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公开(公告)号:CN101893296A
公开(公告)日:2010-11-24
申请号:CN201010184623.0
申请日:2010-05-21
Applicant: 富士电机系统株式会社
Abstract: 本发明涉及精密温度调节系统及其控制装置。本发明的课题在于,在精密温度调节系统中,即使产生非稳态干扰时,也能够将温度调节对象空间的空气温度的变化抑制到最小限度。精密温度调节系统设置有具备干扰推定部(11)、标称设备(14)的干扰观测部(10)。标称设备(14)是模拟控制对象(5)的模型。控制对象(5)的模型化是考虑温度调节对象空间(腔室等)和空气管道中空气的热量、流量而进行的。干扰推定部(11)使用与该标称设备(14)的模型相对应的传递函数,根据控制对象(5)的输出(y)和标称设备(14)的输出(yN)之间的偏差(yN-y),生成/输出干扰推定值(dm)。将该干扰推定值(dm)以规定的增益KADD(≤1,例如0.7左右),将所得值加入到操作量MV(s)。
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公开(公告)号:CN101835338A
公开(公告)日:2010-09-15
申请号:CN201010157692.2
申请日:2005-11-21
Applicant: 富士电机系统株式会社
Inventor: 下泽慎
CPC classification number: H01J37/32091 , H01J37/32935 , H01L31/03926 , H01L31/0465 , H01L31/202 , H01L31/206 , Y02E10/50 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供等离子体控制方法等,用等离子体CVD装置来成膜时,简单得到与随成膜条件变化而变的膜厚均匀性的检测量的膜厚均匀性改善方法;跟踪因批量制作期间不同而产生峰间电压Vpp的绝对值及分布变化的特性变动,得到良好特性均匀性;能提高产品合格率。在具有连接高频供电源(205)的高频电极(210)和与高频电极(210)相对方向并且连接接地电位等的接地电极(211)的真空容器(201)内,在由施加在高频电极(210)上的高频电力控制生成等离子体(206)的分布时,在生成等离子体时,根据使用设置在高频电极(210)或/和接地电极(211)上的峰间电压检测部分检测的电极的峰间电压Vpp,控制等离子体的分布。
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公开(公告)号:CN101311918B
公开(公告)日:2010-08-18
申请号:CN200810081711.0
申请日:2008-02-25
Applicant: 富士电机系统株式会社
Abstract: 本发明提供输入画面处理装置、终端和呼叫中心业务管理系统。本发明的输入画面处理装置(1)能够将来自用户的技术性咨询或为了故障恢复的咨询输入到多个输入栏,并且具有存储能够通过选择部从多个进展状况中选择各咨询的进展状况的输入画面的输入画面存储部(3),在与用网络连接的终端之间,进行涉及所述输入画面的数据处理。该输入画面处理装置(1)具备:输入画面处理部,对来自终端的所述输入画面的取得请求,使所述输入画面显示在所述终端;和用户数据存储部(4),将根据来自终端的输入画面的保存请求所取得的对输入画面的输入栏输入的输入数据和选择部的选择结果数据等数据作为用户数据加以存储。
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公开(公告)号:CN101796430A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN200980100274.5
申请日:2009-02-27
Applicant: 富士电机系统株式会社 , 中村尚司
IPC: G01T3/00
Abstract: 在中子剂量计中,当沿水平轴绘制中子能量并沿垂直轴绘制周围剂量当量(1cm剂量当量)时,使特征的趋势接近中子积分通量-周围剂量当量(1cm剂量当量)转换系数曲线(中子能量-ICRP 74H*(10)响应曲线)的G(L)函数数据用于补偿混合气体检测器的输出,该混合气体检测器封装了氮气和有机化合物气体的气体混合物并输出具有与所检测到的中子的能量相对应的峰值的检测脉冲信号。
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公开(公告)号:CN101795076A
公开(公告)日:2010-08-04
申请号:CN201010116546.5
申请日:2010-01-29
Applicant: 富士电机系统株式会社 , 富士电机控股株式会社
IPC: H02M3/335
CPC classification number: H02M1/32 , H02M3/3376 , H02M2001/0032 , Y02B70/16
Abstract: 本发明的目的是防止功率变换器的开关器件的电压变化率超过指定的最大额定值,从而避免开关器件损伤和传导损耗增大。在具有多个开关器件且适合于通过变压器将能将直流输入电压转换成交流电压的逆变器连接至多个整流二极管并向负载馈送功率的功率变换器中,设置了用于将开关器件的控制方案切换至相移控制方案或脉宽调制方案的切换装置,藉此在无负载或轻负载状态下将开关器件的控制方案从相移控制方案切换至脉宽调制方案。
