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公开(公告)号：CN113308728A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110220140.X
申请日：2021-02-26
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 国立大学法人信州大学 , 诺维晶科股份有限公司
Abstract: 一种氧化镓晶体的制造装置，其包括：坩埚，其内部容纳氧化镓原料；坩埚支撑体，其从下方支撑坩埚；坩埚支撑轴，其从下方连接至坩埚支撑体，并且可垂直移动地支撑坩埚和坩埚支撑体；管状的炉芯管，其包围坩埚、坩埚支撑体以及坩埚支撑轴；管状的炉内管，其包围炉芯管；以及电阻加热元件，其包括放置于炉芯管与炉内管之间的空间中的发热部。炉芯管和炉内管的熔点为1900℃以上。炉芯管的在径向上位于坩埚的正旁边的部分的热导率比炉内管的热导率高。
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公开(公告)号：CN102011173B
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201010277859.9
申请日：2010-09-07
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/00 , C30B11/003 , Y10T117/1068
Abstract: 一种蓝宝石单晶生长设备，其能够容易地提高影响生长炉中的温度分布的隔热件的形状精度和定位精度。隔热件被设置在生长炉中并且围绕筒状加热器，以形成热区域。隔热件由多个筒状部构成，其中，多个筒状部沿上下方向堆叠，由定位机构来限定多个筒状部的径向位置。筒状部由碳毡构成。
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公开(公告)号：CN102011173A
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN201010277859.9
申请日：2010-09-07
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/00 , C30B11/003 , Y10T117/1068
Abstract: 一种蓝宝石单晶生长设备，其能够容易地提高影响生长炉中的温度分布的隔热件的形状精度和定位精度。隔热件被设置在生长炉中并且围绕筒状加热器，以形成热区域。隔热件由多个筒状部构成，其中，多个筒状部沿上下方向堆叠，由定位机构来限定多个筒状部的径向位置。筒状部由碳毡构成。
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公开(公告)号：CN116479515A
公开(公告)日：2023-07-25
申请号：CN202211660661.8
申请日：2022-12-23
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 提供金属氧化物单晶的制造装置和制造方法，在金属氧化物单晶的制造装置、特别是在氧化气氛下制造高熔点的金属氧化物单晶的金属氧化物单晶的制造装置中，在进行加种时，在种晶中可靠地产生结晶培育方向的温度差，可靠地进行加种。本发明的金属氧化物单晶的制造装置(10)具备：用于收纳结晶原料(36)和种晶(34)的坩埚(18)，其具有第1端部(18a)和第2端部(18b)，在第1端部(18a)侧配置结晶原料(36)，在第2端部(18b)侧配置种晶(34)；对坩埚(18)进行加热的发热体(30)；以及冷却棒(44)，其具有第3端部(44a)和第4端部(44b)，第3端部(44a)与坩埚(18)的第2端部(18b)抵接或靠近地进行设置，通过夺取第2端部(18b)的热而将第2端部(18b)冷却。
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公开(公告)号：CN114318493A
公开(公告)日：2022-04-12
申请号：CN202111169628.0
申请日：2021-10-08
Applicant: 不二越机械工业株式会社
Abstract: 提供一种氧化镓晶体的制造装置，其是使用了电阻加热发热体的晶体制造装置，具备低成本且能够抑制热所致的变形及破损的发热体。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)具备由耐热材料(14a)构成的炉主体(14)、配置于上述炉主体(14)内的坩埚(22)、和配设在上述坩埚(22)的周围的发热体(34)，上述发热体(34)是发热部(34a)和直径大于该发热部(34a)的导电部(34b)连结而成的电阻加热发热体，上述发热部(34a)由具有1850[℃]的耐热性的材质构成，上述导电部(34b)由具有1800[℃]的耐热性的材质构成。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113930841A
公开(公告)日：2022-01-14
申请号：CN202111202574.3
申请日：2017-04-19
