液晶显示面板的制造装置及其制造方法

    公开(公告)号:CN100458514C

    公开(公告)日:2009-02-04

    申请号:CN200610092794.4

    申请日:2006-06-14

    发明人: 元松俊彦

    IPC分类号: G02F1/1333

    摘要: 本发明提供一种能可靠地消除工序氛围气中的污染物质,抑制显示不良,提高液晶显示面板的显示质量及合格率的液晶显示面板的制造装置及其制造方法。在密封/Ag分配装置及液晶滴注分配装置、隔离子撒布装置、隔离子检查装置、隔离子粘着装置、贴合装置等ODF生产线的各种装置、用于运送基板的机械手等装置运送部以及将基板容纳到基板盒等内的缓冲部中的至少一个上,设置用于以惰性气体代替内部气体的单元或化学过滤单元(1)中的至少一方,从而能维持基板表面的洁净度,而且在任意一道工序之后,测定基板表面上的液晶滴接触角或基板表面上残存杂质的浓度,基于接触角或杂质浓度来确认基板表面的洁净度。