一种半导体扩散炉夹心翅片的批量加工方法以及加工装置

    公开(公告)号:CN117341330A

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202311648324.1

    申请日:2023-12-05

    摘要: 本发明涉及集成电路制造技术领域,提供了一种半导体扩散炉夹心翅片的批量加工方法以及加工装置,加工方法包括:将两块透明石英片和夹在中间的一块不透明石英片同心叠放在一起形成一夹心翅片;将至少两个夹心翅片堆叠在底座上形成夹心翅片柱,其中,相邻两个夹心翅片之间设有一石墨片;在夹心翅片柱上覆盖保护罩,保护罩和底座形成工艺腔;利用高温退火炉对工艺腔中的所述夹心翅片柱进行高温融合,本发明将夹心翅片在底座上自然堆叠,批量加工的同时利用自身重力进行压合提高了良品率,堆叠结束再盖上保护罩进行密封高温融合,避免了人工加热带来的高成本和高风险,该加热方法可以提高整体的加工效率,适于实用。

    石英三爪的垂直度校正装置和方法

    公开(公告)号:CN117326787A

    公开(公告)日:2024-01-02

    申请号:CN202311616092.1

    申请日:2023-11-30

    IPC分类号: C03B23/00

    摘要: 本发明涉及石英制品加工领域,提供一种石英三爪的垂直度校正装置和方法,该装置包括:直角尺、升降模块、检测模块和加热模块;所述直角尺用于从N个不同的方向夹紧石英三爪的支撑杆,以使支撑杆的轴心沿垂直方向,N为大于2的整数;所述检测模块用于检测石英三爪的3个支撑爪的垂直度;所述加热模块用于加热所述石英三爪,以使所述石英三爪局部软化;所述升降模块与所述支撑爪接触,向所述支撑爪施加支撑力,以调整局部软化后的所述支撑爪的垂直度。该装置用于校正石英三爪的垂直度。

    石英圆板/法兰加工装置及方法
    93.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110127994A

    公开(公告)日:2019-08-16

    申请号:CN201910494277.7

    申请日:2019-06-09

    IPC分类号: C03B20/00 C03B29/04

    摘要: 一种石英圆板/法兰加工装置,包括工作转台,能够被控制进行旋转,工作转台的台面上放置石墨模具和石英圆板/法兰;红外线温度控制器,以控制火焰温度;流量表控制氢氧气的流量,以保证火焰的稳定性;自动点火装置;机器人手臂,在该机器人手臂端部设有火焰枪卡爪,所述火焰枪卡爪用于抓设火焰枪,火焰枪用于对工作转台上的石英圆板/法兰火焰抛光处理。

    一种基于机器学习的刀具生命周期智能管理方法及系统

    公开(公告)号:CN118917831A

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202410963496.6

    申请日:2024-07-17

    摘要: 本发明涉及刀具智能管理技术领域,是一种基于机器学习的刀具生命周期智能管理方法及系统,具体方法包括:建立石英加工刀具数据库;在每日工厂结束作业之后回收并记录石英加工刀具的刀具使用和流转信息;建立机器学习模型,评估计算刀具的当日磨损量和当日刀具使用影响系数;对不同异常等级的石英加工刀具的剩余使用寿命进行评估;将同一加工类别的石英加工刀具的剩余使用寿命数据有序排列构成刀具寿命序列,并将刀具寿命序列实时更新至石英加工刀具数据库;动态制定工厂刀具购买与维修计划;本发明解决了现有技术中石英加工刀具缺乏统一的数据管理平台、生产现场刀具管理混乱及各个刀具寿命计算不准确的问题。

    一种全自动石英舟的生产线及其控制系统

    公开(公告)号:CN118394004B

    公开(公告)日:2024-10-29

    申请号:CN202410481893.X

    申请日:2024-04-22

    IPC分类号: G05B19/418

    摘要: 本发明属于石英舟生产技术领域,公开了一种全自动石英舟的生产线及其控制系统,包括第一数据采集模块、第一数据分析模块、第二数据采集模块、模型训练模块、第三数据采集模块和第二数据分析模块,其中,各个模块间通过有线和/或无线连接,实现模块间的数据传输;本发明在对石英舟半成品进行酸洗时,可以根据半成品的自身污染的严重情况,选择合适的酸洗方式,并且可以根据石英舟半成品原材料特性的变化,对酸洗浓度的合理控制,并且对酸洗时间严格把控,进而控制生产成本、提高产能和质量。

