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公开(公告)号:CN101473365A
公开(公告)日:2009-07-01
申请号:CN200680032631.5
申请日:2006-07-07
申请人: 先进能源工业公司
IPC分类号: G09G5/00
CPC分类号: G09G3/20 , G09G2340/0492
摘要: 描述了一种用于在工业装置上显示信息的系统和方法。在一个变形中,布置工业设备,以便于以相对于工业系统的方位放置该工业设备的显示面板。然后,以该方位将所述工业设备安装在工业系统中,以便于固定显示面板的方位。响应于显示面板相对于用户的观察视角的方位来改变显示面板上的内容的呈现。
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公开(公告)号:CN100501933C
公开(公告)日:2009-06-17
申请号:CN200580038869.4
申请日:2005-10-14
申请人: 先进能源工业公司
发明人: 贾斯廷·莫克 , 史蒂夫·狄龙 , 胡安·何塞·冈萨雷斯 , 安德鲁·沙巴林
IPC分类号: H01L21/306 , C23C16/00
CPC分类号: H01J37/32522 , H01J37/321
摘要: 提供了一种等离子体排放装置,其具有改进所述装置中的介电材料的热控制和保护的结构。本发明大体包括等离子体约束室,其至少部分地由介电材料构成,而冷却设备安置成与所述室的介电表面接触,以便大致均匀的散热。所述冷却设备可被嵌入包封材料中,其改进了从介电等离子体室吸热的均匀性。通过改进从等离子体排放装置的介电室吸热的均匀性,本发明允许了等离子体排放装置在显著提高的能量级别上的可靠的操作。
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公开(公告)号:CN100488690C
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200580036256.7
申请日:2005-08-23
申请人: 先进能源工业公司
发明人: 米兰·伊利克 , 卡利安·N·C·西德巴图拉 , 弗拉迪斯拉夫·V·希洛
IPC分类号: B23K9/00
CPC分类号: H01J37/32027 , B23K10/006 , H05H1/36
摘要: 本发明提供了一种供电以点燃等离子体的装置和方法,其中在出现电弧的情况下,使用分路开关转移功率以使其远离该等离子体,该分路开关包括在过压保护电路中,该过压保护电路在该电弧熄灭时控制该分路开关作为升压开关,使得如果等离子体熄灭,则使用存储的电感器电能来升高点燃电压以重新点燃该等离子体。当电弧熄灭、电感电流变小以及等离子体点燃时,那么开关S1关断并且电感器电能转到等离子体中,并且电源在其正常工作模式下工作。
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公开(公告)号:CN100467662C
公开(公告)日:2009-03-11
申请号:CN03823015.1
申请日:2003-09-23
申请人: 先进能源工业公司
发明人: 戴维·J·克里斯蒂
CPC分类号: H01J37/3444 , C23C14/35 , H01J37/34 , H01J37/3405
摘要: 本发明提供了一种新的磁控溅射装置,通常包括一个脉冲电源,该脉冲电源能够提供的峰值功率为0.1兆瓦特到数兆瓦特,峰值功率密度大于1kW/cm2。该电源有一个脉冲电路,该脉冲电路包括一个储能电容和一个通过开关装置串联的电感,检测到电弧现象时,该开关装置将脉冲电路与等离子体断开,并将电感能量循环回到储能电容。储能电容和串联电感提供对等离子体的阻抗匹配,限制有电弧时电流的上升率和峰值幅度,对到等离子体的电压脉冲进行整形。
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公开(公告)号:CN101061447A
公开(公告)日:2007-10-24
申请号:CN200580036449.2
申请日:2005-08-23
申请人: 先进能源工业公司
发明人: 布赖斯·L·黑斯特曼 , 米兰·伊利克 , 安德雷·B·马利宁 , 卡利安·N·C·西德巴图拉
CPC分类号: H02M3/1584 , H02M3/07 , H02M2003/075 , H02M2003/076 , H02M2003/1586
摘要: 本发明提供了软切换交错的功率变换器,其适合于高功率和高电压应用,例如等离子体处理。它们大大地降低了切换损耗和二极管反向-恢复损耗,其允许以高切换频率进行工作。二极管的反向-恢复电流的峰值基本上低于它们的峰值正向工作电流。所述功率变换器包括功率变换器单元,其包括多个以交错切换模式进行工作的切换组件,并各自连接到也具有共用端的电感组件的输入端。每对输入端之间的电感小于电感组件的每个输入端和共用端之间的电感。
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