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公开(公告)号:CN101771287A
公开(公告)日:2010-07-07
申请号:CN200910166815.6
申请日:2009-08-31
Applicant: 富士电机系统株式会社
IPC: H02J7/00
Abstract: 本发明提供不间断电源装置的控制装置。当交流电源(1)的停电状态被解除,交流电源(1)处于正常状态得到确认,开始用于使不间断电源装置(20)产生与该交流电源(1)的电压同步的输出电压的同步控制时,在即将开始前的交流电源(1)的频率和不间断电源装置(20)的输出频率之差大的状态下,进行经相位差/频率检测电路(21),设定器(23),加法运算器(24),限制电路(25),设定器(26),乘法运算器(27),加法运算器(28)→接点(22b)→LPF(29)→加法运算器(30)→V/F变换器(16)→逆变器驱动电路(17)的路径的同步控制。在该路径的同步控制中,逆变器电路(12)的输出电压和交流电源(1)的电压能够迅速且无冲击地同步。
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公开(公告)号:CN101752356A
公开(公告)日:2010-06-23
申请号:CN200910253116.5
申请日:2009-11-30
Applicant: 富士电机系统株式会社
Inventor: 西浦彰
IPC: H01L25/00 , H01L25/07 , H01L23/367
CPC classification number: H01L23/473 , H01L23/3735 , H01L25/072 , H01L2224/32225 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H05K7/20927 , H01L2924/00
Abstract: 根据本发明的半导体芯片的冷却装置包括形成在金属基部(11)与其附连有安装半导体芯片(16)的绝缘基板(17)的表面相反的相反表面上的散热片(12)。散热片(12)由具有不同长度的薄板形散热片(12a)形成并布置成使薄板形散热片(12a)的表面积密度沿冷却剂流动方向变高,其中表面积密度是在金属基部(11)单位表面积上的散热片(12)的总表面积。尽管当由各半导体芯片(16)产生的热量相同且各散热片(12)的冷却效率相同时,冷却剂温度和半导体芯片(16)的温度容易沿冷却剂流动方向变得越来越高,然而可通过使冷却效率沿冷却剂流动方向越来越高来阻止这种趋势发生。结果,沿冷却剂流动方向布置的半导体芯片(16)的温度彼此接近。
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公开(公告)号:CN1654891B
公开(公告)日:2010-04-28
申请号:CN200510005068.X
申请日:2005-01-31
Applicant: 富士电机系统株式会社
Abstract: 本发明以低成本提供一种大规模的风机过滤单元(FFU),其构成为,例如对设置在超净室内的多个FFU的各个电机(例如同步电机)(3A~3C),分别共用地设置整流电路(21)和运转控制电路(22),而且单独地设置逆变器(23A~23C)、电机控制电路(24A~24C)和检测部(25A~25C),由此减少电路和布线的数量,可加大规模而不增加成本。
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公开(公告)号:CN101593606A
公开(公告)日:2009-12-02
申请号:CN200910097051.X
申请日:2009-03-30
Applicant: 浙江大学 , 富士电机系统株式会社
CPC classification number: H01F37/00 , H01F27/2847 , H01F27/323 , H03H7/0115 , H03H7/09 , H03H2001/0085
Abstract: 本发明公开了一种基于柔性多层带材的全集成EMI滤波器,EE磁芯或EI磁芯构成含有两个边柱和一个中柱的闭合磁路,中柱开气隙;第一绕组和第二绕组分别绕在两个边柱上,绕向相同;中柱上绕有第三绕组和第四绕组这两个绕组或只绕有第五绕组这一个绕组;本发明将EMI滤波器中所有无源元件都集成在同一磁芯内,使滤波器的差模插入损耗得到显著提高,减少EMI滤波器的体积和分布参数对滤波器性能的影响。
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公开(公告)号:CN100559191C
公开(公告)日:2009-11-11
申请号:CN200710112401.6
申请日:2007-06-19
Applicant: 富士电机系统株式会社
IPC: G01R19/22
Abstract: 提供一种高频电源装置的直流电流检测方法和装置,可以降低适于对构成谐振电路的高频感应加热装置供电的高频电源的价格。高频电源装置(HFP1)包括:由电容(C11~C1n)构成的平滑电容电路、由(IGBTQ11~Q14)等构成的高频电力变换电路、控制电路、交流电流检测器、电流运算器、交流电压检测器、以及交流电流检测器,在该电流运算器中,根据所述高频电力变换电路的输出电压(V0),从由交流电流检测器检测出的所述高频电力变换电路的输出电流(I0)和由交流电流检测器检测出的所述平滑电容电路的电流(Ic)中,取得与将直流电力从直流电源提供给该高频电源的电流(Idc)等效的电流(Idc*)。
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