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公开(公告)号:CN111133382B
公开(公告)日:2023-10-31
申请号:CN201880062194.4
申请日:2018-09-18
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004 , C08G73/10 , C08G73/22 , G03F7/023 , G03F7/20 , G09F9/30 , H10K50/844 , H05B33/02 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 一种感光性树脂组合物,是含有碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、25℃下的酸解离常数pKa为6.0以上且9.5以下的具有酚性羟基的化合物(E2)的感光性树脂组合物,或是含有碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、除(D)以外的具有酚性羟基的化合物(E)的感光性树脂组合物,上述除(D)以外的具有酚性羟基的化合物(E)含有分子内具有吸电子性基和酚性羟基的化合物(E1)。本发明提供固化膜在可靠性试验后也具有高弯折耐性,同时耐化学品性也优异的感光性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN108604062B
公开(公告)日:2021-11-09
申请号:CN201780009369.0
申请日:2017-03-15
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供负型感光性树脂组合物,其能够得到高敏感度且低锥度的图案形状,并能够得到耐热性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、及(C)光聚合引发剂,上述(A)碱溶性树脂含有选自(A‑1)聚酰亚胺、(A‑2)聚苯并噁唑、(A‑3)聚酰亚胺前体、(A‑4)聚苯并噁唑前体、(A‑5)聚硅氧烷及(A‑6)Cardo系树脂中的一种以上的树脂,上述(B)自由基聚合性化合物在51~99质量%的范围内含有(B‑1)在分子内具有5个烯键式不饱和键合基团的化合物。
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公开(公告)号:CN108027561B
公开(公告)日:2021-10-08
申请号:CN201680055361.3
申请日:2016-09-26
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , C08F2/50 , C08F290/08 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/038 , G03F7/075 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/22 , H05B33/28
Abstract: 本发明提供可进行碱显影的负型感光性树脂组合物,其能够以高分辨率且低锥度的图案形状得到耐热性及遮光性优异的固化膜。本发明的负型感光性树脂组合物的特征在于,其含有(A1)第1树脂、(A2)第2树脂、(C)光聚合引发剂及(D)着色剂,上述(A1)第1树脂为(A1‑1)聚酰亚胺及/或(A1‑2)聚苯并噁唑,上述(A2)第2树脂为选自(A2‑1)聚酰亚胺前体、(A2‑2)聚苯并噁唑前体、(A2‑3)聚硅氧烷、(A2‑4)Cardo系树脂、及(A2‑5)丙烯酸树脂中的一种以上,上述(A1)第1树脂在上述(A1)第1树脂及上述(A2)第2树脂的总量100质量%中所占的含有比率在25~90质量%的范围内。
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公开(公告)号:CN107430335B
公开(公告)日:2021-04-02
申请号:CN201680019104.4
申请日:2016-03-28
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供感光性着色树脂组合物及其耐热性着色树脂膜,所述感光性着色树脂组合物具有适于在有机发光装置、显示元件中使用的平坦化膜、绝缘层、隔板形成的高敏感度,并且具有吸收可见光短波长区域的功能,还具有抑制外部光反射的功能。所述感光性着色树脂组合物含有碱溶性树脂(a)、感光性化合物(b)、在波长400nm以上且低于490nm的范围内具有最大吸收的化合物(c),其中,所述感光性化合物(b)包含感光性化合物(b1),所述感光性化合物(b1)在波长350nm以上且390nm以下的范围内具有在波长350nm以上且450nm以下的范围中的最大吸收波长。
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公开(公告)号:CN107924125B
公开(公告)日:2020-12-25
申请号:CN201680049884.7
申请日:2016-08-30
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供正型感光性树脂组合物、由该组合物形成的树脂图案、及使用其的半导体的制造方法,所述正型感光性树脂组合物对汞灯的i线为高敏感度,对强酸性水溶液、强碱性水溶液的耐化学药品性优异,尤其是能够得到即使在O2灰化后的无电解电镀工序中与铝焊盘的密合可靠性也优异的固化树脂图案。正型感光性树脂组合物,其含有(a)碱溶性树脂、(b)醌二叠氮化合物,上述(a)碱溶性树脂包含:(a1)聚酰亚胺前体,所述聚酰亚胺前体在全部四羧酸残基中具有5~50摩尔%的通式(1)表示的四羧酸残基,在全部二胺残基中具有10~80摩尔%的通式(2)表示的二胺残基,并且在全部二胺残基中具有10~90摩尔%的式(3)表示的二胺残基;及/或(a2)与上述(a1)对应的聚酰亚胺。(通式(1)中,A表示不含杂原子的4价单环式或二环式芳香族烃基,且可以使用两种以上。)(通式(2)中,B表示选自O、S、SO2、CH2、CH(CH3)、C(CH3)2、C(CF3)2中的基团,且可以使用它们中的两种以上。)
