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公开(公告)号:CN111154126B
公开(公告)日:2022-05-24
申请号:CN202010047126.X
申请日:2020-01-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种纳米金刚石修饰氮化硼高柔性高导热复合薄膜的制备方法,涉及一种氮化硼复合薄膜的制备方法。本发明是要解决现有的聚合物基复合薄膜热导率低的技术问题。本发明先将六方氮化硼进行剥离处理及表面改性,然后通过静电力结合上纳米金刚石颗粒,再和聚乙烯醇混合均匀得到混合液,均匀涂布至PET薄膜上,在加热条件下静置干燥,最后脱模所得的纳米金刚石氮化硼复合薄膜,具有大尺寸、高柔性、高导热率。并且生产快速成本低廉,具有极大的工业推广价值。本发明应用于制备高导热复合薄膜。
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公开(公告)号:CN109023517B
公开(公告)日:2020-09-01
申请号:CN201811213112.X
申请日:2018-10-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用聚焦离子束技术消除单晶金刚石籽晶表面缺陷的方法,本发明涉及消除单晶金刚石籽晶表面缺陷的方法。本发明要解决现有的MPCVD生长中籽晶表面由于激光加工和抛光不完善导致的表面缺陷富集,进而影响外延生长金刚石质量的问题。方法:一、单晶金刚石籽晶清洗;二、喷金处理;三、放置样品;四、关舱;五、抽真空;六、聚焦离子束扫描刻蚀;七、吹洗样品。本发明用于一种利用聚焦离子束技术消除单晶金刚石籽晶表面缺陷的方法。
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公开(公告)号:CN111154126A
公开(公告)日:2020-05-15
申请号:CN202010047126.X
申请日:2020-01-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种纳米金刚石修饰氮化硼高柔性高导热复合薄膜的制备方法,涉及一种氮化硼复合薄膜的制备方法。本发明是要解决现有的聚合物基复合薄膜热导率低的技术问题。本发明先将六方氮化硼进行剥离处理及表面改性,然后通过静电力结合上纳米金刚石颗粒,再和聚乙烯醇混合均匀得到混合液,均匀涂布至PET薄膜上,在加热条件下静置干燥,最后脱模所得的纳米金刚石氮化硼复合薄膜,具有大尺寸、高柔性、高导热率。并且生产快速成本低廉,具有极大的工业推广价值。本发明应用于制备高导热复合薄膜。
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公开(公告)号:CN105177533B
公开(公告)日:2017-11-03
申请号:CN201510563596.0
申请日:2015-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/517 , C23C16/27
Abstract: 一种利用等离子体原位清洗MWCVD舱体的方法,本发明涉及清洗MWCVD舱体的方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中沉积的金刚石、类金刚石及非晶碳层硬度耐磨度极高,且仪器本身特殊构造等因素造成难以将膜层除去的问题。方法:一、吹洗舱体;二、关舱;三、抽真空;四、原位清洗,即完成一种利用等离子体原位清洗MWCVD舱体的方法。本发明用于利用等离子体原位清洗MWCVD舱体的方法。
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公开(公告)号:CN110629203A
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201910925317.9
申请日:2019-09-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: C23C16/511 , C23C16/27 , C23C14/35 , C23C14/18 , C23C14/58 , C01B32/28 , G01N27/327 , G01N27/48
Abstract: 一种具有双金属协同效应的多孔掺硼金刚石复合电极的制备方法及其检测葡萄糖的应用,它涉及一种多孔掺硼金刚石复合电极的制备方法及应用。本发明要解决现有不存在制备多孔掺硼金刚石复合电极的方法,现有利用掺硼金刚石电极非酶葡萄糖传感器检测葡萄糖灵敏度较低的问题。制备方法:一、掺硼金刚石薄膜的制备;二、溅射镀膜及退火处理。应用:用于检测葡萄糖。本发明用于具有双金属协同效应的多孔掺硼金刚石复合电极的制备及其检测葡萄糖的应用。
