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公开(公告)号：CN108069718B
公开(公告)日：2021-07-13
申请号：CN201710889750.2
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供包含钇氧氟化物且可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有菱面体晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝13.8°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r1，在衍射角2θ＝36.1°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r2，比值γ1为γ1(％)＝r2/r1×100时，所述比值γ1为0％以上、小于100％。
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公开(公告)号：CN100480217C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200610100188.2
申请日：2000-10-12
Applicant: TOTO株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
IPC: C04B41/81 , C04B41/87 , C04B41/88 , C03C17/00 , C03C17/22 , C03C17/06 , C23C24/00 , C23C24/04 , C08J7/04
Abstract: 将有预先内部应变的陶瓷或半金属等脆性材料的微粒向基材上变速喷射、碰撞，使脆性材料微粒变形或破碎。通过这种变形或破碎，新形成了极富活性的新生面，并经由这种新生面使结晶互相再结合，从而得到致密、剥离强度优异的复合构造物。
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公开(公告)号：CN101218188A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200680024762.9
申请日：2006-07-13
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/50
CPC classification number: C04B35/505 , C04B2235/3409 , C04B2235/3821 , C04B2235/386 , C04B2235/656 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/9669 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供一种高密度且耐等离子体性优异的氧化钇(Y2O3)烧结体。氧化钇(Y2O3)烧结体构成如下：作为该烧结体的构成晶体，含有氧化钇(Y2O3)晶体和Y3BO6晶体。为了获得该氧化钇(Y2O3)烧结体，在氧化钇(Y2O3)粉末中，以换算成氧化硼(B2O3)为0.02wt以上且不足10wt％的比例添加硼化合物，对该混合粉末进行成型后，在1300℃以上且不足1600℃下使其烧结。
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公开(公告)号：CN101218188B
公开(公告)日：2011-11-02
申请号：CN200680024762.9
申请日：2006-07-13
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/50
CPC classification number: C04B35/505 , C04B2235/3409 , C04B2235/3821 , C04B2235/386 , C04B2235/656 , C04B2235/77 , C04B2235/80 , C04B2235/9669 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供一种高密度且耐等离子体性优异的氧化钇(Y2O3)烧结体。氧化钇(Y2O3)烧结体构成如下：作为该烧结体的构成晶体，含有氧化钇(Y2O3)晶体和Y3BO6晶体。为了获得该氧化钇(Y2O3)烧结体，在氧化钇(Y2O3)粉末中，以换算成氧化硼(B2O3)为0.02wt以上且不足10wt％的比例添加硼化合物，对该混合粉末进行成型后，在1300℃以上且不足1600℃下使其烧结。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108069717A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201710888647.6
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有斜方晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝32.0°附近检测到的峰值强度为γ，在衍射角2θ＝32.8°附近检测到的峰值强度为δ时，峰值强度比γ/δ为0％以上、150％以下。
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公开(公告)号：CN108069718A
公开(公告)日：2018-05-25
申请号：CN201710889750.2
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供包含钇氧氟化物且可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有菱面体晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝13.8°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r1，在衍射角2θ＝36.1°附近检测到的菱面体晶的峰值强度为r2，比值γ1为γ1(％)＝r2/r1×100时，所述比值γ1为0％以上、小于100％。
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公开(公告)号：CN100465340C
公开(公告)日：2009-03-04
申请号：CN200510097643.3
申请日：2000-10-12
Applicant: TOTO株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
Abstract: 将有预先内部应变的陶瓷或半金属等脆性材料的微粒向基材上变速喷射、碰撞，使脆性材料微粒变形或破碎。通过这种变形或破碎，新形成了极富活性的新生面，并经由这种新生面使结晶互相再结合，从而得到 密、剥离强度优异的复合构造物。
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公开(公告)号：CN108069717B
公开(公告)日：2021-09-28
申请号：CN201710888647.6
申请日：2017-09-27
Applicant: TOTO株式会社
IPC: C04B35/553 , C04B35/622 , C04B35/624
Abstract: 本发明所要解决的技术课题在于提供可提高耐等离子体性的结构物。具体而言，在于提供如下结构物：以具有斜方晶的结晶结构的钇氧氟化物的多晶体为主成分，且所述多晶体中的平均结晶尺寸小于100nm，其特征在于，通过X射线衍射在衍射角2θ＝32.0°附近检测到的峰值强度为γ，在衍射角2θ＝32.8°附近检测到的峰值强度为δ时，峰值强度比γ/δ为0％以上、150％以下。
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公开(公告)号：CN100519841C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200510097645.2
申请日：2000-10-12
Applicant: TOTO株式会社 , 独立行政法人产业技术综合研究所
Abstract: 将有预先内部应变的陶瓷或半金属等脆性材料的微粒向基材上变速喷射、碰撞，使脆性材料微粒变形或破碎。通过这种变形或破碎，新形成了极富活性的新生面，并经由这种新生面使结晶互相再结合，从而得到致密、剥离强度优异的复合构造物。
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