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能够实现氧化镓晶体的大型化、高品质化的氧化镓晶体的制造装置和氧化镓晶体的制造方法。本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)由具备基体(12)、炉主体(14)、盖体(18)、发热体(20)、坩埚支承轴(24)和坩埚(30)的垂直布里奇曼炉构成，本发明的氧化镓晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为Pt系合金制的坩埚，炉主体(14)的内壁形成为由两个以上具有所需高度的环状的耐热部件(32b)层叠而成的耐热壁(32)，并且，环状的耐热部件(32b)通过将两个以上的分割片(32a)接合而形成为环状。
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公开(公告)号：CN108531990A
公开(公告)日：2018-09-14
申请号：CN201810132067.9
申请日：2018-02-09
Applicant: 不二越机械工业株式会社 , 国立大学法人信州大学
Abstract: 本发明提供实现发热体的长寿命化、实现成本的降低化的单晶制造装置。本发明的单晶制造装置(10)是在氧化气氛中制造金属氧化物的单晶的单晶制造装置(10)，其具备：基体(12)；配设在该基体(12)上的具有耐热性的筒状的炉主体(14)；将该炉主体(14)封闭的盖体(16)；配设于炉主体(14)内的发热体(20)；利用高频感应加热对该发热体(20)进行加热的高频线圈(22)；以及由发热体(20)进行加热的坩埚(28)，单晶制造装置(10)的特征在于，发热体(20)由Pt系合金构成，在整个面上施有氧化锆涂层。
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公开(公告)号：CN107858753A
公开(公告)日：2018-03-30
申请号：CN201710831003.3
申请日：2017-09-15
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/30 , C30B11/002 , C30B11/003 , C30B11/02
Abstract: 本发明提供钽酸锂晶体的制造装置和钽酸锂晶体的制造方法，该制造装置能够使用铂制坩埚制造高品质的钽酸锂晶体。本发明的钽酸锂晶体的制造装置(10)由垂直布里奇曼炉或垂直梯度凝固炉构成，该垂直布里奇曼炉或垂直梯度凝固炉具备：基体(12)；配设于基体(12)上的具有耐热性的筒状的炉主体(14)；将炉主体(14)封闭的盖体(18)；配设于炉主体(14)内的发热体(20)；贯通基体(12)并以上下自由移动的方式设置的坩埚支承轴(24)；和配设于坩埚支承轴(24)上并由发热体(20)进行加热的坩埚(30)，所述钽酸锂晶体的制造装置(10)的特征在于，坩埚(30)为铂制的坩埚(30)。
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公开(公告)号：CN101962798B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201010234997.9
申请日：2010-07-21
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/002 , Y10T117/1024
Abstract: 本发明涉及用于生产蓝宝石单晶的方法和设备。一种方法，其能够生产蓝宝石单晶而不形成裂纹和不使用昂贵的坩埚。该方法包含下述步骤：将籽晶和原料放置于坩埚中；将坩埚设置于圆筒形加热器中；加热坩埚；和在圆筒形加热器中产生温度梯度以使熔体顺序结晶。所述坩埚由具有特定的线性膨胀系数的材料构成，该材料能够防止由坩埚的线性膨胀系数和蓝宝石单晶沿垂直于其生长轴的方向的线性膨胀系数之间的差导致的相互应力在坩埚和蓝宝石单晶中产生，或该材料能够防止由在蓝宝石单晶中的相互应力导致的坩埚的变形而不产生晶体缺陷。
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公开(公告)号：CN101962798A
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN201010234997.9
申请日：2010-07-21
Applicant: 国立大学法人信州大学 , 不二越机械工业株式会社
CPC classification number: C30B29/20 , C30B11/002 , Y10T117/1024
Abstract: 本发明涉及用于生产蓝宝石单晶的方法和设备。一种方法，其能够生产蓝宝石单晶而不形成裂纹和不使用昂贵的坩埚。该方法包含下述步骤：将籽晶和原料放置于坩埚中；将坩埚设置于圆筒形加热器中；加热坩埚；和在圆筒形加热器中产生温度梯度以使熔体顺序结晶。所述坩埚由具有特定的线性膨胀系数的材料构成，该材料能够防止由坩埚的线性膨胀系数和蓝宝石单晶沿垂直于其生长轴的方向的线性膨胀系数之间的差导致的相互应力在坩埚和蓝宝石单晶中产生，或该材料能够防止由在蓝宝石单晶中的相互应力导致的坩埚的变形而不产生晶体缺陷。
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