一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法

    公开(公告)号:CN102654395A

    公开(公告)日:2012-09-05

    申请号:CN201210125998.9

    申请日:2012-04-26

    Abstract: 本发明公开了一种触针式轮廓仪传感器非线性误差的校正方法,包括:调整轮廓仪传感器的位置,使其触针与垂直微位移工作台的工作面相接触,确定垂直微位移工作台在垂直方向上运动的距离以及采样间距,通过计算机和控制箱后发出信号来带动轮廓仪传感器的触针运动,垂直微位移工作台上的激光测距仪分别根据信号测量垂直微位移工作台在垂直方向上相对于初始位置的位移量,同时轮廓仪传感器的计量系统分别根据信号测量轮廓仪传感器的触针在垂直方向上相对于初始位置的位移值,将两组数据以一一对应的方式保存在垂直方向的误差查找表中。本发明使用简单、效率高、成本低、精度高、适用范围广,并能对触针式轮廓仪传感器的全量程误差进行补偿。

    一种多探针平面度检测仪及其检测方法

    公开(公告)号:CN102620690A

    公开(公告)日:2012-08-01

    申请号:CN201210094438.1

    申请日:2012-04-01

    Abstract: 本发明公开了一种多探针平面度检测仪及其相应的检测方法,该检测仪包括测量探针阵列、测量物镜、干涉显微镜、CCD成像装置、垂直扫描工作台和水平工作台,其中干涉显微镜和CCD成像装置设置在垂直扫描工作台上,分别用于形成光的干涉条纹和干涉条纹的成像;测量探针阵列包括多个探针,这些探针各自的前端具有探针针尖,后端具有平面反射镜;测量物镜固定安装在干涉显微镜下部并处于探针平面反射镜上方,用于对光线进行汇聚;水平工作台设置在测量探针阵列下方用于放置被测样品。按照本发明,能够实现多探针同时测量,充分利用光干涉的高精度特性并有效避免测量时被测表面材料光学性能的影响,相应能够实现结构简单、测量精度高和成本低的效果。

    一种双峰信号模式的线扫描色散共焦测量方法及装置

    公开(公告)号:CN118603312B

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202410697525.9

    申请日:2024-05-31

    Inventor: 卢文龙

    Abstract: 本发明提供了一种双峰信号模式的线扫描色散共焦测量方法及装置,涉及光谱共焦测量领域技术领域;方法包括:根据通过色散共焦组件的光线,在待测物上形成多个测量光斑;将滤波窗放置在待测物的中心位置,截取光斑中心,得到单峰特征信号;沿扫描方向不断移动滤波窗,直至单峰特征信号逐渐凹陷,单峰裂变为双峰;截取光斑护栏位置,在光斑护栏位置采集测量光斑的光谱功率分布信号并进行处理,得到双峰特征信号;对双峰特征信号进行峰值特征定位,并对峰值特征信号进行处理,得到测量结果。本发明沿扫描方向将滤波窗进行偏移产生双峰信号,获得更稳健的光谱功率分布信号,从而提高了输出结果的精确度和准确度。

    一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法与装置

    公开(公告)号:CN118602962B

    公开(公告)日:2024-11-08

    申请号:CN202411060043.9

    申请日:2024-08-05

    Abstract: 本发明公开了一种光谱共焦薄膜厚度测量信号的重叠峰分离方法,包括:获取光谱共焦薄膜厚度的波长序列和测量强度信号;基于所述波长序列对重叠峰区域进行划分并获得边缘峰信号;迭代求取所述重叠峰区域的波长信号与边缘峰信号的对称强度差得到新的单峰信号,直至所述迭代前后单峰信号变化满足精度要求。本发明的重叠峰分离方法迭代速度快,精度高,可用于对称峰重叠分解。

    基于超表面的光谱共焦位移测量方法、装置及存储介质

    公开(公告)号:CN118654579A

    公开(公告)日:2024-09-17

    申请号:CN202411060476.4

    申请日:2024-08-05

    Inventor: 卢文龙 吴运权

    Abstract: 本发明提供了一种基于超表面的光谱共焦位移测量方法、装置及存储介质,涉及高精度位移测量方法技术领域,方法包括:利用超表面上的微纳结构使通过准直镜的宽波段平行光的不同波长具备不同的焦距,得到焦距序列;微纳结构的排列方式根据微纳结构的工作相位及工作焦距、以及宽波段平行光的工作波长确定;微纳结构的工作相位根据微纳结构尺寸、宽波段平行光的工作波长、空气折射率、微纳结构材料折射率确定;当被测物体位于焦距序列内时,通过光谱仪获得光谱信号,输出波长序列数据和光强序列数据,得到测量结果。本发明解决了传统透镜式光谱共焦位移传感器无法应用于微孔、间隙等具有高精度、严格要求的微小尺寸测量领域的问题。

    一种基于摩擦电的气液两相流液相流量测量方法及装置

    公开(公告)号:CN118548942A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202410790872.6

    申请日:2024-06-19

    Abstract: 本发明提供了一种基于摩擦电的气液两相流液相流量测量方法及装置,涉及多相流流量测量技术领域,具体方法包括:在过流部件的内部安装多孔电极,在过流部件的外部安装环形电极,通过电信号采集模块将所述多孔电极与所述环形电极连接;初始化所述电信号采集模块,得到测量曲线模型;利用所述电信号采集模块采集气液两相流通过所述过流部件的摩擦电信号,对应得到电信号值;将所述电信号值输入所述测量曲线模型中,得到气液两相流液相流量。本发明解决了在气液两相不分离的情况下对液相流量进行有效准确的测量的问题。

    一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置

    公开(公告)号:CN117928396A

    公开(公告)日:2024-04-26

    申请号:CN202311490573.2

    申请日:2023-11-08

    Inventor: 卢文龙 吴运权

    Abstract: 本发明公开了一种测量透明材料厚度和折射率的方法及装置,在被测透明材料的上方设置光源、色散探头、光谱仪,下方设置反射板;光源发出的复色光波经过色散探头散色,第一光波和第二光波分别聚焦于被测透明材料的上表面和下表面并被反射回色散探头;光谱仪接收反射回来的第一光波和第二光波,并通过计算机分别测得第一光波和第二光波的位移数据l(λ1)、l(λ2);控制色散探头在其光轴方向上位移,使第二光波聚焦于反射板的表面;移去被测透明材料,复色光中的第三光波聚焦于反射板的表面,反射板将接收到的第三光波反射回色散探头,并被光谱仪接收,通过计算机测得第三光波的位移数据l(λ3)。本发明具有操作简单,通用型性好、可同时测量厚度和折射率等优点。

    一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法

    公开(公告)号:CN113777049B

    公开(公告)日:2023-09-01

    申请号:CN202110920408.0

    申请日:2021-08-11

    Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域,并公开了一种角分辨快照椭偏仪及其测量系统与方法。该椭偏仪包括照明光路单元和光谱采集单元,照明光路单元中设置有第一透镜和物镜,光线经过第一透镜汇聚在物镜的后焦面上,在物镜的作用下形成多束不同入射角的光束照射在待测样品表面;光谱采集模块包括多象限分析器、第二透镜和成像光谱仪,入射光线照射在待测样品表面后被待测样品反射,然后依次经过物镜、多象限分析器和第二透镜,最终在成像光谱仪中获得角分辨光谱,利用该角分辨光谱计算获得到达成像光谱仪反射光的偏振参数,进而获得待测样品的厚度和光学常数。通过本发明,解决现有技术难以解决的超薄膜高精度与高速在线测量的技术问题。

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