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公开(公告)号：CN102589917B
公开(公告)日：2014-09-24
申请号：CN201210042617.0
申请日：2012-02-23
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: B64G7/00 , B64G1/26 , B64G2001/245 , G05D1/0883
Abstract: 本发明提供一种无拖曳航天器的自由落体验证装置，包括航天器模拟装置，用于在地面上做自由落体运动；惯性传感器或加速度计，用于测量航天器模拟装置的残余扰动加速度；姿态敏感器，用于测量航天器模拟装置的姿态参数；无拖曳控制器，用于对残余扰动加速度和姿态参数进行处理得到反馈控制信号；推进器，用于在反馈控制信号控制下产生推力作用在所述航天器模拟装置上，使得航天器模拟装置克服外界环境的残余扰动和维持姿态。本发明通过航天器在地面短时间内的自由落体运动，模拟空间运行环境，把惯性传感器或加速度计、姿态敏感器，无拖曳控制器和推进器综合起来，在短时间可以实现空间无拖曳航天系统技术地面环境下的性能和功能测试验证。
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公开(公告)号：CN103950887A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410140457.2
申请日：2014-04-09
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种深硅刻蚀方法，包括如下步骤：（1）在硅片表面制备图形化的光刻胶掩膜；（2）对硅片进行深感应耦合等离子体干法刻蚀，包括多个刻蚀阶段，每个刻蚀阶段均在感应耦合等离子体机内，通过钝化、轰击和刻蚀三个步骤交替循环加工完成，随着刻蚀深度的增加，各刻蚀阶段中轰击步骤的轰击强度逐渐增强。本发明有效解决了现有技术中侧壁垂直度及粗糙度难以控制以及大刻蚀深度难以实现的问题，在提高刻蚀效率的同时，提高了对光刻胶的选择比，刻蚀槽侧壁垂直度高，粗糙度小，刻蚀深度大。
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公开(公告)号：CN103512668A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310419820.X
申请日：2013-09-13
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种红外图像与波前双模一体化成像探测芯片，包括：陶瓷外壳、金属支撑与散热板、驱控与预处理模块、面阵非制冷红外探测器、以及面阵红外折射微透镜，驱控与预处理模块、面阵非制冷红外探测器、以及面阵红外折射微透镜同轴顺序设置于陶瓷外壳内，陶瓷外壳后部设置于金属支撑与散热板顶部，驱控与预处理模块设置于陶瓷外壳后部与金属支撑与散热板连接处，面阵非制冷红外探测器设置于驱控与预处理模块顶部，面阵红外折射微透镜设置于面阵非制冷红外探测器顶部，并通过陶瓷外壳面部开孔其光入射面裸露出来，面阵红外折射微透镜包括M×N个单元微透镜。本发明结构紧凑，使用方便，易与常规红外光学系统兼容或耦合，目标和环境适应性好。
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公开(公告)号：CN103512666A
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201310408366.8
申请日：2013-09-09
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种红外立体成像探测芯片，包括陶瓷外壳、金属支撑与散热板、驱控和红外图像预处理模块、面阵非制冷红外探测器、以及面阵红外折射微透镜，驱控和红外图像预处理模块、面阵非制冷红外探测器、以及面阵红外折射微透镜同轴顺序设置于陶瓷外壳内，陶瓷外壳后部设置于金属支撑与散热板顶部，驱控和红外图像预处理模块设置于陶瓷外壳后部与金属支撑与散热板连接处，面阵非制冷红外探测器设置于驱控和红外图像预处理模块顶部，面阵红外折射微透镜设置于面阵非制冷红外探测器顶部，并通过陶瓷外壳面部开孔将其光入射面裸露出来。本发明具有通过单光敏芯片并行探测目标的立体图像信息、易与常规红外光学系统兼容、目标和环境适应性好的特点。
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公开(公告)号：CN102590878B
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201210042618.5
申请日：2012-02-23
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01V7/00
Abstract: 本发明提供一种落塔或者落井设备中落舱的微重力水平改善装置，包括落舱，用于在地面上做自由落体运动；加速度计，用于测量所述落舱的残余扰动加速度；控制器，用于对所述加速度计测量的残余扰动加速度进行处理得到闭环反馈控制信号；推进器，用于在所述闭环反馈控制信号控制下产生推力作用在所述落舱，使得所述落舱克服外界环境的残余扰动。本发明在无需真空抽取和维持下，结合落舱即自由落体实验装置，把加速度计、控制器和力执行机或者推进器综合起来，利用闭环控制系统对落舱进行残余扰动加速度的补偿，特别是克服空气阻力的影响，有效改善落舱内部的微重力环境，其微重力水平有望提高到10-6～10-8g0。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103344219A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310240528.1
