公开(公告)号：CN101345187A

公开(公告)日：2009-01-14

申请号：CN200810126567.8

申请日：2008-07-10

申请人： 应用材料股份有限公司

发明人： 贾勒帕里·拉维 ,  梅伊特·马哈贾尼 ,  黄宜乔

IPC分类号： H01L21/00 ,  H01L21/66

CPC分类号： G01K11/00 ,  G01K3/04 ,  G01K5/486 ,  H01L21/67276

摘要： 本发明提供一种用于监测和校准加工室温度的非破坏性方法。本发明的一个实施例提供一种用于测量温度的方法，该方法包括在第一温度下在测试基片上形成目标膜，其中目标膜具有对热暴露敏感的一种或几种性能，将目标膜暴露于在高于第一温度的范围内的第二温度下的环境，在将目标膜暴露于第二温度下的环境之后测量目标膜的一种或几种性能，以及根据所测量的一种或几种性能确定第二温度。

公开(公告)号：CN101334305A

公开(公告)日：2008-12-31

申请号：CN200810099349.X

申请日：2003-09-29

申请人： 微动公司

发明人： C·P·斯塔克 ,  A·T·帕滕 ,  M·A·布特勒 ,  G·R·杜菲尔

IPC分类号： G01F1/84 ,  G01F25/00

CPC分类号： G01F1/8477 ,  G01F1/8436 ,  G01F15/024 ,  G01F25/0007 ,  G01K11/00 ,  G01K11/28 ,  G01K13/02 ,  G01K2013/024 ,  G01K2013/026

摘要： 本发明涉及用于科里奥利流量计的诊断设备和方法。依据本发明的实施例，提供一种使用多种模式计算流量计的流速的系统。所述使用多种模式计算流量计的流速的系统包括对于多个理想模式校准所述流量计的装置。所述使用多种模式计算流量计的流速的系统包括确定与各个理想模式相关的流过所述流量计的物质的密度的装置。所述使用多种模式计算流量计的流速的系统进一步包括对于各个理想模式确定流速对密度的影响的装置。所述使用多种模式计算流量计的流速的系统包括基于各个理想模式的密度和流速对密度值的影响来计算流速的装置。

公开(公告)号：CN1601244A

公开(公告)日：2005-03-30

申请号：CN200410079755.1

申请日：2004-09-21

申请人： 奥林巴斯株式会社

发明人： 双木满

IPC分类号： G01M11/02 ,  G03F7/20 ,  G01N21/41 ,  G01K11/00

CPC分类号： G01K11/00 ,  G01N21/4133

摘要： 本发明提供一种焦点检测单元和使用其的折射率测定装置与非接触温度计，该焦点检测单元具有：射出准直光的光源单元；由具有透光性的容器和设置在该容器内的透镜以及液体所构成的被测光学单元；将来自上述光源单元的光衍射并照射到上述被测光学单元的照射部件；配置在上述被测光学单元的后侧焦平面附近、检测通过透过上述被测光学单元所形成的光斑位置的光斑位置检测部件；使用该光斑位置检测部件检测出的光斑位置计算上述被测光学单元的透镜与液体的合成焦点距离的运算部件。

公开(公告)号：CN1146652A

公开(公告)日：1997-04-02

申请号：CN96110357.4

申请日：1996-05-25

申请人： 德昌电机股份有限公司

发明人： 汪穗中

IPC分类号： H02K3/00

CPC分类号： G08B21/187 ,  G01K11/00 ,  H02K11/25

摘要： 一种热气味报警装置，与电动机的绕组相关联，用于指明绕组过度的温升。该报警装置可以包括两个或多个温升阶段，从预警温度逐渐增加到临界温度。该报警装置不影响电动机的运行但能给操作人员指明过热情况的发展，以便使操作人员采取改正措施或至少报警危险情况的发展。

公开(公告)号：CN205122774U

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201520822268.3

申请日：2015-10-22

申请人： 江苏声立传感技术有限公司

发明人： 王东方

IPC分类号： H01Q7/00 ,  G01D11/00

CPC分类号： G01K11/00 ,  H01Q1/38

摘要： 一种天线以及传感器。其中天线整体呈套环形结构，所述天线整体呈环形结构，包括同轴套设的环形绝缘支撑、位于天线内侧的环形地电极以及位于天线外侧的天线辐射体；环形天线地电极与天线辐射体之间径向间隔一定距离；所述天线辐射体绕成环形或弧形；所述天线环形结构对应的中心角为180-360度。本实用新型的无线传感信号强和质量稳定。而且不论电动机如何高速转动，传感器天线和读取天线的距离和相对角度总是保持不变，无线信号强度稳定，测温准确。

公开(公告)号：CN205120270U

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201520827332.7

申请日：2015-10-22

申请人： 江苏声立传感技术有限公司

发明人： 王东方

IPC分类号： G01K13/00 ,  G01D21/00

CPC分类号： G01K11/00 ,  H01Q1/38

摘要： 一种无线检测系统，包括检测传感器及待测物体，所述传感器整体呈环形结构，待测物体为柱形结构；所述待测物同轴地穿插于所述传感器的环形内心，待测物外表面与所述传感器的环形内壁相配合；所述环状传感器包括套环形天线以及设置于天线内的传感芯片。本实用新型的无线检测系统信号稳定、测量准确。而且不论电动机如何高速转动，传感器天线和读取天线的距离和相对角度总是保持不变，无线信号强度稳定，测温准确。