-
公开(公告)号:CN105296966B
公开(公告)日:2017-11-03
申请号:CN201510786301.6
申请日:2015-11-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 微波增强等离子体化学气相沉积中功率‑气压‑温度耦合方法,它涉及微波增强等离子体化学气相沉积技术的改进方法。本发明要解决现有的MPCVD技术制备金刚石薄膜过程中,由于基体温度、功率密度和沉积气压对于制备出的金刚石薄膜质量影响大的问题。本发明方法为:步骤一、实验数据采集步骤;二、检测试样质量;步骤三、制备工艺参数关系拟合。本发明的方法可以提高单晶金刚石的生长质量。
-
公开(公告)号:CN104972189B
公开(公告)日:2017-01-25
申请号:CN201510459097.7
申请日:2015-07-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法,本发明涉及同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中籽晶易被气流吹动偏离最佳位置,以及籽晶与金属钼衬底之间导热困难,传统焊接介质熔点过低、与金刚石相容性差或反应严重损伤籽晶,无法满足金刚石优质生长的问题。方法:一、清洗;二、选择焊接介质;三、放置样品;四、真空钎焊,即完成同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法。本发明用于一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底真空钎焊方法。
-
公开(公告)号:CN104947068A
公开(公告)日:2015-09-30
申请号:CN201510316529.9
申请日:2015-06-10
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种金刚石热沉片的制备方法,本发明涉及金刚石的制备方法并将其用于热沉领域,它为了解决现有MWCVD方法生产金刚石的生长速率慢,表面粗糙以及热导率低的问题。制备方法:一、切割硅片,超声清洗后得到洁净的硅片基底;二、洁净的硅片基底表面均匀涂覆纳米金刚石悬浮液;三、涂覆有金刚石悬浮液的硅片放置于MWCVD装置中,通入氢气以及甲烷后进行化学气相沉积;四、利用HNO3与HF混合溶液腐蚀去除硅基底,清洗后得到金刚石热沉片。本发明通过使用涂覆纳米金刚石悬浮液的方法显著提高金刚石膜的生长速率,达到2~5μm/h,生长面粗糙度可低至600nm,热导率高,符合人造金刚石热沉的标准。
-
公开(公告)号:CN208297403U
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:CN201820811501.1
申请日:2018-05-29
Applicant: 哈尔滨工业大学深圳研究生院
IPC: G01N25/20
Abstract: 本实用新型公开了一种GaN外延晶片界面热阻的测量装置,包括:紫外脉冲激光器、连续激光器、透镜组、二向色分光镜、紫外线聚焦物镜、光电探测器;还包括:半透镜、带通滤波片、凸透镜、CCD相机。本实用新型将加热激光设定为波长为355nm的紫外脉冲激光,探测激光设定为波长为325nm的连续激光,并进行共轴操作,以解决现有的瞬态热反射法测量GaN外延晶片界面热阻需要在GaN表面加镀金属薄膜换能器或者进行器件加工的问题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
-
公开(公告)号:CN221530263U
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN202323132015.7
申请日:2023-11-21
Applicant: 威海神舟信息技术研究院有限公司 , 工业和信息化部威海电子信息技术综合研究中心 , 深圳金普阳科技有限公司 , 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本申请提供了一种带有安装和固定结构的共形天线,其解决了感应天线安装拆卸不便、调节范围小的技术问题。包括天线安装组件和天线载体;天线安装组件包括安装板,安装板各边中心处设有安装座,天线载体通过角度调节组件安装到任意两个相对的安装座上,天线载体与角度调节组件可转动连接;安装板底面设有高度调节组件,高度调节组件包括直线移动机构,直线移动机构上设有两个调节杆和用于带动调节杆移动的位移滑块。本申请广泛应用于感应天线安装技术领域。
-
公开(公告)号:CN221522333U
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN202323132019.5
申请日:2023-11-21
Applicant: 威海神舟信息技术研究院有限公司 , 工业和信息化部威海电子信息技术综合研究中心 , 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本申请提供了一种游艇用生活污水一体化处理箱,其解决了现有游艇用生活污水处理箱占用空间大的技术问题;包括箱体和上盖,箱体包括上下设置的第一层水处理通路和第二层水处理通路,第一层水处理通路、第二层水处理通路的一侧分别连通有进水管、出水管,第一层水处理通路与第二层水处理通路的另一侧之间连通有增压器;第一层水处理通路内依次设有粉碎过滤区、搅拌反应区和一级过滤区,第二层水处理通路内设有二级过滤区。本申请广泛应用于污水处理技术领域。
-
公开(公告)号:CN221522319U
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN202322296535.5
申请日:2023-08-25
Applicant: 威海神舟信息技术研究院有限公司 , 工业和信息化部威海电子信息技术综合研究中心 , 哈尔滨工业大学(威海)
Abstract: 本申请提供了一种舰船用一体化污水处理设备,其解决了现有舰船用污水处理设备占用空间大且处理不彻底的技术问题;包括曝气生物膜室,所述曝气生物膜室入口经粉碎室连通有过滤室,过滤室顶部设有进水口,曝气生物膜室的底部设有出水口;曝气生物膜室内从上至下依次设有污水生物膜组件、旋转叶片和曝气盘,曝气生物膜室壁上设有下曝气口、上曝气口,下曝气口与曝气盘的入口连接,上曝气口高于污水生物膜组件。本申请广泛应用于污水处理技术领域。
-
-
-
-
-
-
-