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公开(公告)号:CN1677060B
公开(公告)日:2010-10-06
申请号:CN200510063714.8
申请日:2005-03-29
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01C11/04 , G01C15/002
Abstract: 本发明的测量数据处理系统,具备如下处理程序:作成包含由测量机规定的范围的标定点的多个地点的3维数据、包含拍摄装置拍摄的上述标定点的规定的范围的数字图像以及连结包含上述标定点的多个地点的TIN数据,使上述TIN数据上的标定点和上述图像上的标定点对应,根据该对应使上述图像结构映射后与构成上述TIN数据的三角网相关,通过对上述TIN数据进行运算来变更上述结构映射的图像的显示方法。
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公开(公告)号:CN1947652B
公开(公告)日:2010-09-29
申请号:CN200610140037.X
申请日:2006-10-11
Applicant: 株式会社拓普康
CPC classification number: G01N21/4795 , A61B3/102 , A61B3/145 , G01N2021/1787
Abstract: 本发明提供一种光图像计测装置,即使在信号光的扫描中被测定物体有动作的情况下,也可形成高准确度的图像。该光图像计测装置1包括:干涉仪,将低干涉光LO分割为信号光LS和参照光LR,并使由眼底Er所反射的信号光LS和由参照镜14所反射的参照光LR进行重叠而生成干涉光LC;CCD34,接受干涉光LC并输出检测信号;电流镜22、23,将信号光LS沿主扫描方向、副扫描方向进行扫描;计算机40,用以形成在副扫描方向的不同位置之沿主扫描方向的断层图像G1~Gm。电流镜22、23沿与主扫描方向交叉的设定方向扫描信号光LS,计算机40形成沿该设定方向的修正用断层图像GR,并根据修正用断层图像GR对各断层图像Gi的位置偏离进行修正。
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公开(公告)号:CN101261124B
公开(公告)日:2010-09-01
申请号:CN200810082480.5
申请日:2008-03-06
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01C15/00
CPC classification number: G01C15/004 , E02F3/847
Abstract: 一种激光测量系统,其包括用于通过在旋转照射中投射激光束来形成激光基准面的激光旋转照射设备,和用于通过接收激光束来执行位置测量的光电探测设备,其中激光旋转照射设备包括激光束发射器、用于调节该激光束发射器的激光束的光量的发光量调节装置、和用于执行与所述光电探测设备的通信的第一通信装置,且其中光电探测设备包括用于探测基准面的光电探测器、用于执行去往和来自激光旋转照射设备的通信的第二通信装置、和用于计算来自光电探测器的光电探测信号是否位于预先确定的范围内的控制单元,其中第一通信装置传送激光旋转照射设备的激光束发射条件给第二通信装置,并且第二通信装置传送光电探测设备的光电探测条件给第一通信装置。
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公开(公告)号:CN1769840B
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200510120157.9
申请日:2005-11-04
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01C15/00
CPC classification number: G02B27/0972 , G01C15/00 , G01S7/4811 , G02B19/0014 , G02B19/0052 , G02B26/108 , H01S5/0071
Abstract: 本发明激光光线出射装置,具备发出激光光线的激光光源、来自该激光光源的激光光线透射的波长选择膜以及该波长选择膜的出射侧的光轴上配置的复折射光学元件,上述波长选择膜倾斜成使上述激光光线的入射角在45°~80°的范围。
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公开(公告)号:CN101273918B
公开(公告)日:2010-06-09
申请号:CN200810088062.7
申请日:2008-03-27
Applicant: 株式会社拓普康
Inventor: 高木和俊
CPC classification number: G02B21/22 , G02B21/0012 , G02B21/06
