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公开(公告)号：CN112994647A
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN202110160241.2
申请日：2021-02-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明属于谐振器技术领域，公开了一种环电极结构的超高频谐振器。该谐振器结构包括压电层和环电极，每个环电极以环状围绕在压电层四周，多个环电极沿着压电材料长度方向分布，且施加正负交替的电压激励。该结构能够在压电层中激发横向电场，从而激发横向剪切模式体声波，实现超高谐振频率下的高有效机电耦合系数，满足射频通信领域高频率大带宽的要求。
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公开(公告)号：CN112968685A
公开(公告)日：2021-06-15
申请号：CN202110160231.9
申请日：2021-02-05
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种带有沟槽结构的体声波谐振器，具体指一种带有阵列式沟槽结构，高谐振频率的体声波谐振器结构。该谐振器结构包括底电极、压电层、压电层中的沟槽结构和顶电极。该结构能够减小谐振器中压电层的等效厚度，有效地提高谐振器的谐振频率，能满足5G/6G通讯的实际需求。
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公开(公告)号：CN112350681A
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN202011134557.6
申请日：2020-10-21
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种频率可调的薄膜体声波谐振器，自下而上包括衬底、声反射结构、种子层、下电极层、压电薄膜层、上电极层，其中上电极层为条形环绕结构。上电极层的条形环绕结构其宽度、长度、环绕间距、环绕次数均可调整。该薄膜体声波谐振器通过将上电极层设置成条形环绕结构，改变条形环绕结构的长度、宽度、环绕间距、环绕次数，从而改变谐振器的工作频率，并且能够在不改变各层材料厚度的条件下调节薄膜体声波谐振器的谐振频率，实现在一片晶圆上制造不同工作频率的谐振器。
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公开(公告)号：CN112260659A
公开(公告)日：2021-01-22
申请号：CN202011152721.6
申请日：2020-10-26
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及体声波谐振器技术，具体涉及一种高Q值薄膜体声波谐振器及其制备方法，该薄膜体声波谐振器包括衬底，还包括位于衬底上部的多个支撑柱，位于多个支撑柱上部的压电叠层区域，该压电叠层区域通过多个支撑柱支撑于空气中，压电叠层区域包括上电极、压电层和底电极。该谐振器通过支撑柱使谐振器的工作区域处于开放的空气域中，减少了谐振区域与衬底的接触面积，使谐振器的边界变形更加自由，通过支撑柱可以使顶电极和底电极边界处于开放的空气域中更好地反射声波，有效减少声波的泄露，提高谐振器的Q值。
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公开(公告)号：CN112134540A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010977498.2
申请日：2020-09-17
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及一种复合电极的体声波谐振器及其制备方法，包括带有空腔的衬底、复合下电极、压电层、上电极。其中，压电层在复合下电极和上电极之间。复合下电极含有第一下电极、种子层、温度补偿层和第二下电极。第一下电极和第二下电极通过刻蚀通孔后相连接；通孔贯穿温度补偿层和种子层。复合电极在一方面可以提高压电薄膜的质量，降低谐振器的温度频率系数；另一方面，消除了由于温度补偿层导致的寄生电容效应，提高了谐振器的耦合系数。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110880924A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911265024.9
申请日：2019-12-11
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明涉及谐振器技术，具体涉及一种可调谐的薄膜体声波谐振器，包括位于中间区域的谐振器，以及谐振器周围的叉指结构。谐振器周围的叉指结构设置于谐振器对应的一条边或多条边上；叉指结构与谐振器对应边垂直，或与谐振器对应边成一定角度。谐振器周围的叉指结构的末端为直线，或弧线，或直线和弧线的混合结构；叉指结构的宽度、长度、数量、间距可调。该谐振器能够在不改变各层材料厚度的条件下调节薄膜体声波谐振器的谐振频率，实现在一片晶圆上制造不同工作频率的谐振器。
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公开(公告)号：CN110880922A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201911127186.6
申请日：2019-11-18
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种二维超高频谐振器，具体指一种可以提高谐振器机电耦合系数的超高频谐振器机构，该种谐振器仅在压电材料上部布置有二维方向分布的正负电极，电极上部有桥状结构，电极间距大于四个波长。此种谐振器结构能够有效的提高谐振器的谐振频率和机电耦合系数。
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公开(公告)号：CN105819111A
公开(公告)日：2016-08-03
申请号：CN201610148419.0
申请日：2016-03-16
Applicant: 武汉大学
IPC: B65D83/06
CPC classification number: B65D83/06
Abstract: 一种自动量取器及量取方法，包括容器、衔接装置、取料装置和底座，容器放置于底座上，容器与底座能够分离，容器下底中央为矩形出料口；衔接装置固定在容器下部，所述衔接装置包括2个固定块、1个固定板、1个弹簧、1个阻挡块和1个活动块；取料装置包括取料轮和与之相连的传动装置、单片机，单片机连接传动装置；取料轮通过两个底座固定块固定于底座上表面。当开始量取，通过单片机控制步进电机转动使得取料轮转动；停止时，通过单片机使取料轮有一凹槽朝向正上方，封住出料口。本发明结构简单易于清洗，容器可与底座分离，易于加料；采用相应量取方法能够快速、精确量取所需物料，且装置体积小，易清洁，适用于各种粉末颗粒物料的量取。
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公开(公告)号：CN101880716B
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201010214012.6
申请日：2010-06-22
Applicant: 武汉大学
IPC: C12Q1/68
Abstract: 本发明提供了一种检测荧光量子点在生物体内毒性的方法，利用荧光量子点中的重金属诱导生物体内MTmRNA的转录，通过检测MTmRNA的表达情况，从而反映生物体内荧光量子点的毒性。本发明还提供了用于检测荧光量子点在生物体内毒性的试剂盒。本发明从分子水平上来评价量子点对生物体的毒性，方便快捷，稳定性好，成本低廉，且不受其他因素影响；由于MT对微量重金属敏感，易被诱导，其检测的灵敏度高，检测样品用量少(几十毫克)，广泛适用于评价生物体内的含重金属量子点的毒性。
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公开(公告)号：CN117353698A
公开(公告)日：2024-01-05
申请号：CN202311441991.2
申请日：2023-10-30
Applicant: 武汉大学
Abstract: 本发明公开了一种抑制横波泄露的体声波谐振器，该谐振器自上而下包括第一电极层、压电层、第二电极层和衬底；第一电极层设置于压电层上层即远离衬底的一侧，第一电极层的谐振区内设有顶电极；第二电极层设置于压电层下层即靠近衬底的一侧，第二电极层的谐振区内设有底电极；还包括若干声反射栅结构，声反射栅结构设置于第一电极层的谐振区外和/或第二电极层的谐振区外；若干声反射栅结构之间存在多个空气隙隔离层；衬底包括支撑结构和空腔结构。当声波传播到声反射栅结构时，由于其形状不规则、宽度不一且与谐振器谐振区边缘不平行，声波会被多次反射、折射和散射，使其传播路径变的复杂，有效抑制横向声波泄露及杂波响应，提高谐振器的Q值。
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