气体处理装置
    114.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101142010A

    公开(公告)日:2008-03-12

    申请号:CN200680008748.X

    申请日:2006-03-24

    IPC分类号: B01D53/82

    摘要: 本发明提供一种使用填充剂处理气体的装置,例如用于使用无害化剂对含有有害物质的废气进行无害化的气体处理装置,该有害物质例如是用于半导体制造工艺、液晶显示元件制造工艺等的硅烷、磷化氢、氯化氢、二氯硅烷和氨气等各种半导体材料气体。气体处理筒1内的流路6中设有无害化剂层3,圆环状的挡板7被设为分别与该无害化剂层3的上游侧的面及下游侧的面相接,并且其外缘部与流路6的壁面相接。当填充剂外径di和气体处理筒1内径D之间的关系为5di≤0.09D时,挡板7的宽度优选为大于或等于填充剂外径的5倍、且小于或等于气体处理筒1内径的9%;当5di>0.09D时,挡板7的宽度优选为气体处理筒1内径的2%~9%。

    一种危废焚烧过程的二次燃烧与脱酸脱硝一体装置

    公开(公告)号:CN107401748A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201710811605.2

    申请日:2017-09-11

    申请人: 冯承湖

    摘要: 一种危废焚烧过程的二次燃烧与脱酸脱硝一体装置,包括二燃室,二燃室的进口连接有一次废气烟道,一次废气烟道进口处设置有辅助燃烧喷嘴;二燃室的出口通过烟气收缩段连接脱酸脱硝反应器,脱酸脱硝反应器包括烟气混合段、烟气扩张段和烟气反应段,烟气混合段处设置有SCNR喷嘴和脱酸剂喷嘴。危废焚烧后产生的一次燃烧废气经辅助燃烧喷嘴助燃后进入二燃室,然后烟气依次进入脱硝脱酸反应器的各段,通过SCNR喷嘴向和脱酸剂喷嘴向烟气混合段喷脱硝剂和脱酸剂,实现脱硝和脱酸。该装置将二燃室与高温烟气的选择性非催化还原氮氧化物脱除和高温脱酸融合,高效完成危废焚烧的高温烟气二次燃烧、脱硝和脱酸,进一步降低了主要污染物的排放量。