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公开(公告)号:CN104947069B
公开(公告)日:2018-07-03
申请号:CN201510394176.4
申请日:2015-07-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法,它涉及一种制备金刚石微米棒阵列膜的方法。本发明的目的是要解决目前金刚石微米棒阵列膜制备工艺复杂,制备成本较高,不能精确控制孔洞长径比的问题,本发明步骤为:硅片模板的制备、涂覆金刚石悬浮液、放置样品、金刚石微米棒阵列膜的生长、硅片模板的剥离,即完成。本发明利用多孔硅片模板代替AAO模板制备金刚石微米棒阵列膜,降低了薄膜的制备成本,简化了制备的工艺过程,通过调整硅片上孔洞的直径以及深度可以制备具有不同长径比的微米棒阵列,从而研究不同微米棒长径比对材料性能的影响。本发明应用于薄膜生长技术领域。
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公开(公告)号:CN106835275A
公开(公告)日:2017-06-13
申请号:CN201710101532.8
申请日:2017-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: C30B29/04 , C30B25/025 , C30B25/14 , C30B25/16 , C30B25/186 , C30B33/00 , C30B33/10
Abstract: 一种采用垂直沉积模板制备单晶金刚石反蛋白石的方法,本发明涉及单晶金刚石反蛋白石的制备方法。本发明要解决现有的金刚石反蛋白石结构只能制备出多晶体,从而导致其力学、光学和热学综合性能的下降的问题。方法:一、金刚石晶片预处理;二、SiO2微球预处理;三、SiO2多层微球自组装;四、掩模板处理;五、反蛋白石单晶金刚石生长;六、生长后处理;七、掩模板去除。本发明用于一种采用垂直沉积模板制备单晶金刚石反蛋白石的方法。
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公开(公告)号:CN104878447B
公开(公告)日:2017-03-01
申请号:CN201510304886.3
申请日:2015-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法,本发明涉及同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法。本发明要解决现有的MWCVD生长系统中籽晶易被气流吹动偏离最佳位置,以及籽晶与金属钼衬底之间导热困难,使用真空钎焊造成籽晶表面质量下降且不易观察的问题。方法:一、清洗;二、选择金箔;三、放置样品;四、原位连接;五、金刚石生长,即完成同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法。本发明用于一种同质外延生长单晶金刚石的籽晶衬底原位连接方法。
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公开(公告)号:CN106894081B
公开(公告)日:2019-03-29
申请号:CN201710101533.2
申请日:2017-02-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种采用LB掩模板制备单晶金刚石反蛋白石的方法,本发明涉及单晶金刚石反蛋白石的制备方法。本发明要解决现有的金刚石反蛋白石结构只能制备出多晶体,从而导致其力学、光学和热学综合性能的下降的问题。方法:一、金刚石晶片预处理;二、SiO2微球预处理;三、掩模板沉积;四、掩模板处理;五、单层反蛋白石单晶金刚石生长;六、生长后处理;七、多掩模板沉积及金刚石生长;八、掩模板去除。本发明用于一种采用LB掩模板制备单晶金刚石反蛋白石的方法。
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公开(公告)号:CN109183146A
公开(公告)日:2019-01-11
申请号:CN201811213111.5
申请日:2018-10-17
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种利用电感耦合等离子体技术消除单晶金刚石籽晶表面缺陷的方法,本发明涉及单晶金刚石籽晶缺陷的消除方法。本发明要解决现有MPCVD生长中籽晶表面由于激光加工和抛光不完善导致的表面缺陷富集,进而影响外延生长金刚石质量的问题。方法:一、单晶金刚石籽晶清洗;二、制备遮挡掩体;三、放置样品;四、关舱;五、抽真空;六、电感耦合等离子体处理。本发明用于一种利用电感耦合等离子体技术消除单晶金刚石籽晶表面缺陷的方法。
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