
Applicant: TOTO株式会社
IPC: H01L21/683 , H01J37/32
Abstract: 静电吸盘具备：电介体基板，形成有穿通孔；RF电极，被埋入到电介体基板内部；及吸附电极，在比RF电极更靠载放面侧的位置上，被埋入到电介体基板内部。在从垂直于载放面的方向进行观察时，在吸附电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第1开口，且在RF电极上形成有与上述穿通孔同心且包含上述穿通孔的圆形的第2开口。第2开口的半径比第1开口的半径更大。
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