Abstract: 本发明目的在于提供一种无论助手用显微镜的数量如何,都能够使助手用显微镜单元在使用位置与不使用位置间移动的手术用显微镜。手术用显微镜(10)具备:对被检物进行照明的照明光学系统;设置有对上述被检物进行观察的主观察光学系统的显微镜主体(11);安装于上述显微镜主体(11)的助手用显微镜单元。另外,手术用显微镜10中,在上述显微镜主体(11)的镜筒(12a)上设置有以显微镜主体(11)的物镜(12c)的光轴为中心周向延伸的导轨(14),且助手用显微镜单元(Su、Su’)以可在上述主显微镜单元(12)的周向上且在使用位置与不使用位置之间移动的方式被安装于上述导轨(14)。
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公开(公告)号:CN100568641C
公开(公告)日:2009-12-09
申请号:CN200610071970.6
申请日:2006-03-31
Applicant: 株式会社拓普康
Abstract: 本发明提供一种激光振荡装置,包括:作为光学晶体并将入射的激励光振荡为基波的激光晶体;将上述基波变换为2次谐波的2次谐波用波长变换晶体;和在上述激光晶体的射出端面或者上述2次谐波用波长变换晶体的入射端面上形成的反射膜,该反射膜反射上述2次谐波,该2次谐波不从上述激光晶体的内部通过。
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公开(公告)号:CN101561273A
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200910118591.1
申请日:2009-03-04
Applicant: 株式会社拓普康
IPC: G01C15/00
CPC classification number: G01C11/12
Abstract: 本发明提供了一种地理数据收集设备,包括用于投射距离测量光并且用于测量到要测量的对象的距离的距离测量部件5,用于在测量方向上获取图像的图像拾取部件3,用于显示所拾取图像的显示部件6,被安装来用于匹配所述显示部件的屏幕位置的触摸面板,用于检测倾斜的倾斜传感器11,用于在测量方向上检测水平角的方位角传感器12,和控制运算部件8,其中所述图像拾取部件获取测量范围的图像,获取基准图像,并且针对在基准图像中所选择的测量点,并且获取以所述测量点为中心的测量图像,并且其中所述控制运算部件通过对所述基准图像和测量图像进行图像匹配来计算所述基准图像中的测量点,并且在所述基准图像或测量图像中的至少一个上显示测量点。
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公开(公告)号:CN100523780C
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN200510114966.9
申请日:2005-11-16
Applicant: 株式会社拓普康 , 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: G01N15/1434 , G01N2015/1486 , G01N2015/1493
Abstract: 本发明提供的粒子监测装置,能够防止或降低监测出的散射光强度,相应于气流通过区域中的粒子通过位置产生变化,从而可以提高对粒子尺寸的监测精度。其方式是由激光光源(10)射出呈一维形式排列的10条激光光束(L1、…L10),通过投射光学系统(20)将这些光束(L1、…L10)转换为整体呈一条带状(带状宽度方向为d)的光束(LO),并且按照使所述光束(LO)的光强度,在半导体制造工序(200)的气流贯穿区域(R)中相对其带状宽度方向(d)呈大致均匀分布的方式,使由激光光源(10)射出的10条激光光束(L1、…L10)部分彼此重合。
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公开(公告)号:CN100489478C
公开(公告)日:2009-05-20
申请号:CN200410103653.9
申请日:2004-12-23
Applicant: 株式会社拓普康
Inventor: 柳英一
Abstract: 本发明是关于一种分光特性测定装置及方法,该装置是一种能够防止因温度变化所造成的测定精确度的下降的分光特性测定装置。该装置为一种具有向被检测透镜照射测定光的光源、用于将被检测透镜保持在测定位置的透镜配置部、将透过了测定位置所保持的被检测透镜的测定光进行分光的分光元件、接受被分光的测定光并检测每一波长成分的光量值的受光元件,且根据由所检测的光量值得到的光谱而求被检测透镜的分光特性的分光特性测定装置;具备将测定光的发光光谱预先进行存储的存储部、使被检测透镜从测定位置转移,并检测所测定的测定光的发光光谱对前述所存储的发光光谱的位移量,且根据所检测的位移量对被检测透镜的分光特性进行修正的控制部。
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