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公开(公告)号：CN119278410A
公开(公告)日：2025-01-07
申请号：CN202380043092.9
申请日：2023-06-14
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种碱显影时的膜减少量小且可缩短曝光时间的、高感度的正型感光性树脂组合物。本发明是一种正型感光性树脂组合物，包含：包含氮原子的耐热树脂(B)光酸产生剂，所述(A)树脂包含式(1)所表示的构成单元，将组合物中所含的全部树脂的总量设为100质量％，所述全部树脂中的氟原子含量为15质量％以下。(式(1)中，R1表示碳数3～30的3价～12价的有机基，R2为碳数3～20的1价酸分解性基；m表示0～4的整数，n表示1～4的整数；*表示键结部位，a及b分别独立地表示1或2的整数。)#imgabs0#
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公开(公告)号：CN112889002A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN201980064350.5
申请日：2019-10-02
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供开口部的油墨润湿性优异、固化膜具有充分的疏液性的感光性树脂组合物。另外，本发明的目的在于提供显示不良的发生少、具有针对后续的热处理的高耐久性的显示装置。用于实现上述目的的本发明的感光性树脂组合物的一个方式为含有至少具有酰胺基或氨基甲酸酯基的疏液材料(A)、碱溶性树脂(B)及感光剂(E)的感光性树脂组合物，碱溶性树脂(B)包含选自由聚酰亚胺、聚苯并噁唑、聚酰胺酰亚胺、它们的前体及它们的共聚物组成的组中的至少一种的碱溶性树脂。
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公开(公告)号：CN107431020B
公开(公告)日：2020-07-24
申请号：CN201680016541.0
申请日：2016-03-16
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/336 , H01L21/312 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其可形成由固化膜产生的逸气极少、驱动性能优异的薄膜晶体管用绝缘层。为了实现所述目的，本发明具有以下的构成。即，一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其含有(A)具有酰胺基及/或酰亚胺基的碱溶性树脂、(B)感光性化合物、以及(C)有机溶剂，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为1质量％以下。
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公开(公告)号：CN107428935A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680018049.7
申请日：2016-03-24
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: C07C235/64 , C07C233/80 , C08G69/32 , C08G69/42 , C08G73/1039 , C08G73/1042 , C08G73/1053 , C08G73/106 , C08G73/1082 , C08G73/14 , C08G73/18 , C08G73/22 , C08G75/32 , C09D177/10 , C09D179/04 , C09D179/08 , G03F7/0048 , G03F7/0233 , G03F7/0236 , G03F7/031 , G03F7/037 , G03F7/038 , G03F7/039 , G03F7/2004 , G03F7/322 , G03F7/40 , H01L27/3258 , H01L51/0035 , H01L2227/323 , C08K5/136
Abstract: 本发明提供具有优异的图案加工性(高敏感度及高分辨率)、且热处理后的耐化学药品性及耐热性优异的感光性树脂组合物、及该感光性树脂组合物中使用的耐热性树脂或耐热性树脂前体以及作为它们的原料的二胺化合物。本发明提供通式(1)所示的二胺化合物。
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公开(公告)号：CN104641291A
公开(公告)日：2015-05-20
申请号：CN201280075939.3
申请日：2012-09-24
Applicant: 东丽株式会社
CPC classification number: G03F7/039 , G03F7/0226 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及一种正型感光性树脂组合物，其含有(a)碱溶性聚酰亚胺、(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物、和(c)光酸产生剂，并且相对于100重量份的(a)碱溶性聚酰亚胺，(b)在一分子中具有2个以上的环氧基的化合物的含量为5～50重量份。本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其在200℃以下的低温加热处理时，可以获得低翘曲、并且不产生由回流导致的图案掩埋、高分辨率的固化膜。
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公开(公告)号：CN114460809A
公开(公告)日：2022-05-10
申请号：CN202210164389.8
申请日：2017-03-17
Applicant: 东丽株式会社
Abstract: 本发明提供敏感度高、半色调特性优异、能够得到低锥度的图案形状且可进行碱显影的负型感光性树脂组合物。负型感光性树脂组合物，其至少包含(A1)含有弱酸性基团的树脂及(A2)含有不饱和基团的树脂作为(A)碱溶性树脂，上述(A1)含有弱酸性基团的树脂具有在二甲基亚砜中的酸解离常数在13.0～23.0的范围内的酸性基团，上述(A2)含有不饱和基团的树脂具有烯键式不饱和双键基团。
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公开(公告)号：CN111133382A
公开(公告)日：2020-05-08
申请号：CN201880062194.4
申请日：2018-09-18
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/004 , C08G73/10 , C08G73/22 , G03F7/023 , G03F7/20 , G09F9/30 , H01L27/32 , H01L51/50 , H05B33/02 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 一种感光性树脂组合物，是含有碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、25℃下的酸解离常数pKa为6.0以上且9.5以下的具有酚系羟基的化合物(E2)的感光性树脂组合物，或是含有碱溶性树脂(A)、光产酸剂(B)、热交联剂(C)、酚系抗氧化剂(D)、除(D)以外的具有酚系羟基的化合物(E)的感光性树脂组合物，上述除(D)以外的具有酚系羟基的化合物(E)含有分子内具有吸电子性基和酚系羟基的化合物(E1)。本发明提供固化膜在可靠性试验后也具有高弯折耐性，同时耐化学品性也优异的感光性树脂组合物。
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公开(公告)号：CN110462513A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880019517.1
申请日：2018-03-16
Applicant: 东丽株式会社
IPC: G03F7/027 , C08F2/48 , G03F1/00 , G03F7/004 , G03F7/037 , G03F7/20 , H01L51/50 , H01L51/52 , H01L51/56 , H05B33/10 , H05B33/12 , H05B33/22
Abstract: 本发明提供具有遮光性、同时敏感度高、半色调特性优异的感光性树脂组合物。本发明为感光性树脂组合物，其含有(A)碱溶性树脂、(B)自由基聚合性化合物、(C)光聚合引发剂及(D)着色剂，上述(A)碱溶性树脂含有聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑前体及/或它们的共聚物，上述(B)自由基聚合性化合物含有(B-1)形成均聚物时的玻璃化转变温度为150℃以上的2官能以上的(甲基)丙烯酸类化合物、及(B-2)除(B-1)以外的4官能以上的(甲基)丙烯酸类化合物。
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公开(公告)号：CN107431020A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201680016541.0
申请日：2016-03-16
Applicant: 东丽株式会社
IPC: H01L21/336 , H01L21/312 , H01L29/786 , H01L51/05 , H01L51/30
Abstract: 本发明的目的在于提供一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其可形成由固化膜产生的逸气极少、驱动性能优异的薄膜晶体管用绝缘层。为了实现所述目的，本发明具有以下的构成。即，一种薄膜晶体管用感光性树脂组合物，其含有(A)具有酰胺基及/或酰亚胺基的碱溶性树脂、(B)感光性化合物、以及(C)有机溶剂，其中，所述(C)有机溶剂中，具有氮原子的有机溶剂的含量相对于有机溶剂总量而言为1质量％以下。
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