    基于石英器件加工图纸库的器件加工质量控制方法和系统

    公开(公告)号:CN118735324A

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410733755.6

    申请日:2024-06-06

    摘要: 本发明涉及石英器件加工技术领域,是基于石英器件加工图纸库的器件加工质量控制方法和系统,具体方法包括:建立石英器件的待加工图纸库;根据加工指导数据建立石英器件的三维数字模型,将石英器件的待加工图纸库与石英加工厂的石英器件历史加工图纸库进行查找匹配;动态调整规划待加工石英器件加工工艺路线;并采集手工工艺加工过程中的加工工艺参数;将手工工艺加工过程中的加工工艺参数导入加工质量核对策略中,并根据质量核对数据执行质量矫正策略,本发明解决了现有技术中,石英器件的加工过程中,加工图纸的传输在各个加工工序之间存在信息滞后的现象,导致加工过程中误差错误多,加工效率低的问题。

    自动化石英锭套钻设备及其使用方法

    公开(公告)号:CN118238285B

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202410678473.0

    申请日:2024-05-29

    IPC分类号: B28D1/14 B28D7/00 B28D7/04

    摘要: 本发明公开了自动化石英锭套钻设备及其使用方法,涉及石英材料加工技术领域,包括设备底座,其顶面设有可旋转的夹持机构,夹持机构用于夹持石英锭本体,在夹持机构的顶部设置有套钻机构,在设备底座上装载有控制模块,控制模块预先收集历史训练数据集合,基于历史训练数据集合,训练出预测夹持机构的速度值的机器学习模型;控制模块实时采集石英锭本体的温度数据、套钻机构的阻力数据、压力数据以及转速数据,基于温度数据、阻力数据、压力数据和转速数据使用机器学习模型预测出夹持机构的速度值;通过机器学习模型准确预测出夹持机构的速度值,使石英锭本体受到的剪切力更加均匀,大幅提高了自动化石英锭套钻设备的加工质量。

    一种槽棒直线度检测装置
    99.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118243022A

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN202410670264.1

    申请日:2024-05-28

    IPC分类号: G01B11/27

    摘要: 本发明涉及直线度检测技术领域,特别是一种槽棒直线度检测装置,包括:测量机构,包括槽棒本体、红外发射器和探头;固定机构,包括固定爪、支板、套轨和滑杆,所述滑杆滑动贯穿至所述套轨内部,所述支板共设有两个且对称设置;展开机构,包括收纳套和收纳板、卡块和卡槽,所述收纳板滑动设于所述收纳套内部;调节机构,包括滑动壳、齿条和齿轮;实现固定的同时实现直线度测量,应对不同直径和长短的石英棒,同时在调整长度的同时实现红外发射器的下落和固定爪的夹持,避免调试等步骤,提高效率,同时检测完成后自动返回防尘罩,提高保护效果,还可通过转动对槽棒未开槽区域进行测量,判断火加工完成后是否变形。

    一种石英焊枪
    100.
    发明公开
    一种石英焊枪 审中-实审

    公开(公告)号:CN118180548A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410598314.X

    申请日:2024-05-15

    IPC分类号: B23K5/22 B23K101/40

    摘要: 本发明提供了一种石英焊枪,包括第一枪头组件和第一调节机构,其中,第一枪头组件的数目为多个,多个第一枪头组件呈环形设置以围设成一环形的加热区域,加热区域用于放置石英管并烧制石英管,第一调节机构环设于多个第一枪头组件的外侧,第一枪头组件连接于第一调节机构,第一调节机构用于调节任意相邻两个第一枪头组件之间的间距,以及第一枪头组件能够沿第一调节机构的径向相对第一调节机构滑动,以调节加热区域的直径,从而使该石英焊枪能够对不同直径的石英管进行烧制、焊接等作业。