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公开(公告)号:CN108885399A
公开(公告)日:2018-11-23
申请号:CN201780016752.9
申请日:2017-03-17
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/032 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/075 , G03F7/20 , G09F9/30 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/22
CPC classification number: G03F7/032 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/075 , G03F7/20 , G09F9/30 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供敏感度高、半色调特性优异、能够得到低锥度的图案形状且可进行碱显影的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物,其至少包含(A1)含有弱酸性基团的树脂及(A2)含有不饱和基团的树脂作为(A)碱溶性树脂,上述(A1)含有弱酸性基团的树脂具有在二甲基亚砜中的酸解离常数在13.0~23.0的范围内的酸性基团,上述(A2)含有不饱和基团的树脂具有烯键式不饱和双键基团。
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公开(公告)号:CN107430335A
公开(公告)日:2017-12-01
申请号:CN201680019104.4
申请日:2016-03-28
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/0387 , C08G8/12 , C08G69/26 , C08G73/1007 , C08G73/1017 , C08G73/1039 , C08G73/106 , C08G73/1082 , C08G73/14 , C08G73/22 , C08G77/14 , C09D179/08 , C09D183/06 , G03F7/004 , G03F7/023 , G03F7/027 , G03F7/075 , G03F7/16 , H01L27/3244 , H01L27/3274 , H01L51/5284 , C08L61/06
Abstract: 本发明的课题在于提供感光性着色树脂组合物及其耐热性着色树脂膜,所述感光性着色树脂组合物具有适于在有机发光装置、显示元件中使用的平坦化膜、绝缘层、隔板形成的高敏感度,并且具有吸收可见光短波长区域的功能,还具有抑制外部光反射的功能。所述感光性着色树脂组合物含有碱溶性树脂(a)、感光性化合物(b)、在波长400nm以上且低于490nm的范围内具有最大吸收的化合物(c),其中,所述感光性化合物(b)包含感光性化合物(b1),所述感光性化合物(b1)在波长350nm以上且390nm以下的范围内具有在波长350nm以上且450nm以下的范围中的最大吸收波长。
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公开(公告)号:CN108027562B
公开(公告)日:2019-07-05
申请号:CN201680055814.2
申请日:2016-09-21
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/037 , G03F7/075 , H01L51/50 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22 , C08G73/06 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/031 , G03F7/038
CPC classification number: G03F7/0387 , C08G69/32 , C08G73/1039 , C08G73/1053 , C08G73/1071 , C08G73/14 , C08G73/22 , C09D179/04 , C09D179/08 , C09K19/04 , G03F7/0007 , G03F7/0046 , G03F7/0048 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/105 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/26 , G03F7/40 , H01L27/3258
Abstract: 本发明提供耐热性优异且可形成正锥形的固化膜的负型着色感光性树脂组合物。该负型着色感光性树脂组合物含有(A)碱溶性树脂、(B)光聚合引发剂、(C)光聚合性化合物及(D)着色剂,上述(A)碱溶性树脂含有(A‑1)聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及/或它们的共聚物,上述(A‑1)树脂在主链骨架中具有三氟甲基。
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公开(公告)号:CN107428935B
公开(公告)日:2019-04-02
申请号:CN201680018049.7
申请日:2016-03-24
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供具有优异的图案加工性(高敏感度及高分辨率)、且热处理后的耐化学药品性及耐热性优异的感光性树脂组合物、及该感光性树脂组合物中使用的耐热性树脂或耐热性树脂前体以及作为它们的原料的二胺化合物。本发明提供通式(1)所示的二胺化合物。
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