申请日：2013-06-17
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01C9/00
Abstract: 本发明公开了一种二维静电相对倾斜仪；能同时测量两个方向的倾斜变化；包括探头、电容位移传感电路、控制单元、电压放大电路以及模数转换电路；探头由检验质量与电容极板框架组成，工作时检验质量用静电力悬浮在框架的中央；其中竖直方向为了克服检验质量受到的重力，需要施加600-1000V控制电压；而水平方向只需要平衡由于基座倾斜而产生的重力的分力，施加小于10V的控制电压。通过对两个水平方向的控制电压的检测，即可获得这两个方向的倾斜变化信息。本发明只需要一台仪器即可完成地倾斜变化的二维测量，且由于其检验质量与外部框架之间没有机械支撑，可克服传统摆式倾斜仪存在的机械漂移的缺点。
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公开(公告)号：CN101509935B
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200910061184.1
申请日：2009-03-20
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 一种空间惯性传感器地面测试装置，包括检验质量、电容位移传感器、控制器、静电执行机和悬挂机构，所述悬挂机构与检验质量间的悬挂点位于检验质量的质心。本发明实现了对静电悬浮加速度计三个转动自由度上的性能测试，能够在地面上更真实的模拟空间环境，对静电悬浮加速度计的性能提供更全面的测试。
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公开(公告)号：CN1558255A
公开(公告)日：2004-12-29
申请号：CN200410012718.9
申请日：2004-02-11
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01V7/00
Abstract: 引力波探测装置，属于光测量技术领域，既利用共振效应又利用延长光路来放大引力波信号，以提高探测引力波的灵敏度。本发明两个共振棒各自独立地用弦丝通过其中心水平悬挂，它们的中轴线相互垂直；对应于两个共振棒，将光纤平分为两段，每段再折叠为N小段，1,000≤N≤1,000,000，并沿共振棒的轴线方向缠绕并固定在共振棒上，或者沿共振棒的轴线置于共振棒内，两个共振棒上光纤的端点通过光学器件连接，整个光纤形成封闭环路。共振棒与其上的光纤一起作为共振质量，利用共振效应将引力波信号放大Q倍；同时利用光纤折叠极大地增长光信号运行的光程，积累共振棒对引力波的响应来增强探测引力波的能力，进一步放大引力波信号，极大地提高探测灵敏度。
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公开(公告)号：CN213242575U
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202022403282.3
申请日：2020-10-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/115 , H01L31/0236 , H01L31/0216 , H01L31/18 , H01Q15/00 , H01Q15/10
Abstract: 本实用新型公开了一种基于超表面光学天线的射频信号探测器，包括：自下而上依次放置的衬底、掺杂层和二氧化硅层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成肖特基接触的超表面光学天线层，制作于掺杂层之上与掺杂层形成欧姆接触的欧姆电极，以及位于二氧化硅层的上表面的肖特基电极和普通电极；超表面光学天线层为宽度为5～100mm的金属阵列，对于入射的射频S波段、C波段或X波段的电磁信号具有极强的局域表面等离激元效应，用于探测射频S波段、C波段或X波段的信号；金属阵列为平面结构或立体结构，由周期性排列的微米基元构成；微米基元为微米结构，体积小，能够在极短时间内产生极强的响应信号，可以以较小的体积实现响应速度较快的射频波段信号的探测。
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公开(公告)号：CN213242574U
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202022403206.2
申请日：2020-10-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01L31/115 , H01L31/0236 , H01L31/0216 , H01L31/18 , H01Q15/00 , H01Q15/10
Abstract: 本实用新型公开了一种基于超表面光学天线的超宽谱红外信号探测器，属于信号探测技术领域，包括衬底、掺杂层、二氧化硅层、超表面光学天线层、欧姆电极、肖特基电极和普通电极；其中，超表面光学天线层由一个宽度为0.5～5mm的金属纳尖阵列构成，金属纳尖阵列为具有周期性纳尖结构的金属层，对于入射的电磁波具有极强的局域表面等离激元感应能力，可以与对应的红外信号产生局域表面等离激元振荡，其响应速度较高，属于超高速响应，能够在极短时间内产生极强的响应信号，从而快速探测波段为1～70um的红外信号。另外，本实用新型所提供的探测器尺寸为毫米级或亚毫米级，具有高灵敏、高速和微型化特性，可以以较小的体积实现响应速度较快的超宽谱红外信号的探测。
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