一种离子引发电子轰击电离源

    公开(公告)号:CN109461642A

    公开(公告)日:2019-03-12

    申请号:CN201811491709.0

    申请日:2018-12-07

    IPC分类号: H01J49/14 H01J49/08

    摘要: 一种离子引发电子轰击电离源,其特征在于:包括金属腔体、设在腔体内的真空紫外光源以及位于腔体内沿光线出射方向依次为光电离区、电子产生区、电子轰击电离区;真空紫外光源用于产生真空紫外光子,于光电离区内对引入的标准气体分子进行光电离以产生初级离子;初级离子经电场加速后,进入电子产生区,轰击电子放大微通道板的表面,产生大量电子;电子经电场加速后,进入电子轰击电离区,对引入的气体分子进行电子轰击电离,产生离子;离子经离子传输区进入质谱的质量分析器。本发明的有益效果是利用了电子放大微通道板的电子放大效应,可大大提高电子轰击电离源的电子数,从而提高电离源的电离效率。