公开(公告)号：CN102165281A

公开(公告)日：2011-08-24

申请号：CN200980138578.0

申请日：2009-07-02

申请人： 三菱重工业株式会社

发明人： 坂井智嗣 ,  中野要治 ,  小林靖之 ,  山口贤刚 ,  高野晓巳

IPC分类号： G01B11/06 ,  H01L21/205

CPC分类号： G01B11/0625

摘要： 薄膜检查装置包括：存储部(14)，该存储部保存有至少2个特征量特性，所述2个特征量特性由以下方式得到：从因第1透明薄膜和第2透明薄膜的至少一方的膜厚变动而受到影响的分光反射光谱的特征量中选择至少2个特征量，并将所选择的该特征量中的每一个特征量与第1透明薄膜的膜厚和第2透明薄膜的膜厚分别建立关联；对被检查基板(S)从透明玻璃基板侧照射白色光的光照射部(11)；接受来自被检查基板(S)的反射光的受光部(12)；和运算部(15)，从基于受光的反射光的分光反射光谱求出在存储部(14)中保存的各特征量的实测值，使用求出的各特征量的实测值和在存储部(14)中保存的特征量特性，分别求出第1透明薄膜和第2透明薄膜的膜厚。

公开(公告)号：CN101981431A

公开(公告)日：2011-02-23

申请号：CN200980111369.7

申请日：2009-07-02

申请人： 三菱重工业株式会社

发明人： 坂井智嗣 ,  高野晓巳 ,  小林靖之 ,  山口贤刚

IPC分类号： G01N21/21 ,  G01N21/35 ,  G01R27/02 ,  H01L31/04

CPC分类号： G01N21/9501 ,  G01N21/3563 ,  G01N21/55 ,  G01N21/8422 ,  G01R31/2831 ,  H01L31/1884 ,  Y10T29/53126

摘要： 以非破坏、非接触、高效率且高精度计测透明导电膜的电阻率为目的。提供一种电阻率检查装置，具备：光照射装置(3)，其将具有通过事先进行的检查条件选定方法选定的波长的P偏振光的照明光以通过该方法选定的入射角对在制造生产线上输送的透光性基板上成膜的透明导电膜从膜面侧进行照射；光检测装置(2)，其检测在透明导电膜反射的反射光；信息处理装置(7)，其基于检测到的光的强度，算出与该波长有关的反射光的光量的评价值，使用将评价值与电阻率预先建立关联的相关特性，由算出的所述评价值求出电阻率。