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公开(公告)号：CN101923001B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN201010250357.7
申请日：2010-08-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 基于灰度阈值分割算法的动像调制传递函数测量方法属于光学性质测试领域；该方法首先关闭点光源，并由图像传感器成像，将所记录图像中各像素灰度值的最大值作为阈值，然后点亮点光源并使其运动，图像传感器再次成像得到强度点扩展函数图像，利用灰度阈值分割算法修正强度点扩展函数图像，最后通过二维傅里叶变换并取模得到二维运动动态目标调制传递函数；当点光源做一维运动时，可从强度点扩展函数中提取强度线扩展函数，利用一维傅里叶变换并取模得到一维运动动像调制传递函数；该方法既可以消除背景光、图像传感器暗电流，又可以消除随机噪声，并同时兼顾一维、二维运动状态，测量步骤简单。
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公开(公告)号：CN101949769A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010252619.3
申请日：2010-08-13
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 动像调制传递函数测量装置属于光学性质测试领域；该装置沿光线传播方向依次配置点光源、准直物镜、光瞳耦合系统、光电成像系统，还包括驱动器、电机、丝杠、计算机和图像采集卡；光瞳耦合系统为平行光入射和平行光出射；光瞳耦合系统的入瞳与准直物镜的出瞳大小相等，位置相同；光瞳耦合系统的出瞳与光电成像系统的入瞳大小相等，位置相同；拆除光瞳耦合系统，准直物镜的出瞳与光电成像系统的入瞳大小相等，位置相同；该装置通过硬件延时电路或软件延时程序来设定滑块一的运动和光电成像系统的图像采集的时间差；该装置不仅可以消除目标运动造成的图像渐晕，而且可以实现测量结果和理论模型实时对比。
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公开(公告)号：CN101509827A
公开(公告)日：2009-08-19
申请号：CN200910071625.6
申请日：2009-03-24
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 动态目标调制传递函数测量方法属于光学性质测试领域；旨在提供一种即可以消除背景杂散光、图像传感器暗电流，又可以消除目标尺寸非理想化以及光学系统衍射、像差对测量结果影响的动态目标调制传递函数测量方法；该方法首先分别在关闭点光源、点亮点光源并保持静止和使其运动的状态下，成像记录干扰图像、静态图像和动态图像，并分别用静态图像和动态图像与干扰图像做差运算，得到去干扰静态图像和去干扰动态图像，再从中提取线扩展函数并修正，得到修正静态和动态目标线扩展函数，通过傅里叶变换得到初始静态以及动态目标调制传递函数，最后利用初始动态目标调制传递函数除以初始静态目标调制传递函数，得到动态目标调制传递函数的最终测量结果。
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公开(公告)号：CN100429545C
公开(公告)日：2008-10-29
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单刻线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100381935C
公开(公告)日：2008-04-16
申请号：CN200610150983.2
申请日：2006-11-03
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G03F7/20 , H01L21/027
Abstract: 基于谐波共振方法的并行激光直接写入方法与装置属于激光直接写入方法与设备；本方法将汇合于二向分色镜的写入激光与检焦激光共同进入投影滤波系统、谐衍射物镜阵列，在基片表面分别形成曝光点组合点阵和检焦点点阵；曝光点组合点阵与载有基片的工作台联动控制，完成任意浮雕图形的曝光制作；检焦点点阵被基片反射，再次通过谐衍射物镜阵列、投影滤波系统、二向分色镜、λ/4波片、偏振分光棱镜后，反射进入离焦检测系统形成离焦信号，与计算机、调焦驱动系统共同作用完成调焦伺服；其装置配装二向分色镜和谐衍射物镜阵列；本发明可以实现同步调焦写入，提高衍射物镜的衍射效率。
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公开(公告)号：CN1719298A
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：CN200510077455.4
申请日：2005-06-23
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明公开了一种极坐标激光直写系统单线触发解析对准方法，该方法借助极坐标激光直写系统的差动像散检焦装置和精密定位驱动机构与伺服反馈系统，利用一块带有单刻线的基片实现直写光轴与工作台回转轴的精密对准。其中，单刻线基片包括一条刻线，基片表面经过离心涂胶，刻线宽度略大于或等于检焦光斑直径，刻线深度大于直写物镜焦深；本发明在极坐标直写系统中利用已有的检焦装置、精密定位装置，再借助一块带有刻线的基片就可以实现对准，不需要在直写系统中额外增添CCD探测器等器件或机构，具有结构简单、操作方便的优点。
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公开(公告)号：CN118914200B
公开(公告)日：2025-05-23
申请号：CN202411010369.0
申请日：2024-07-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本申请公开了一种基于螺旋变换的涡旋二色性暗场共焦显微测量装置，涉及光学精密测量技术领域，相反阶涡旋光束产生模块用于产生混合涡旋光束，样品扫描模块用于利用混合涡旋光束照射待测样品的扫描位置，得到样品反射光束，螺旋变换模块用于对样品反射光束进行空间分离，得到空间分离光束，多阶探测模块用于对空间分离光束进行探测，得到扫描位置的涡旋二色性信号强度，当待测样品的扫描位置无缺陷时，涡旋二色性信号强度为0，当待测样品的扫描位置存在缺陷时，涡旋二色性信号强度不为0，且涡旋二色性信号强度的正负性与缺陷的左旋手性和右旋手性分别对应，从而可以探索三维集成电路层间缺陷的手性特性。
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公开(公告)号：CN119872925A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510207046.9
申请日：2025-02-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提出了一种用于大型挠性太阳帆板的自供电自主振动抑制方法，属于航天器结构及振动控制领域。解决了现有技术中当帆板尺寸较大时，多路信号采集以及供电线路设计对卫星电力及控制接口等资源是极大的消耗的问题。它包括将自主抑振动装置安装在大型挠性太阳帆板上，柔性太阳板将太阳能转化为电能储存在电池中，进行供电，压电纤维片通过逆压电效应，将大型挠性太阳帆板振动产生的结构应变能转化为电能储存在电池中，为双向压电执行器供电，在电池供能下，双向压电执行器根据与大型挠性太阳帆板上的局部应变信息，抑制大型挠性太阳帆板的变形和振动。它主要用于大型挠性太阳帆板。
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公开(公告)号：CN117470847B
公开(公告)日：2025-04-11
申请号：CN202311085660.X
申请日：2023-08-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种暗场共焦显微图像反射信息去耦合方法，它涉及一种显微图像反射信息去耦合方法。本发明为了解决暗场共焦成像过程中，未被完全滤除的反射信号掺杂在散射信号中，导致获取图像亮度不均匀、背景噪声大，进而干扰亚表面缺陷观测的问题。本发明以明场图像作为先验，计算先验梯度模板，通过先验梯度模板提取出暗场散射信号，并滤除反射信息噪声。本发明属于图像处理技术领域。
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